组合坐标法精确测量微纳米台阶样板高度

微/纳米级台阶高度的精确测量是纳米计量技术领域中重要的研究工作。文中提出了一种以精确定位为前提的多区域坐标组合台阶高度测量法,应用纳米三维测量机实现了标称高度1mm的微/纳米级台阶样板高度的精确测量。结合实验数据,对影响测量结果的环节进行了分析,确定了影响测量结果的主要因素,并阐述了相应的解决办法。该技术内容对研究台阶样板的精确测量工作具有一定的技术参考价值和借鉴作用。     

一种用计量光栅实现 2nm测量分辨率的新方法

提出一种利用正切函数在零点附近的小范围内线性度非常好的特点,对计量光栅技术中计算机正切细分法进行扩展,在信号处理电路中设计出一个量程比较小的精测档,以获得更高的纳米级的测量分辨率的新方法,并进行了详细充分的实验验证.     

现代精密测量技术现状及发展

概述了工业生产与科学研究中的现代精密测量技术发展现状和研究内容;着重叙述了应用于三坐标测量机（ＣＭＭ）的最新技术、微／纳米精密测量技术以及图像测量技术。     

高精度光栅干涉测量技术及仪器

在超精密测量和控制技术中，对测量精度提出了越来越高的要求，如尺寸精度１ｎｍ和角度０．００１。由于光栅具有精度高、抗干扰能力强、寿命长和价格便宜等优点，最近几年光栅干涉测量技术被广泛研究和使用。本文简单介绍几种在超精密测量和制造过程中常用的微纳米光栅干涉测量技术。     

微纳米尺度流动实验研究的问题与进展

微纳米实验流体力学研究的流动特征尺度在1mm～1nm范围,处于宏观流动到分子运动的过渡区。连续介质力学与量子力学这两个经典理论的衔接,提出了诸如连续性假设适用性、边界滑移等基本理论问题。同时从微纳米尺度研究界面处液/固/气的耦合,化学、电学性质对流动的影响值得关注。微纳米实验测量仪器融入了力、电等测量手段,要求测量空间精度达到nm量级,力的测量精度达到pN,时间分辨率达到ns。本文围绕连续性假设适用性、边界滑移、微纳米粒子布朗运动及微尺度涡旋测量等问题,介绍了 Micro/Nano PIV、示踪粒子流场显示等技术应用于微纳流场观测的进展与难点。目前微纳米流动测量仍然沿着经典流体力学测量“小型化”的思路开展,而纳尺度的测量期待着新的实验方法与技术的提出。     

基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量方法研究

介绍了一种基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量方法,通过将位移测量转化为频率变化量的测量,实现了亚纳米级测量分辨力。建立了基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量实验装置,完成了320 nm范围内的位移测量,并将测量结果与精密电容传感器的测量结果进行了比较。     

面向21世纪的纳米测量技术

介绍了纳米测量的必要性及特殊性,并介绍了几何量纳米测量的基本方法及仪器。     

基于全息激光技术的纳米级分辨力位移传感器设计

介绍了一种新型的基于全息激光技术的纳米位移传感器。全息激光技术最早广泛应用在CD,DVD等系统中,用以读取光盘信息,并对光盘进行寻迹、聚焦等。文中以采用全息激光技术的全息激光头为核心器件,结合少量光学元件,设计出一种纳米分辨力级位移传感器,并通过实验验证了设计结果。     

阶跃型边界平面干涉测量技术

为完成复杂平面样板的测量,提出了一种循环单纯形边缘特征提取及种子填充的数字图像处理技术,解决了复杂平面样板相位复原的问题;应用波长合成技术和小数重合法在相位偏移干涉系统中实现了阶跃型边界平面样板的干涉级次整数部分及小数的测量。在实验中对两种阶跃型平面样板测量的重复性达到了10nm,将其测量结果和三维纳米测量机的测量结果进行了比较,两种仪器测量数据最大偏差8 nm。分析了实验数据的可靠性以及两种测量仪器的优缺点,为复杂平面样板的测量提供了一种新的思路。     

一种测量跨声速多级压气机转子出口二维流场的方法

为了获得小型压气机设计所急需的关键流场信息,发展了一种基于圆柱单孔高频压力探针测量小型轴流压气机级间动态流场的测量方法.该探针测量原理基于圆柱绕流特性,借助高速锁相采集技术,利用旋转探针多角度法实现级间动态流场测量.采用插值和拟合对测量的数据进行处理,从而获得级间二维定常流场.误差分析表明,该探针测量精度较高,偏转角误差小于1.8 °,马赫数、总压和静压的极限误差分别为3.4％,0.94％和3％.将该高频探针应用于某小型跨声速3级轴流压气机,测量结果表明:85％叶高至机匣范围内,总压和马赫数明显要比叶根低得多,气流出现明显过转.这些测量结果为优化该压气机级间匹配指明了方向,验证了该高频压力探针测试技术的工程应用价值.     

