1MΩ～100GΩ高值电阻器高精度的校准方法CSCD

高阻计、数字源表等仪器在半导体行业有着广泛的应用. 但目前市场上1MΩ-100GΩ高值电阻器准确度（±1. 0x10-3 -±1. 0x10-2）无法满足高阻计、数字源表等仪器电阻参数的溯源需求. 本文提出了一种高精度的高值电阻器的校准方法,该方法由两个多功能校准源和指零仪组成的比较电桥实现. 根据校准方法组建了1MΩ-100GΩ测量系统,测量结果的不确定度为3. 0x10-5 -8. 0x10-4,可满足市场上绝大部分高阻测量仪器的校准需求.     

高阻计检定方法

本文叙述了高阻计的检定方法。高阻计的检定由三部分组成:电压及其倍率的测量、电阻及其倍率的测量和电流的测量。电阻检测范围为10~6～10~(13)Ω,电流检测范围为10~(-5)～10~(-13)A。检定的不确定度为0.1％～3％。     

一种高精度数字源表小电流校准方法

针对武器装备科研生产单位计量工作通用要求中TUR不小于4:1的要求,提出了一种利用高值电阻器测量高精度数字源表中纳安、微安量级小电流的间接测量方法,通过对多个型号数字多用表输入阻抗的测量与影响分析,评定了小电流的测量不确定度,给出了三个能够满足计量要求的测量标准,通过试验10nA测量点的测量不确定度由7. 0×10~(-4)提高至2. 0×10~(-5),TUR提高了10倍～50倍,不仅满足了规范的要求,更是提高了纳安、微安量级电流参数的测量能力,保证了小电流参数量值的准确、一致。     

高值电阻国际比对的方法研究

介绍了参加亚太实验室认可合作组织(APLAC)开展的高阻1 MΩ;10 MΩ实验间比对的方法,对一种用参考电压测量高阻的方法进行了描述,解决了其中的技术问题,对测量不确定度进行了分析,其结果为测量1MΩ的合成标准不确定度为3.10-6,测量10 MΩ的合成标准不确定度为5.10-6,APLAC公布的比对中期报告证明了该方法的可靠性。     

一种精密超高阻测量系统

为了对高阻和超高阻进行测量,采用全等电位屏蔽电桥线路、比例校准技术,并配以高灵敏指零仪和精密高压电流,研制出了 JRH 型精密超高阻测量系统。该系统是一个高精度、自校准、在0～5000V 下能测量高阻、超高阻、电阻比、电阻变化和电阻电压系数的电桥系统.其测量范围为10~3……10~(15)Ω,测量准确度最高为5×10~(-5)。文中还叙述了电桥系统的工作原理、结构与线路设计、误差分析和测试结果.     

直流微电流标准源

一、概述微电流测试仪的最高分辨力已达10~(-17)A,不确定度在百分之几数量级。用于校准微电流测试仪器的微电流源主要有三种类型:电阻式、电容式和电离式。电阻式直流微电流源由可调参考电压源和一系列高阻组成,具有结构简单和能持续输出(t—∞)的优点,但由于高阻的稳定性差,这种微电流源的不确定度不太高。目前,电阻式微电流源在10~(-13)A输出时,不确定度只能达到百分之几数量级。电容式微电流源以线变电压发生器和微分电容为基础,采用微分线变电压原理实现微小电流输出。这种微电流源在10~(-13)A     

供测量高阻率材料电压、电流和电阻用的前置放大器

本文介绍一种供测量高阻率材料直流电压、电流和电阻用的前置放大器,其测量范围分别为:电压:30μv～10v;电流:10~(-2)～10~(-13)A;电阻:10~3～10~(13)Ω。若在反馈回路中接入适当的电容器还可测量电荷。本前置放大器采用市场上供应的运算放大器制成,其体积较小,并可与市场上大量供应的电压表或记录器联合使用,适用于无定形的(非晶体的)半导体薄膜电气性能的就地测量。     

高准确度直流标准电流源的校准与不确定度评定

利用Fluke8508A参考级数字多用表和Guildline9334A直流标准电阻作标准,采用电流电压转换法,实现对高准确度直流标准电流源准确、可靠的校准。通过对其测量不确定度进行准确、详细的评定,证明可圆满地实现误差为±0．003％的高准确度直流标准电流源的校准,从而大大增强了对高准确度直流标准电流源的校准能力。     

一种高g值冲击标准校准裝置

本文介绍了高g值冲击标准校准装置的原理和方法,详细分析了该装置的误差来源及其合成方法,并给出了实验结果。该装置的不确定度为U_(95％)=±3％。(200～2×10~5m/S~2),U_(95％)=±5％(3×10~5m/S~2)。用该装置对美国ENDEVCO公司的2270标准加速度计进行幅值线性度校准,其校准值与出厂值完全一致。     

在100V下校准10kΩ电阻

介绍了在 10 0V下用比较法测量 10kΩ的方法 ,采用与参考电压比较的方法解决大电阻在电压降大于 2 0V的情况下测量准确度低的问题 ,进行了测量不确定度分析 ,不确定度为 10 -6量级 ,并通过国际比对得到证实。     

相控阵天线快速校准方法

相控阵天线的快速测量和校准一直是相控阵天线研究的热门问题。传统校准方法的测量速度较慢,不能满足大量工程需求的测量校准要求。针对实际工程应用需求,在对幅相求解算法研究的基础上,提出了一种基于幅度测量的快速校准方法--四相幅度校准法（FPC）。经理论分析,该方法的校准时间仅相当于采用6位数字移相器的旋转矢量法所花费校准时间的1/16。对四相幅度校准法、采用4位数字移相器的旋转矢量法和采用6位数字移相器的旋转矢量法的校准速度和校准精度做了对比试验,试验结果验证了四相幅度校准法的正确性和高效性。      

