微位移动态测量干涉仪智能系统

本文介绍了微位移动态测量干涉仪的计算机数据采集、处理系统以及4(1/2)位表头的改进和独特的输入接口。由于采用了先进的计算机技术,提高了干涉仪的精度,使其测量重复性3σ<0.002μm,并可根据用户需要,选用不同的采样间隔和测量范围,最后自动打印出被测试的电感式、电容式测微仪的非线性。     

齿轮全谐波误差分离技术

齿轮全谐波误差分离技术是一种新的亚微米级测量技术.在一台光栅式齿轮整体误差测量仪上,它用三点法误差分离技术能分离开仪器轴系测量链的系统误差(包括测量蜗杆误差、光栅传感器误差、轴承回转误差等)和被测齿轮的全谐波误差.因而能满足5级或更高级别的齿轮测量要求.在对上述误差进行谐波分析后,可找出仪器及被测齿轮的误差来源.这就提供了进一步提高仪器测量准确度的可能性,从而使新一代超精密齿轮整体误差测量仪的测量不确定度可以从微米级提高到纳米级的水平.     

T4经纬仪的准直目镜

T4经纬仪是野外精密测角仪器,其望远镜放大率高,象质清晰,测角系统具有较高的精度与分辨率,安平精度高。因此,不仅测绘部门广为应用,而且还用于机械工业中的角度与空间几何位置测量。但是,由于该仪器没有准直装置,不能与反射镜准直,使其在机械工业中的应用受到很大限制。T4经纬仪加装自制的准直目镜后,就可以挖掘设     

纳米激光偏振干涉仪(续)

纳米激光偏振干涉仪的主要用途是检定分辨率高于0.01μm 的电感、电容测微仪。因此,微位移部件的位移量的微小程度非常关键,它可决定仪器的灵敏阈。另外,还应考虑仪器的测量范围。兼顾这两个方面,在设计     

全国第二期角度计量测试技术讲习班在连云港举办

由国防科工委长、热、力计量一级站和中国计量测试学会几何量专业委员会角度学组联合举办的全国第二期角度计量测试技术讲习班于1987年8月6日至9月6日在江苏省连云港市举办。参加学习的有44个单位的68名学员。开设的课程有:精密轴系回转精度测量;光栅测角仪器;角度计量在工业中的应用;自准直仪和光学测角仪器等五门课程。     

ф50mm超精度钢球的研磨

前言由于精密仪器和精密机床具有精密的回转轴系,而其轴系精度的检验更是计量上的关键。为了解决过去在高精度轴系的检验中,以玻璃球作接触式测量所带来的机械误差问题,提出研磨一个超精度φ50mm钢球(不圆度小干0.05μ光洁度13     

应用“TTME”法对气缸套磨损规律进行精密测量的研究

为了精确测量气缸套磨损分布,需要使用高准确度测量系统。尽管电容测微仪具有很高的准确度,但测量系统存在有很大的机械误差。采用“两次测量误差消除”(TTME)法,应用计算机软件对测量系统的测量误差进行了修正。从而提高了测量系统的准确度,满足了测量要求。通过对8V150柴油机的气缸套进行实际测量表明,该方法比传统的测量方法准确度提高了近10倍。     

非整数频率的精测

由于通用电子计数器存在±1量化误差,使得频率和周期测量的精度受到了限制。本文介绍两台通用计数器组成的测量系统的原理、方法及测量结果,并分析了各项误差。该系统在不附加任何测试设备和电路的情况下,减少了±1字的影响,在时基精度足够高时使测频精度比单台计数器提高了2—3个数量级,测频精度可达1×10~(-11)。     

全谐波误差分离技术

全谐波误差分离技术是一种新的误差分离技术。它是在对多步法误差分离技术测量精确度进行理论分析和实验验证的研究基础上提出的。它可以分离开主轴系统误差和工件圆度误差在1～500Hz内的全部谐波误差,进行数字滤波和降低分度指示台分度精度的要求。全谐波误差分离技术可以方便地应用于精密主轴或工件圆度误差的测量,测量精度可由10~(-9)m级提高到10~(-10)m级。     

