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为了研究单晶硅电火花线切割(WEDM)表面损伤层的损伤形式和形成机理,以电火花线切割加工后的单晶硅表面为研究对象,采用表面形貌观察分析及择优腐蚀方法研究了单晶硅经过电火花线切割后的加工表面.研究结果表明单晶硅经电火花放电加工后表面损伤形式分为4种:热损伤、应力损伤、热与应力综合作用损伤及电解/电化学腐蚀损伤.热损伤使得硅表面形成多晶或非晶硅;应力损伤使硅表面产生裂纹;热与应力综合作用会产生小孔效应,且随着放电功率密度的增加,小孔会明显增多;电解/电化学作用会加快损伤区域及杂质元素富集区域的腐蚀. 相似文献
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机械制造领域的研究与发展概况(下)南京航空航天大学王珉机械制造的重要手段──加工技术的发展加工技术与电子技术、控制技术、物理化学原理和新型材料结合,将产生出新的加工技术,如热能加工中的电火花加工、线切割加工、激光束加工、电子束加工、等离子加工、机械能... 相似文献
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现代电火花技术在航空工业中的应用 总被引:3,自引:1,他引:2
在特种加工领域中电火花技术目前已成为一种成熟可靠广泛应用的先进技术。特别是近20年来,与CNC技术、精密机床的结合,使电火花技术已发展成为一种高水平的特种精密加工工艺。它不仅已成为加工各类精密模具的主要手段,而且必将成为各种高精尖产品难加工工件的重要... 相似文献
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以建立的普通工作液电火花加工放电通道流体动力学和热动力学公式为理论基础,分析了混粉工作液电火花加工获得低表面粗糙度值的原因。 相似文献
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<正>本文介绍了电火花加工的概念、原理、特点及应用,指出了在实际维修过程中应用电火花加工的注意事项,最后对电火花加工技术在民航维修领域的应用进行了展望。电火花加工又称放电加工,它是一种利用电能产生的高温热能进行部件加工的新工艺。电火花加工与传统金属机械加工的原理不同,它并不与工件直接接触,而是靠和工件之间不断产生的脉冲性火花放电,产生局部、瞬时的高温把金属材料逐步蚀除掉。由于放电过程可见到火花,所以称为电火花加工。 相似文献