梁-膜结构微压传感器研制

由四个弹性梁和一个刚性中心膜构成的梁-膜结构,具有平面应力集中效应,与一般的结构相比,这种膜片在受到微压时即产生较大的应力集中,使传感器在测量微压时有较高的灵敏度,它的特别的结构能解决一般结构膜片在很薄时由膜应力和弯曲应力产生的严重的非线性。介绍的这种双面腐蚀形成的梁-膜结构的硅压阻式微压传感器的设计就是采用这种应力集中原理,芯片结构的力学特性分析及样件测试结果表明,这种结构的微压传感器具有较高的灵敏度和较低的非线性,成功地实现了对微小压力的测量。利用有限元仿真计算对用于100Pa压力测量的梁-膜结构硅压力传感器的结构参数进行优化,并对芯片版图设计、制作工艺技术和传感器的特性等问题进行了讨论。     

单晶硅微压传感器的研制

风洞测压及实现自动检测、自动控制,急需提供高精度、测量微压的压力传感器。本文介绍一种利用单晶硅压阻效应研制成的微压传感器。其特点是精度高、灵敏度高,适用于对不同参考压力的测量。文中简介传感器的工作原理、技术指标,着重讨论微压传感器的设计、工艺特点。     

爆震燃烧的特性研究

研究了爆震管中爆震燃烧的压力特性及爆燃到爆震转捩 (DDT)特性。在乙炔与氧气的预混气中 ,通过高频响压力传感器及自行研制的离子探针 ,测量了不同工况下爆震燃烧的压力与火焰传播速度的变化历程 ,获得了爆震波峰值压力、波后压力及 DDT距离随混气初始压力 (2×10 4 Pa～ 1× 10 5Pa)、混气当量比 (0 .3～ 1.0 )及混气浓度 (6 0 %～ 10 0 % )的变化规律。试验结果表明 :降低预混气的压力、混气当量比及浓度会使爆震波的峰值压力、波后压力不同程度的下降 ,DDT距离增大 ,其中 DDT距离对混气浓度最敏感     

冲击波压力传感器测试系统的动态标定

介绍压力场测试中所采用的压电压力传感器的标定方法。压力场测试中所采用的传感器是一种以压电晶体做敏感元件的压力传感器，它可以将压力讯号直接转换成电荷输出，其输出量与被测量压力成正比。该传感器具有较大的测压范围、较好的线性、快速的上升时间、高的压力-电荷灵敏度和较小的几何尺寸。给出了压电压力传感器的实验室标定方法和野外使用环境条件下的现场标定方法，并进行了对比研究。     

英国德鲁克隆重推出耳目一新的四合一手泵PV411

采用传统手泵产生压力 ,如果压力范围又比较宽的话 ,起码必须配备几种手泵 :真空泵、气压泵和液压泵。英国德鲁克公司最新推出了 PV411多功能手泵 ,这是一种新型的集合产生多种压力的四合一手泵 ,可产生真空、微低气压、气压中压和液压高压。手泵的外形设计和内在性能完全以人为本 ,抓握舒适 ,便于经常性单手或双手操作。打真空时 ,只要抓握操作 5次 ,就能达到 95%的真空度 ,产生低压和微压时的分辨力可达10 Pa,高压 (液压 )可到 70 MPa。但更为特殊的优点是 :任何厂商生产的气压手泵最高只能到 3MPa,而 PV411手泵的气压可达到 6MPa。…     

国外传感器技术的现状

国外传感器目前的技术性能已达较高水平，主要表现在以下几方面：1．精度高、测量范围宽。如压力传感器，其精度一般达0．05％～0．1％，有的达0．of％。美国PSI公司的PS型标准数字压力传感器的精度最高、重复性为0．005％，滞后0．001％，温度误差0．0002％。压力传感器的测压范围从0.01PSi到10000PSi。温度传感器的工作温度最低可到-196℃，最高可达1400℃。2．小型化、系列化。标准化．如美国Entron公司的量程为2～500PSi的产品，直径仅为1．27mm。传感器多为系列化产品。3．可靠性高、稳定性好。可靠性数据比较完整齐备，敏感元件…     

