波面激光干涉仪在超精密加工中的应用

介绍了超精密加工的发展趋势和技术特点,介绍了波面激光干涉仪的测量原理及使用技巧,重点阐述了如何在超精密加工的多个环节,如工件检测、精密对刀、误差补偿中发挥波面激光干涉仪的作用。     

超精密车床位置精度的计算机辅助测试系统

介绍了一种超精密车床位置精度的计算机辅助测试系统,利用激光干涉仪在线检测超精密车床伺服工作台线性定位精度．该系统利用了原有的控制装置和自行研制的与激光干涉仪的接口电路,通过数控编程实时对工作台的静态和动态位置精度进行检测,并分析了系统的测量精度．     

惯性仪表制造中的精密和超精密加工

本文就惯性仪表制造中对精密和超精密加工的要求,阐述了目前国内外已经应用的几种加工方法,如超精密车削、镗削、磨削等,以及精密数控计算机技术、各种特种加工方法在精密和超精密加工领域中的应用。     

一等环规测量仪的研制

一等环规测量仪是将激光干涉仪测长技术、静态光电显微镜瞄准技术和精密微位移定位技术作为主体测量技术，以上三项技术的有机结合使该仪器的测量不确定度达到了国际法制计量组织(OIML)规定的一等环规的测量要求。     

光学零件的超精密加工技术

叙述了激光核聚变、大型非球面和共形光学零件的超精密加工技术 ;将超精密切削、磨削、计算机数控抛光和连续抛光技术结合起来 ,成功地应用于激光核聚变光学零件的超精密、批量制造 ;分析了研制大型非球面光学零件超精密加工装置应该解决的关键问题 ,并提出了解决方法     

双频激光测量系统在超精密机床中的应用

高精度的激光干涉测量系统是精密位移测量的决定性因素。本文介绍一种自行研制的双频激光测量系统。     

雷尼绍推出全新轻型激光干涉仪测量系统XL-80

在超精密的测量和校准方面，激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色。但是近年来，随着自动化位移系统性能的大幅提高，面对半导体和传统金属加工业的需求，现有激光系统的性能已无法满足一些客户的要求。[第一段]     

利用改正数信息的北斗三号实时精密单点定位及性能分析

北斗三号全球卫星导航系统已正式建成并开通服务。为了利用实时改正数信息系统地揭示北斗三号精密单点定位性能，并为用户提供理论依据和应用参考，首先解算了卫星实时精密轨道、钟差及其改正数，分析了其精度。然后基于实时改正数信息，利用监测站广播星历和观测数据，分别进行了双频静态、双频仿动态、单频静态和单频仿动态仿实时精密单点定位，以评估其性能。结果表明：北斗三号MEO卫星实时轨道和钟差精度均值分别约为12cm和0.2ns，满足实时精密单点定位需求。静态实时精密单点定位精度优于动态，双频优于单频，均可达到分米级。对于定位收敛时间，双频静态最短，约为40min；双频动态和单频静态均约为85min；单频动态最长，约为120min。     

一种新型的精密动态角度测量系统

提出了一种用于精密角度测量的新型干涉仪。使用普通的０．６３２８μｍ氦－氖激先器，采用声光调制、光外差干涉、电信号沉频、比相技术进行动态角度的精确测量。干涉仪结构简单、调整方便、使动态测角技术更具有实用性。     

一种激光干涉仪外部测量触发电路

激光干涉仪因其具有较高的测量精度而被广泛地应用。在使用激光干涉仪（以Agilent5529A激光动态干涉校准仪为例）测量工件的实际尺寸（长度）时，需要用测头去探触工件，以取得工件的实际位置，因此需要有一触发装置，来感知测头是否探触了工件。本文设计了一个触发电路，能够使激光干涉仪实现这一功能。     

大量程纳米分辨率超精密测径仪

提出了一种新型可以测量孔和轴直径的超精密测量仪，该超精密测径仪主要由炫耀光栅和气浮导轨及红宝石探头组成，采用接触式绝对测量方法。介绍了环境温度的控制和减小环境振动的手段，以保证测量的精度和重复性。这种新型测径系统分辨率可以达到1nm,量程范围可达 0～100mm。     

双频激光干涉仪在SMART-CNC曲面磨床几何误差参数辨识中的实验研究

在对SMART-CNC磨床几何误差建模及对某双频激光干涉仪工作原理分析的基础上,针对该磨床的误差参数辨识进行了实际测量中的应用,并以检测结果作为数控机床误差补偿的前提进行几何误差补偿。     

CUPE的超精密加工及测试技术

介绍了英国Ｃｒａｎｆｉｅｌｄ大学超精密加工实验室的概况、主要的研究范围及内容．重点介绍了超精密金刚石切削和磨削机床，超精密测量仪器，超精密加工和测量机床的组件以及Ｎａｎｏｃｅｎｔｒｅ超精密车床中的关键技术．     

《航空精密制造技术》2003年总目录

◇精密加工基于超声研磨的超精密加工………………………………(1)精密加工中非球面工件面形精度的在机测量……………(1)基于小型三坐标测量机的机械研究………………………(1)超光滑表面清洗技术现状及其发展趋势…………………(2)激光陀螺超光滑反射镜基片的光学加工和检测技术……(2)光纤连接器超精密加工技术的研究………………………(3)智能材料在微机械中的应用及发展………………………(3)超精密车削表面三维微观形貌仿真及特征分析…………(4)卫星轴承钢珠精化技术研究………………………………(4)基于AFM电场诱导氧化的纳米加工…     

辊筒模具超精密加工机床几何误差建模及其补偿策略研究

本文以超精密模辊机床为研究载体,将具有代表性的环槽微结构阵列作为研究对象。通过多体系统理论以及齐次坐标变换的方法建立机床的几何误差模型从而得到几何误差对环槽微结构阵列的影响,并用激光干涉仪对几何误差分量进行了测量。在进行数据处理后提出了一种补偿方法使环槽微结构的加工质量得到了改善。     

超精密小直径非球面磨床

据日刊介绍,第16届日本国际机床展览会上展出多种超精密磨床。东芝机械展出有ULG—100A(H)超精密非球面磨床。目前,非球面磨床多数是以加工大直径反射镜为主的,采用液体静压导轨、空气静压导轨和激光反馈等构成的大型超精密磨床。但当前日本的非球面加工对象主要是摄像机和激光唱机所用的小直径透镜的模具,因此,为适应市场的需要,东芝机械开发出ULG-100A(H)超精密非球面磨床。     

数控机床回转轴线的检测方法

介绍了使用RENISHAW激光双频干涉仪检测机床回转轴的定位精度与重复定位精度的方法,以及对机床进行圆检验的方法.指出了使用激光干涉仪和球杆仪对机床进行检测时应注意的问题.     

数挖机床回转轴线的检测方法

介绍了使用RENISHAW激光双频干涉仪检测机床回转轴的定位精度与重复定位精度的方法,以及对机床进行圆检验的方法。指出了使用激光干涉仪和球杆仪对机床进行检测时应注意的问题。     

超精密加工技术的发展

首先论述了现代制造技术所包含的内容及在国民经济建设中的地位和重要性．而精密加工和超精密加工是现代制造技术的重要组成部分，对国家工业水平和国民经济有重要作用．从美、日等国家在精密加工技术和微型机械这两方面介绍了超精密加工技术的发展。     

精密和超精密加工技术

介绍当前国内外精密和超精密加工技术发展概况及其在国际经济竞争和产品革命中的重要作用。