基于惯性定位定向的高铁轨检仪分析研究

根据高铁轨道静态检测的测量需求,设计了一种利用定位定向技术的0级轨检仪,并详细阐述了其构成和工作原理,介绍了其特点。通过对比性分析论证,优选了一种测量精度高、操作方法简单且可大幅度提高测量效率的设计方案。理论仿真表明该系统测量精度能够达到优于1.3mm/km的水平。根据理论仿真结果搭建了原理简易验证设备,结合高铁测控网的测量基准,在一段高铁的弯道铁轨上进行了验证测试,测试结果表明采用定位定向技术的0级轨检仪具备实际工程化的潜力,以及提高测量效率和精度的能力。     

空间星光测量技术研究发展综述

空间星光测量技术在航天器执行各类任务的过程中发挥着至关重要的作用。简要介绍了空间星光测量技术的基本概念，对典型的空间星光测量敏感器及其应用技术的研究进展进行了总结。通过对比国内外同类型敏感器的主要技术指标，评估了中国当前的研究水平以及与国外的差距。就空间星光测量技术目前存在的低频误差抑制与标校、亚角秒级动态测量精度以及极高精度目标指向测量等关键问题进行了初步分析与探讨。结合空间星光测量技术的研究进展与面临的挑战，对其发展趋势进行了展望，提出了高精度、高动态、多功能、智能化等未来重点研究方向。     

纳米力学测试系统位移传感器校准装置

介绍了用激光干涉方法对纳米力学测试系统位移传感器进行校准的方法,并建立了校准装置;采用平衡式光学系统设计,干涉系统的抗干扰能力得到了显著提高,通过零位移测量实验对装置的稳定性进行了验证;用校准装置对TriboIndenter纳米力学测试系统的位移传感器进行了校准实验,测量不确定度分析结果表明该系统测量压头位移的准确度可以达到纳米量级。     

纳米激光器测尺研制成功

经过中国计量科学研究院严格测试 ,纳米激光器测尺日前由清华大学宣告研制完成。纳米激光器测尺外观结构很简单 ,看上去就是一个两端封闭、直径 30毫米的石英玻璃管 ,只比人的手掌稍长一些。它的神奇之处在于振荡的激光束自身就能感知外界物体移动大小 ,一旦推动圆筒形激光器一头伸出的测量杆 ,它立刻显示出推动了多少距离。除了测量范围大、精度高之外 ,纳米激光器测尺的另外一个优点就是能够自行校准自己的“刻度”,直接读出它的测量对象位移是多少 ,而不像其它测量位移的传感器 ,需要用另外的仪器校准 ,然后才能用于测量。经查询 ,此前国…     

基于惯性定位定向的高铁轨检仪研究

根据高铁轨道静态检测的测量需求,设计了一种利用定位定向技术的0级轨检仪,详细阐述了其构成和工作原理,介绍了其特点。通过对比性分析论证,优选了一种测量精度高、操作方法简单且可大幅度提高测量效率的设计方案。理论仿真表明,本系统测量精度能够达到优于13mm/km水平。根据理论仿真结果搭建了原理简易验证设备,结合高铁测控网的测量基准,在一段高铁的弯道铁轨上进行了验证测试。从测试结果看,样机测量精度的重复性可以到达1mm/500m（1σ）的水平,10次测量效率优于500m/2h,表明采用定位定向技术的0级轨检仪具备实际工程化的潜力,以及提高测量效率和精度的能力。     

风洞无线智能传感器网络及无线测量技术研究

风洞试验现场,特别是大型连续式风洞试验现场的电磁环境非常恶劣,而风洞实验中的测量信号又是毫伏级的微弱信号,采用传统测量方式难以克服恶劣的电磁环境对测量系统的干扰。对于运动物体或无法布线的试验环境进行参数测量时,传统测量方式完全不起作用。针对上述问题,笔者对风洞无线智能传感器网络和无线测量技术进行了研究,采用ZIGBEE技术实现了风洞无线智能传感器网络和基于该网络的无线测量模块。极大地增强了测量系统的抗干扰能力,提高了风洞试验的精细化程度,降低了测量系统的经济成本。     

基于激光跟踪仪的大型火箭包络测量技术研究

为了提高大型运载火箭级间分离的可靠性,对级间分离面两侧的部段进行了包络测量研究,分析了大型运载火箭包络测量的难点,针对难点提出了基于激光跟踪仪建立大型运载火箭包络测量系统的方案,阐述了测量系统的建立流程及技术指标,并对测量系统的各个技术指标进行了精度验证,试验表明测量场的精度满足大型运载火箭包络测量要求,能为大型运载火箭级间分离的方案设计提供数据基础,确保了级间分离的可靠性。     

微米与纳米级加工技术

论述了微细刻蚀、LIGA、微细特种加工、纳米切削和基于扫描探针技术等微米、纳米级加工技术的原理、特点和发展     

数控在线测量的应用与误差分析

本文针对现代制造业对数控在线测量技术的需求,在对数控在线测量技术进行分析的基础上,重点比较了在线测量与离线三坐标测量的差异,对在线测量技术中的误差因素进行详细分析,探讨了在线测量技术的应用要点。     

涡轮级轮缘封严内非定常流场的准三维LDV测量

研究涡轮级封严内流动和主流的相互作用、相互影响,进一步认识盘腔内燃气入侵等非定常现象,急需流场实验数据验证。针对轮缘封严内空间狭窄、光路安排困难等问题,本文发展了一种用于测量涡轮级轮缘封严内非定常流场的准三维LDV技术,即测量分两步,首先在机匣上安置二维测速系统用符合方式测出径向、切向速度及湍流度,再在轮毂内安置一维探头重复测量,从两次测量数据中计算出轴向速度;该技术借助锁相采样等技术能测出不同动静叶相对位置情况下封严及盘腔内的周期性非定常流场细节,本文给出了部分典型的动态流场测量结果。