光学零件的超精密加工技术

叙述了激光核聚变、大型非球面和共形光学零件的超精密加工技术 ;将超精密切削、磨削、计算机数控抛光和连续抛光技术结合起来 ,成功地应用于激光核聚变光学零件的超精密、批量制造 ;分析了研制大型非球面光学零件超精密加工装置应该解决的关键问题 ,并提出了解决方法     

非球面超精密车削过程中的轮廓补偿控制方法

介绍了一种可提高非球曲面超精密加工机床的轮廓跟踪精神匠误差补偿控制方法。该轮廓补偿控制器是机床轮廓位置伺服系统的一部分,它以二交一代替原微直线段来逼近给定轮廓,可提高系统的轮廓逼近精度,并减小插补数据不连连对伺服系统的冲击,从而最终提高轮廓的加工精度。     

非球曲面超精密车削过程中的轮廓补偿控制方法

介绍了一种可提高非球曲面超精密加工机床的轮廓跟踪精度的误差补偿控制方法。该轮廓补偿控制器是机床轮廓位置伺服系统的一部分,它以二次曲线代替原微直线段来逼近给定轮廓,可提高系统的轮廓逼近精度,并减小插补数据不连续对伺服系统的冲击,从而最终提高轮廓的加工精度。     

非球面零件超精密加工技术

介绍了非球面零件超精密切削、超精密磨削、超精密抛光（研磨）、等离子体的CVM、复制等技术的超精密加工方法．     

超精密车削微量进给机构的试验研究

通过试验对超精密车削压电陶瓷微量进给机构进行了研究。文中分析了压电陶瓷的微位移特性，给出了整个机构的设计方法和性能．试验结果表明，该微量进给机构的分辨率达到０．０２５μｍ，频响范围０～２００Ｈｚ，能够满足超精密车削的需要．     

超精密车削表面三维微观形貌仿真及特征分析

对在金刚石超精密车削加工中刀具与工件间相对振动对工件表面形貌的影响进行了仿真,并在理论上对工件表面的三维微观形貌的特征进行了分析,表明在不同的切削条件下工件表面形貌具有不同的特征。     

非球面零件光学检测技术研究

针对非球面零件光学级检测技术进行广泛探讨,并针对课题研究中一抛物面镜实例,设计出实用型Dall补偿器,经优化后,保证检测面形精度达到0.004λλ=632.8nm。     

超精密切削工艺参数分析研究

通过对切削理论的分析,提出了主轴转速、进刀速度、刀具圆弧半径几项参数需互相严格匹配并提出了匹配计算公式,进行了相应试验证明该理论是可行的。     

缸体均布偏心孔的超精密车削技术

在分析柱塞泵缸体结构特点及均布偏心孔高精度技术要求的基础上,研制了专用金刚石车刀;设计了真空吸附偏心分度工装以保证9孔的位置精度,并采用“三点平衡法”进行工装的静态平衡调整;制订了精镗偏心预孔、双销定位分度、单独找正再超精车的超精密加工工艺方案,完成了偏心孔的高精度超精车削加工,提高了缸体均布偏心孔的加工质量及其一致性。将超精密车削技术应用于铜质柱塞泵缸体偏心盲孔的超精密加工具有一定的创新性。     

金刚石超精密切削刀具技术概述

分析了国内外金刚石超精密切削刀具技术的发展概况,并从金刚石超精密切削刀具的精度控制、金刚石超精密切削刀具的选择以及金刚石超精密切削刀具的制造技术等方面进行了探讨。     

基于刀具摆动进给的非球面加工形貌仿真

本文以设计的基于刀具摆动进给的非球面加工机床为基础,建立非球面加工形貌仿真模型。以抛物面零件为实例,进行非球面的加工仿真。仿真结果表明,摆轴的仰角误差是影响加工表面的面形精度的重要因素,而其对表面的粗糙度的影响不大。     

单点金刚石车削非球曲面测量数据样条拟合算法研究

在分析离散数据插值与逼近方法的基础上,讨论了B-样条拟合算法;并针对超精密非球曲面的测量数据,分析了B-样条拟合算法的拟合误差与阶次的关系,同时与多项式最小二乘拟合做了比较.对比结果表明,B-样条拟合能达到更高的精度,并建议在非球曲面拟合中采用4阶次B-样条、51个控制节点,能达到较好的拟合效果.     

纳米精度光学非球面研磨、抛光技术

介绍了高精度光学非球面的研磨、抛光技术与计算机控制水平、机械设计能力等相关领域的发展。     

回转复杂曲面零件在线精密测量技术

针对复杂曲面零件的面形测量难题,提出以超精密机床作为栽体,利用高精度触发式测头,采用接触式的轮廓测量方法,检测曲面零件的子午面曲线,再与理论曲线相比较得出被测零件的面形精度.测量试验分析表明:该测量方法的检测精度高,通用性强,在实际加工和检测应用中具有很高的实用价值和应用前景.     

非接触式超精密研磨技术

名古屋工业技术研究所SP46型非接触式研磨机,研磨盘与工作轴以20～200r/min的转速作同向、高精度旋转,工作悬浮在研磨盘上,在研磨液的化学作用及微细粉末粒子的撞击下产生研磨作用。轴系皆采用液体动静压轴承,可加工Φ170mm的工件。该机可加工出表面粗糙度为2nm的硅片,加工Φ100mm、厚度为30mm的BK7光学玻璃,平面度为0031μm,表面粗糙度(均方根偏差)可达0.0038μm。特别适合微电子功能材料及光学平面的超精密加工,具有广阔的应用前景。     

小型非球面光学元件测量技术研究

非球面光学元件应用越来越广泛,其测量技术非常关键.本文研究了小型非球面光学元件的各种面形测量方法,针对其测量原理进行了分类和对比,对其优缺点和适用范围进行了讨论,同时分析了各种测量方法实现的关键技术和面临的挑战.     

高陡度光学非球面高效制造的探讨

分析了计算机控制光学表面成形法、计算机控制应力盘抛光、磁流变抛光制造光学非球面元件的几项先进技术,探讨了光学元件的高速、高效加工,提出了高陡度光学非球面的固着磨料研磨加工。