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1.
静电驱动是实现微米光栅加速度计小型化和闭环力反馈控制的关键, 其引
入的静电刚度对加速度计灵敏度有着重要影响。对基于静电刚度的微米光栅加速度计灵
敏度特性进行分析。首先, 建立了基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度模型。其
次,通过MATLBA 仿真,得到静电驱动电压与传感器灵敏度的理论关系。最后,对理论
分析结果进行了实验验证,结果表明静电刚度可以改善系统刚度,静电电压从1.25V 到
2.05V 等间隔变化时, 加速度计的灵敏度由871mV/g 变化为1148mV/g, 分别相对于未加
电时的灵敏度783mV/g 提高了0.46dB 到1.66dB,提高了微米光栅加速度计的灵敏度。本
文研究内容对集成式闭环微米光栅加速度计的研究提供参考。 相似文献
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分体式石英谐振加速度传感器在性能提升上受到装配误差等因素的影响较大,故提出一种全石英谐振加速度计芯片结构,包括下层的硅结构和上层的石英结构。下层的硅基底仅作为支撑结构进行加工制作,敏感单元为全石英材料,硅结构与石英结构键合到一起,结构加工完成后去除硅材料,以释放石英敏感单元。整体结构为中心对称,包括质量块、音叉结构、微杠杆结构和应力分配梁,芯片通过微杠杆结构来增大传感器的灵敏度,并通过应力分配梁使石英音叉两根振梁上的内应力均匀一致。通过仿真验证了设计的有效性,仿真的差动灵敏度为35Hz/g。 相似文献
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硅微谐振加速度计以高精度的频率信号输出成为硅微传感器的研制热点之
一。在分析硅微谐振式加速度计工作机理的基础上,采用一种新的基于双检测质量块和
谐振音叉低附加质量的硅微谐振式加速度计结构形式。运用ANSYS 对加速度计关键结
构尺寸进行仿真优化,明确了关键结构尺寸的变化对加速度计性能的影响规律。结果表
明:杠杆支撑梁长度、杠杆支撑梁宽度、杠杆支撑梁位置、音叉梁宽度、梳齿宽度和质
量块支撑梁宽度对整体结构性能影响最大。所设计的加速度计谐振基频约为21kHz,标
度因数为92Hz/g,在±30g 加速度输入下非线性达到0.322‰。 相似文献
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优化电容检测接口并采用力反馈控制方案能够在不影响表头敏感结构的情况下,通过改变环路参数提高加速度计的信噪比,改善加速度计性能。基于一款阵列式差分电容的加速度计敏感结构,在等效电容模型的基础上,通过电容检测接口电路的搭建与输出信号的频谱分析,验证了单载波电容检测电路具有更出色的输出信噪比。后级采用STM32H743VIT6微处理器实现调幅信号的数字解调,经PI控制算法调节后作为反馈电压施加于可动极板,实现了加速度计的数字闭环控制。实测结果显示,闭环状态下加速度计的速度随机游走(VRW)为57 μg/Hz1/2,与开环状态相当,而零偏稳定性则从开环状态的184 μg改善至58 μg,验证了单载波调制型电容检测接口和力反馈控制技术对提升加速度计静态性能的具体效果。 相似文献
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《航空制造技术》1979,(11)
作为振动传递标准使用的SHQ-16型标准加速度计。由六二五所于一九七六年研制成功后,经使用考验,证明性能稳定、可靠。为推广使用统一航空振动测量标准,在北京召开了"SHQ-16型标准加速度计鉴定会”。会议有国家和部分省市计量部门,以及七机部、三机部部分厂、所共23个单位27名代表参加。代表一致认为:SHQ-16型标准加速度计性能稳定,结构可靠,设计考虑细致,工艺要求严格,并有一套完整的工装、测试设备保证产品质量,其主要技术性能指标已达到国际水平。其技术性能指标为: 1.电荷灵敏度≥1.2×10~(-12)库仑/g 2.频率响应20~3000周/每秒±1% 相似文献
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加速度计作为导航制导系统的重要元件,要在严酷的条件下及系统全生命周期内保证精度、稳定性、线性度等性能指标要求,这对加速度计的研制提出了极大的挑战。介绍了一种基于振梁谐振和力频特性原理的分体式石英振梁加速度计,给出了加速度计的总体结构和简化的力学模型,并进行了受力分析,指出不能简单通过增加摆质量的厚度来提高加速度计的标度因数。阐述了用双端固定音叉结构制作石英振梁的工艺加工过程,指出铬金掩膜的制作是振梁加工的关键工序。针对振梁等效参数,电路采用具有更大增益的双门振荡器方案。最后,对加速度计进行了标定测试,标度因数为55Hz/g,量程达到±70g,4h的零偏稳定性为8.1μg。测试结果表明,双振梁推挽差分输出的设计有效改善了加速度计的零偏稳定性。 相似文献
