共查询到18条相似文献,搜索用时 109 毫秒
1.
光刻技术在金属板片刻蚀上的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了应用双面自对准光刻技术刻蚀金属板片的工艺原理、方法、工艺参数的选取原则以及双面自对准光刻模具设计准则,该项技术已成功应用于液体火箭发动机层板喷注器和膜片阀的研制和生产之中。 相似文献
2.
3.
《火箭推进》2005,31(6):I0001-I0002
i微型推进系统技术方案研究……………………韩先伟,周军,唐周强,等2005,31(1):1基于CFD的涡轮泵转子密封流体激振研究进展……………徐悦,田爱梅2005,31(1):8一体化超燃冲压发动机初步设计计算模型……张蒙正,张忠利,葛李虎,等2005,31(1):14推进剂贮箱复合膜研究………………………………陈志坚,李治,吴建军2005,31(1):21高空滑行期间氧化剂泵壳体冷却方案研究………………………………张忠利2005,31(1):24超燃冲压发动机研究综述…………………………………………………贺武生2005,31(1):29光刻膜片在膜片阀中的应用………………………… 相似文献
4.
对橡胶制品喷霜的成因从配方设计、硫化工艺、模具、环境条件、氧化影响等方面进行了理论分析,并针对橡胶膜片表面喷霜现象进行了电镜扫描测试及机理分析研究。冷却温度对膜片表面喷霜影响试验表明,膜片制造工艺过程中膜片启模后,冷却温度控制在0~15℃可有效解决膜片表面喷霜问题。 相似文献
5.
采用自主设计研制的高精度双面自对准光刻模具和标准MEMS光刻工艺技术研制出整体式层板催化剂床板片,简要介绍了光刻工艺原理、工艺流程和工艺过程。光刻加工出的板片满足设计要求,板片经过电镀和真空扩散焊接工艺形成了整体式催化剂床,该床成功地通过了热点火试车。催化剂床床载为16.5g/(cm2·s),分解效率为97%,室压粗糙度小于2%。 相似文献
6.
7.
8.
光刻技术在流体动力密封研究中的应用 总被引:2,自引:2,他引:2
主要介绍了流体动力密封螺旋槽动环光刻工艺的特点、原理、工艺过程、工艺流程、槽深控制方法以及应用情况,提出了采用高能束流刻蚀螺旋槽动环的新途径.结果表明,采用标准MEMS光刻工艺技术和化学铣切工艺技术,可加工出满足设计要求的螺旋槽动环. 相似文献
9.
顾正铭 《运载火箭与返回技术》2007,28(1):62-66
文章介绍了飞艇蒙皮材料的组成与选择,并对当前平流层飞艇研制中有关材料方面的某些问题,如飞艇主结构层材料的组成与特性、飞艇内外气囊材料的膜材、纤维的配置织法、主结构纤维的涂层前工艺、飞艇气囊膜片的连接等方面进行了分析与介绍。以供在研制平流层飞艇的膜材时作参考。 相似文献
10.
毫米波主动导引头缝隙天线阵面,具有面积大、缝隙数量多、精度高的特点,制造这样的缝隙天线阵面,在国内尚属首次。本文着重对缝隙天线阵面的光刻工艺进行了分析,对光刻工艺方法研制缝隙天线阵面的技术途径、工艺实验的结果和存在的主要问题进行了论述。 相似文献
11.
12.
13.
推进剂贮箱锥柱形金属膜片的翻转特性研究 总被引:3,自引:1,他引:2
基于MSC.Marc非线性有限元软件,对推进剂贮箱锥柱形金属膜片的变形进行仿真研究。模拟了膜片的翻转变形过程,分析了膜片翻转变形规律和失效因素,提出了膜片有效稳定翻转的条件。 相似文献
14.
15.
金属膜片贮箱膜片变形的数值模拟与失效分析 总被引:5,自引:2,他引:5
根据弹塑性有限变形理论,用有限元法建立了卫星推进系统贮箱金属膜片变形的有限元分析模型。在一定条件下,模拟了贮箱金属膜片的变形翻转过程,分析其翻转的特点,以及变形过程中表面压力、顶点径向位移和卷边处应力的变化,并给出了膜片失效原因。研究表明,数值模拟与试验结果较为吻合,所建分析模型合理。 相似文献
16.
通过理论分析和试验对一种新型整体式层板催化剂床进行了研究。设计了催化剂床流道结构并对催化剂床的加工工艺进行了初步研究。热试车结果表明,催化剂床性能良好,最高床载可达16.5g/(cm^2·s),分解效率96%,室压粗糙度小于±2%,催化剂床累计工作寿命大于455s,性能未出现下降趋势。 相似文献
17.
航天器贮箱用钛制隔膜变形过程的数值模拟 总被引:5,自引:0,他引:5
基于弹塑性大位移非线性有限元理论,建立航天器贮箱用钛制隔膜变形的有限元分析模型,并对有限元软件进行二次开发,首次通过编辑子程序实现了隔膜厚度的渐进变化及失效过程中隔膜的自动开裂,准确仿真出了隔膜在翻转变形过程中发生的褶皱、偏心与破裂等失效行为。依据此模型,分别对075 mm等厚隔膜及055~08 mm变厚隔膜的翻转过程进行了仿真,并对其翻转规律及失效机制进行了分析。研究发现,等厚隔膜在翻转过程中易产生褶皱,渐变壁厚隔膜翻转性能明显优于等厚隔膜,能克服褶皱的产生,但变厚隔膜在变形过程中易产生偏心。通过与试验对比表明,数值仿真能准确预测隔膜的变形规律与失效模式,为后续优化厚度分布提供了可靠的依据。 相似文献
18.
为了解决液体火箭发动机主阀阀芯氟塑料与金属黏结不良问题,对其成因与黏结工艺进行研究。采用阀芯压制氟塑料前涂覆自制聚全氟乙丙烯胶黏剂的黏结工艺方法,通过扫描电镜观察黏结面微观结构形貌并进行能谱分析,进而对涂聚全氟乙丙烯胶黏剂的黏结工艺方法进行机理分析,最后开展菌状物试样黏结工艺验证、阀芯工艺验证、工作性能试验验证。试验表明:采用涂聚2遍全氟乙丙烯胶黏剂黏结的工艺方法,可提高氟塑料和金属黏结强度,黏结强度可提高到19 MPa以上,达到未涂胶氟塑料与金属黏结强度的3倍,阀芯黏结合格率达到100%,使用性能满足使用要求,有效解决液体火箭发动机主阀阀芯黏结不良问题。 相似文献