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纳米材料研究中不可缺少的分析工具是扫描探针显微镜,本文将介绍这种显微镜的简史、种类、工作原理、最新发展及应用情况。 相似文献
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周菊芳 《航空精密制造技术》1993,(6)
介绍一种用于亚微米尺寸测量的混合型激光扫描光学系统。该扫描光学系统是将具有不同偏转角度特性、向同一方向扫描的AOD(声光式偏转器)和GM(电控反射镜)两个扫描元件配置在同一光路中。当驱动一个扫描元件时,另一个扫描元件停止动作,两者动作是互补的。 相似文献
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刘俭 《航空精密制造技术》2008,44(3)
共焦点扫描测量技术是微光学、微机械、微电子领域中测量三维微细结构、微台阶、微沟槽宽度、深度等结构参数的重要技术手段之一。目前,在传统共焦扫描成像技术基础上已经发展演变出双光子荧 相似文献
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对由压电陶瓷的压电误差造成的扫描探针显微镜扫描器的运动误差进行了较详细的实验研究和理论分析,分析了各项误差的产生原因及其实验现象,据此可对误差进行判断和修正。 相似文献
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为检测整束氧化聚丙烯腈纤维径向异质结构发育情况,迫切需要开发一种评价聚丙烯腈纤维是否均质氧化的检测方法。本文通过树脂包埋和研磨抛光制备用于光学分析的纤维试样,应用光学显微方法对比分析了两种类型氧化聚丙烯腈纤维径向异质结构演变过程,提出了氧化聚丙烯腈纤维径向异质结构演变模型。结果表明,TG300氧化聚丙烯腈纤维呈典型的径向异质结构,TG800氧化聚丙烯腈纤维径向异质结构不明显。随着氧化反应进行,纤维直径和碳含量逐渐降低,而氧含量逐渐上升。这说明光学显微分析可以用于氧化聚丙烯腈纤维是否均质氧化评价,可为得到均质氧化聚丙烯腈纤维提供分析检测手段。 相似文献
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用扫描隧道显微镜(STM)对粘胶基碳纤维(RCF)表面的微观结构进行了研究,首次获得了原子级的RCF图像,对其原子间距作了精确地量化,并且尝试着将所得到的图像与高定向降解石墨(HOPG)相比较,以期对RCF的微观结构有更深入的了解,在原子级尺度上,发现了原子排列并不规则的石墨状结构,二维视图量化结果表明:相邻原子间距为0.142nm,最近六圆环中心的距离是0.253nm。 相似文献
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用原子力显微镜对不同工艺下获得的超光滑反射镜基片进行了功率谱密度(PSD)检测,并对结果进行分析,以指导光学元件加工。 相似文献
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航空发动机叶片型面数据的快速精确获取是提高叶片加工质量、保证整机工作性能和使用寿命的关键环节。为实现叶片等空间复杂曲面零件的几何形状和尺寸信息的高精、高效测量,基于非接触式的光学扫描测量系统,开展了其在叶片截面参数检测中的应用研究。该光学扫描测量系统以传统的三坐标测量机为系统平台,配备基于环形激光三角法测量原理的新型激光扫描测头,结合专用的叶片测量软件,实现叶身指定截面的几何参数测量与评价,因而可以作为一个技术领先的用于快速精确测量叶片和质量控制的解决方案。为验证该光学扫描测量系统在叶片型面扫描测量中的应用效果,以一个大扭曲风扇叶片作为被测对象,对其5个截面进行扫描测量,通过模型匹配获得了该叶片的每个截面上的轮廓度误差、形心位置度误差和弦线转角误差等,充分体现出了该测量系统的有效性和实用性。 相似文献
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分析了热解炭的双反射特性和消光现象,对热解炭消光角测量方法的理论基础进行了研究,并对化学气相渗透工艺制备的C/C复合材料中热解炭消光角的实验测量数据进行了解释。结果表明:消光角是材料双反射特性的综合反映;消光图法和四分之一象限光强法得到的消光角理论表达式不同,但消光角的数值总是取决于材料的双反射率比值;热解炭的消光角测量值是材料较大反射面积光学特性的平均,包含了杂原子、缺陷、乱层结构的信息,因而和石墨消光角的含义不同;石墨结构是热解炭织构有序的极限,但热解炭消光角并不受石墨理论消光角数值的限制。 相似文献
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刘登伟 《航空精密制造技术》2023,(6):22-25
针对自动钻铆干涉量研究中难以同时精确测量铆接后的铆钉直径及其对应位置的难题,采用基于光学扫描的测量方法对自动钻铆干涉量进行实验研究。实验件由两块铝锂合金板组成夹层,单层板厚度均为2.4mm,配合沉头铆钉。实验结果表明:基于光学扫描的方法不仅可以精确测量铆钉直径及其位置,还可以得到铆钉直径的全貌分布;自动钻铆的干涉量分布是不均匀的,干涉量最大值出现在镦头一侧,干涉量最小值出现在钉头一侧。分布规律是从镦头到钉头严格依次递减;精密测量得到自动钻铆干涉量离散系数为0.201。 相似文献
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介绍了声学显微镜的基本结构、工作原理、测试技术及其一些典型应用.结合清华大学电子工程系近年来研制成功的THSAM声显微镜系列说明了这种新型检测设备具有的一些特殊功能,在航天、航空、电子等领域具有广阔的应用前景. 相似文献
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研究了利用图像匹配技术来扩大原子力显微镜的测量范围的方法,通过对表面粗糙度测量结果的分析验证了该方法的可靠性,并得出了面粗糙度比线粗糙度更能体现试件表面形貌特征的结论。 相似文献