热激励谐振式硅微结构压力传感器

对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件,硅梁作为二次敏感元件的热激励硅谐振式压力微传感器进行了较系统的研究 :建立了微传感器敏感结构的工程用数学模型;以所建立的模型实际设计了敏感结构参数 :方形膜边长 4 mm,膜厚 0.1 mm,梁谐振子长 1.3mm,宽 0.0 8mm,厚 0.0 0 7mm;采用微机械加工工艺加工出了原理样件;采用电热激励、压阻拾振方式对其进行了开环测试     

微压压力传感器的结构改进

硅压力传感器具有小型和高灵敏等的优点，近年来小型高灵敏度的压力传感器的量程已低到１ｋＰａ。在这一发展过程中硅弹性体结构的改进起了很大的作用，本文介绍了作者首先提出了适用于微压压力传感器的梁膜（岛）结构以及以后几年来出现的相近的结构，用这些结构都已制成量程为１ｋＰａ的压力传感器 。     

差压式空间站在轨泄漏监测技术研究

研究空间站在轨泄漏监测技术是载人航天器在轨检测和安全防护技术的重要组成部分,对保证航天员的生命安全具有十分重要的意义。以差压传感器为核心,建立舱体内置式非对称基准物的原理样机,经过压力变化检漏及不确定度评定分析和模拟泄漏检测实验得出该方法的检漏灵敏度及其泄漏监测的可行性和有效性。研究结果表明,差压式空间站在轨泄漏监测技术精度高,其4 h检漏灵敏度约为2.5×10~(-3)Pa·m~3/s,可检约10~(-2)Pa·m~3/s以上的泄漏,方法可行,检测有效,可为后续工程研制提供参考。     

福禄克推出新型压力校准产品满足仪器仪表技术人员的准确度和量程需求

正2014年01月21日,中国北京消息——福禄克公司进一步丰富其精密压力校准产品线,推出新款700G系列精密压力计和两款新型压力校准器:FLUKE719PRO和721双量程压力校准器。量程从0.36至10,000 PSI,具有18种不同的工程单位可选,允许用户对仪表进行定制,以满足客户各种特殊的压力校准需求。从此,仪器仪表、过程及工厂维护技术人员能够拥有完备的校准设备,坚固耐用、值得信赖。     

三○四所十一项产品标准正式备案

(本刊讯 ) 2 0 0 3年 1 1月 2 4日 ,三○四所下列产品 :1 KJY精密孔径仪系列 ;2 DL- 3型电脑量块测量仪 ;3气体活塞式压力计 ;4NJ系列扭矩传感器 ;5DMP2 0 0 0数字应变测量仪 ;6NJB- 2 0 0 0型扭矩扳手检定装置 ;7三参数表面粗糙度测量仪 ;8玻璃多刻线样板 ;9长平晶 ;1 0玻璃线     

真空电子束焊在航空产品中的应用

一、前言 我公司一九八○年从英国引进一台中压型高真空电子束焊机。该机具有70年代国际先进水平。采用程序控制逻缉电路,可实现半自动或全自动焊接。各种焊接参数精度高,工艺再现性好。该机电子束功率6KW,加速电压60千伏,最大电子束流100毫安;工作室、电子枪的真空度分别高于1×10~(-4)乇(10~(-40×133.3Pa)和1×10~(-5)乇(10~(-5)×133.3Pa),焊接自动定时范围为0.5～99.9秒,工件旋转速度为0～59.9转/分,工作台x,y两方向直线速度为0～3000毫米/分,工作室容积620×620×620(毫米)。几年来该焊机性能基本满足了我厂研制、生产新型航空电源及电嘴产品的需要。下面仅就电子束焊工艺的特点及应用情况作一介绍。     

脉动压力传感器研制

测量脉动压力用压阻式压力传感器，通过有限元应力分析求得灵敏度高，线性又好的双岛硅膜片结构；采用双面对准光刻工艺，各向异性腐蚀微机械加工制硅膜片等新技术。最后给出了脉动压力传感器的动、静态性能指标。     