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汪宝宁 《自动驾驶仪与红外技术》1995,(1):20-24
光纤传感器发展很快,它作为测量元件被应用到惯性技术中,除光纤陀螺外,光纤加速度计的应用成为必然。光纤加速度计与机电加速度计相比,精度高,灵敏度好,它集光机电技术于一体。文中简述了开环和闭环光纤加速度计的工作原理,技术难点,及应用前景。 相似文献
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《航空标准化与质量》1981,(1)
为使飞机振动环境测量结果满足一定的精度要求,编制了《飞机飞行环境振动测量中振动加速度计校准技术要求》指导性技术文件,经部批准,于1981年1月1日开始实施,编号为HB/Z28—80。现对几个问题简单介绍如下:1.校准内容和方法加速度计灵敏度是随着使用环境温度而变化的,当使用环境温度已知,并与校准时环境温度相差大时,则应根据灵敏度一温度变化曲线,对测量结果进行温度修正。灵敏度—温度曲线一般在加速度计出厂时已给出,如果没有给出,则应进行温度校准。考虑到温度校准比较麻烦,我们假定灵敏度—温度曲线形式不随时间变化,故不要求进行定期温度校准。 相似文献
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恩德福克公司称为LSOTRON的传感器的中文名称为集成电路式压电加速度计。在这种加速度计中采用了内装集成式电荷放大器,达到了低阻抗输出,所以抗干扰能力强,对各种环境因素不敏感,不必用屏蔽电缆、普通塑料皮绞合线就能满足要求。用同一根线既可供电,又可输出信号,即使使用长电缆也不会降低灵敏度,不会增加噪声,因此降低了造价,改善了性能。恩德隔克生产的几十种集成电路式压电加速度计已成为系列产品,并生产与之配套的各种二次仪表。集成电路式压电加速度计@赵昕 相似文献
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宋明仁 《自动驾驶仪与红外技术》2002,(1):6-12
加速度计在重力场(1g范围内)的试验研究比较成熟,而它在大于1g环境的静态和动态试验在重力场内是无法实现的,随着飞机,导弹,卫星的导航和控制技术的发展,某些系统强调在大于1g条件下加速度计或其组合的性能及其对系统的影响。本文采用一种1*10^-4g至20g范围的带有伺服转台的精密离心机测试加速度计,解决了加速度计在重力场和离心机上性能标定技术和两个加速度计组合在精密离心机上作物理仿真试验的关键问题。并提出捷联或平台惯性导航系统在该设备作大g正弦振动,并隔离角速度的概念。 相似文献
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为了研究湍流扩散火焰的燃烧特性和局部熄火现象的机理,使用火焰面/反应进度模型对Sandia湍流值班射流火焰E进行大涡模拟。火焰面/反应进度模型适用于非预混燃烧,基于守恒标量和反应标量构建火焰面数据库,将详细的化学反应过程映射到这两个特征标量的平面上。数值模拟结果与实验数据符合得较好,火焰面/反应进度模型能较好地模拟湍流扩散火焰和预测火焰的不稳定性。研究发现,火焰在轴向距离与中心射流直径比值为7.5至15的截面处局部熄火概率较大,这与该位置标量耗散率偏大有关;火焰在轴向距离与中心射流直径比值为30以后的流场重新点燃,原因是混合物分数和当量比变小,火焰更多处于贫燃状态。 相似文献
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《燃气涡轮试验与研究》2018,(5)
针对涡桨发动机带止口定心传扭结构低压模拟转子的轴向预紧力开展研究,为带止口定心传扭结构高速转子轴向预紧力的确定提供理论分析方法。采用分段圆筒的简化思想,建立了前三级压气机盘和中心拉杆的简化模型。基于弹塑性力学和材料力学理论并考虑离心载荷的影响,揭示了轮盘间轴向力变化量与转速之间的关系,对设计确定的低压模拟转子初始轴向预紧力进行了评估。研究表明:评估的低压模拟转子初始轴向预紧力能确保止口定心传扭结构可靠工作,研究成果具有理论意义和工程应用价值。 相似文献
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宋砚玉 《航空精密制造技术》1996,(2)
平移、旋转加速度计AMP公司开发的ACH—04—08加速度计可以测量单向旋转和双向平移的加速度.传感器为双列直插式,尺寸为11mmxgmm,高度为Zmm。由于装有2个EPROM,故可调节8级灵敏度.灵敏度调节范围:角加速度为0.2~Zrad/s’;两... 相似文献
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