定容式流导法微流量校准装置的设计

定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准,由定容式流量计和流导法两部分组成,定容式流量计用于大流量的测量,流导法用于小流量的测量。定容式流量计有两种工作模式,可测量流入定容室的气体流量;也可测量流出定容室的流量。该校准装置,可采用定容法和流导法对气体微流量进行校准,校准范围为(5×10-2~5×10-11)Pa.m3/s,合成标准不确定度为0.56%~1.70%。     

100 A直流大电流标准及检定系统

介绍了一种新建立的直流大电流标准及检定系统。该系统由直流标准电压源、跨导放大器、零磁通电流互感器、分流器、标准电阻和数字电压表组成 ;直流电流输出范围为 0～10 0A ,不确定度为 5× 10 - 4,直流电流测量范围为 0～ 12 0A ,不确定度为 5× 10 - 5。分析了常用的直流大电流测量方法 ,介绍了系统的硬件设备组成 ,简述了关键设备的基本原理和校准测试方法 ,并给出了测试结果 ,该标准的建立将满足 10 0A以下直流大电流源、直流大电流表。     

高稳频微弱激光量子源测量标定技术研究

激光雷达探测系统需求稳定的单光子源作为定标光源,通过输出波长及功率可量化溯源的微弱光量子信号,对探测系统的探测不确定度进行分析,并对接收与探测系统性能进行评估。针对这一需求设计并研制一种输出激光波长稳定、输出平均光子数从10^(11) s^(-1)量级至10~3 s^(-1)量级的可调谐高稳频微弱激光量子源,并开展了相关测量标定工作。输出的微弱信号光波长稳定在532.269 nm处,功率覆盖79.3 nW至0.34 fW,平均光子数覆盖10^(11) s^(-1)量级至10~3 s^(-1)量级,在10~5 s^(-1)量级的稳定度优于0.6%,能够满足激光雷达系统探测不确定度分析与性能评估等方面的应用需求。     

直流高阻电桥检定方法

检定一般的直流电桥需要多只高准确度标准电阻及一台高准确度电阻箱。对于检定测量范围为10~3～10~(12)Ω的高阻电桥是很难找全如此多的标准。为了克服此困难,介绍仪用一只高准确度标准电阻就能对高阻电桥进行检定的方法,本方法所用其它辅助电阻及电阻箱,只起平衡作用无准确度要求。因此短期稳定即可。此方法给计量检定人员提供了方便。     

铷吸收半导体激光稳频光波长标准研究

介绍了用铷吸收光谱法对半导体激光器进行稳频,通过对包括半导体激光驱动源、稳频器、吸收室、光路等系统的优化设计,达到具有高信噪比微分误差信号,从而大大提高了半导体激光器稳频锁定灵敏度和长期稳定性。采用文中介绍的方法建立的光波长标准系统,其波长的测量重复性、稳定性可满足当前和将来很长一段时间光波长计校准的需要。     

关键尺寸扫描电镜校准及符合性评价技术研究

针对关键尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM,Critical Dimension Scan Electron Microscope)的校准需求,在CD-SEM校准原理和方法研究的基础上提出了降低CD-SEM和标准样板质量属性对测量结果影响的方法,同时分析得到了标准样板同一位置可用于校准的最大次数,并通过100nm晶圆级一维栅格标准样板对Hitachi S9830CD-SEM进行了校准和测量结果的不确定度评定;基于校准结果对Hitachi S9830 CD-SEM是否满足预期使用要求进行了符合性评价。结果表明,使用S9830 CD-SEM进行关键尺寸测量时,其示值误差满足预期使用要求,故无需调整。     

高精度电容式测微仪的性能试验

前言随着科研生产的迅速发展,精密轴系的精度越来越高,目前已达2×10~(-8)米的数量级。轴系精度的提高,相应的要求检测仪器有更高的精度。运算法电容式测微仪具有非线性小,分辨率高,非接触测量,使用调整方便等特点,因此,在精密轴系测量和微小位移测量中日益发挥重要作用。电容式测微仪的分辨率可达10~(-8)米～10~(-9)米甚至更高,对于这种高性能的仪器做出准确     

一种新的频稳分析仪WH—91

目前国内好的晶振秒级稳定度已达到2～3×10~(-13)/s,氢钟1000~5以上稳定度已优于几×10~(-14)。国内市场可见的仪器难于满足上述指标的测量,因此研制了一种可满足上述指标的测量仪器——种新的频稳分析仪WH-91,分析了引起误差的各种因素,给出了实测结果,测得非优选8601晶振的秒级稳定度为5×10~(-12)/s,与该晶振的出厂指标符合良好。     

数字示波器检定方法研究

总结了数字示波器垂直偏转灵敏度和水平扫描速度的检定工作。本项目的实验结果得出如下结论:TDS600系列数字示波器幅度测量范围为(1～10)倍垂直偏转灵敏度标称值,测量不确定度为±4%×1/H,H≤10;时间测量范围为(1/5-11)倍的水平扫描因子,测量不确定度为0.1%×1/S±75 ps, S≤10。分析了检定中出现的异常现象并进行了如实记录,提出了避免产生异常现象应采取的措施。