具备X-Stream技术的WaveMaster系列数字示波器

近日从美国力科公司北京代表处获悉 ,力科公司最新旗舰产品 Wave Master系列数字存储示波器即将正式推向市场。Wave Master系列示波器具有 4通道 ,5GHz模拟带宽 ,2 0 GS/ s采样率 ,储存长度为每通道 50 0 K (加选件可达48M) ,此示波器专为满足测试长而复杂的高速信号或快沿信号的要求而设计 ,具有高达 5GHz的触发带宽 ,能捕捉到高达 5GHz的高速信号。仪器采用了新的 X-Stream结构 ,使分析波形的速度是以往示波器的 1 0～ 1 0 0倍。Wave Master系列示波器为全新的产品 ,领先的技术不仅是为了“观察”信号 ,更是为了满足下一代波形测…     

气泡对无阀微泵动态特性影响的实验研究

采用高速摄像机拍摄了收缩管/扩张管型无阀压电微泵泵腔中气泡的变化,包括进入、移动、合并和分离等过程。同时,采用压阻式微型压力传感器测试无阀压电微泵泵腔的压力脉动。实验结果表明气泡进入泵腔之后,流体有效体积弹性模量和无阀微泵压力脉动幅值明显减少,气泡的进入使无阀微泵的工作性能大大降低,甚至导致微泵无法正常工作;而气泡移动、合并和分离对流体有效体积弹性模量和微泵的动态特性影响较小。     

静电封装技术在硅真空膜盒上的应用

静电封装是继玻璃烧结等新工艺后又一种能实现硅敏感膜片刚性联结的理想工艺方法,并日益在制造硅压阻式各型传感器的硅膜盒组件上显示出其优越性。本文着重介绍静电封装技术在硅真空膜盒上的应用,我们建立了一个小于5×10~(-5)毫米汞柱绝对压力的基准压力参考值。这使研制的压阻式绝对压力传感器具有精度高、稳定性好的突出性能。1.静电封装的提出利用单晶硅材料的压阻效应,用半导体平面制造工艺做一个敏感元件-硅膜片。把硅膜片加工成诸如硅杯形一体化整体结构,使其成为周边固定的薄板膜片,有选择地采用胶粘、     

新型Fluke750P系列压力模块上市

正为应对压力校准标准和基准级精度测压仪表日新月异的需求,福禄克公司推出了Fluke750P系列压力模块产品。配用这48种精度模块,Fluke750P系列过程校准仪和725,726多功能过程校准仪可以完成表压测量、差压测量、双量程压力测量、绝对压力测量和真空压力测量等任务。Fluke750P系列产品专门针对新校准要求中给出的不同使用模式而设计。对于制药业应用和石油与天然气领域的密闭输送     

燃烧室热力模化分析

以燃烧室四热量平衡方程为热力模化分析和壁温计算模型，得到了较实用的模拟准则。用几种模拟压力下的计算壁温对设计点壁温的偏差考察了准则的可靠性。热力模拟准则与压力1．0次方或1．15次方燃烧效率准则相近，与1．75次方效率准则差别较大。热力准则在0．3倍设计压力以上的压力范围具有较高的模拟准确率。压力低于1MPa时，模拟壁温应作增加5％以上修正。     

基于比例阀门的升降速度控制方法研究

提出了一种新的航空升降速度标准信号自动产生方法.从控制方面,采用硅压阻模拟、石英数字双传感器,分别作为过程控制传感器和基准压力传感器,保证系统升降速度的准确度.采用双闭环控制方案,模拟闭环采用电路设计实现,数字闭环通过计算机、数字传感器和软件实现.控制执行部件采用一对比例电磁阀门.控制电路设计采用了模拟电路PID和数字PID控制结合的串级控制方案,对实现升降速度和压力信号变化的微分电路进行了设计.实验证明,该装置升降速度的输出准确度优于0.2%F.S,控制范围为0～200 m/s.     

基于MAX1452的硅压阻压力传感器数字补偿设计与拟合分析

随着现代科学与技术的高速发展,高精度传感器的应用日趋成熟。MAX1452作为一种高度集成的模拟传感器信号处理器,具有16引脚SSOP封装、全模拟信号通道、低功耗、温度范围宽等特点,可用于硅压阻压力传感器的数字补偿。硅压阻压力传感器输出的信号经过MAX1452校准补偿版输出模拟信号,再经过A/D转换器输出数字信号,在这个过程中,MAX1452全模拟信号通道没有引入量化噪声,利用16位DAC实现数字化校正,16位DAC对信号的偏移量和跨度进行校准,实现硅压阻压力传感器的数字补偿。