“磁栅—光准直定位”大尺寸测量系统

介绍一种简单而又实用的大尺寸测量系统。该系统包括两个组成部分——磁栅测尺及光准直定位装置,其测量精度优于2×10~(-5)。     

电容传感器中的驱动电缆技术

目前高精度机械加工对几何尺寸的动静态检测要求越来越高,检测系统的信号变换方法也随之越来越广泛,以适应检测的需要。电阻式、电感式的应用是十分多见的,电容式的变换方法应用却较少,其原因主要是由于电容式传感器本身的电容值及其变化量都很小,极易为杂散的寄生电容以及连接电缆的电容所淹没。近年来,由于电子技术的发展,以及驱动电缆技术的出现,使得电容式仪器迅速发展,应用日益广泛。其特点为动、静态响应快,精度高,采用驱动电缆技术后,仪器灵敏度可达0.01μm～0.001μm,并且线性度好,可达全量程的1%～0.5%调整使用方便,根据用户要求传感器可设计成任何形状。可用于测量微小位移的振幅及距离,特别适用精密轴系的动态测试,也可用于孔径及表面光洁度的测量以及自动控制等。本文主要介绍驱动电缆的原理和实施方法。     

一种精密超高阻测量系统

为了对高阻和超高阻进行测量,采用全等电位屏蔽电桥线路、比例校准技术,并配以高灵敏指零仪和精密高压电流,研制出了 JRH 型精密超高阻测量系统。该系统是一个高精度、自校准、在0～5000V 下能测量高阻、超高阻、电阻比、电阻变化和电阻电压系数的电桥系统.其测量范围为10~3……10~(15)Ω,测量准确度最高为5×10~(-5)。文中还叙述了电桥系统的工作原理、结构与线路设计、误差分析和测试结果.     

用传递法检定频率测量装置

一前言随着科学技术的不断发展,铯、铷、氢原子频标与高稳定晶体振荡器指标不断提高,各种频率测量装置(有称频差倍增器,频率比对器、测频器等等)相继问世并不断提高,频率测量装置从频差倍增次数较少增加到10~5倍,至目前发展到由低倍增(或不倍增)测多周期或时间间隔来达到很高的测量精度。对频率测量装置的测量精度的判断一般都采用自相关法自校来进行,但在测量比对中发现一些问题。如一台按4110锁相分频原理研制的10~6倍误差     

1MΩ～100GΩ高值电阻器高精度的校准方法

高阻计、数字源表等仪器在半导体行业有着广泛的应用。但目前市场上1MΩ~100GΩ高值电阻器准确度(±1.0×10-3~±1.0×10-2)无法满足高阻计、数字源表等仪器电阻参数的溯源需求。本文提出了一种高精度的高值电阻器的校准方法,该方法由两个多功能校准源和指零仪组成的比较电桥实现。根据校准方法组建了1MΩ~100GΩ测量系统,测量结果的不确定度为3.0×10-5~8.0×10-4,可满足市场上绝大部分高阻测量仪器的校准需求。     

1990年中国返回式卫星的微重力水平监测

叙述了1990年中国返回式卫星采用的微重力测量系统概况、微重力测量数据的处理方法、微重力测量结果与分折。指出:这是国内首次空间微重力水平监测;研制的JS05-1A 微重力测量仪动态精度优于4μg,响应时间6ms,达到了国际同类仪器的先进水平;该仪器为指导优化空间晶体生长的微重力环境及了解卫星工作状况提供了有力手段。通过对该卫星微重力水平监测所获得的73505对数据进行分折,发现有效载荷动作是影响卫星微重力水平的主要因素,为10~(-4)g 量级;有效载荷不动作时,除1.23%的时间存在10~(-4)g量级不明干扰外,有97.6%的时间微重力的绝对值小于4×10~(-5)g,仅O.3%的时间在10~(-4)g 量级。     

直流微电流标准源

一、概述微电流测试仪的最高分辨力已达10~(-17)A,不确定度在百分之几数量级。用于校准微电流测试仪器的微电流源主要有三种类型:电阻式、电容式和电离式。电阻式直流微电流源由可调参考电压源和一系列高阻组成,具有结构简单和能持续输出(t—∞)的优点,但由于高阻的稳定性差,这种微电流源的不确定度不太高。目前,电阻式微电流源在10~(-13)A输出时,不确定度只能达到百分之几数量级。电容式微电流源以线变电压发生器和微分电容为基础,采用微分线变电压原理实现微小电流输出。这种微电流源在10~(-13)A     

精密数显转台通过技术鉴定

航天工业部一院计量站研制的精密数显转台技术鉴定会于一九八五年五月廾八日至廾九日在京召开,参加会议的有来自全国科研部门、高等院校和工厂的25个单位48位代表,其中教授、付教授、付研究员、高级工程师、付所长、付总工程师共15位。精密数显转台是高准确度、高分辨率多功能的测角仪器,以静态测角为主,又能以动态比相法检测圆光栅,仪器的轴系为空气静压轴承,上装129600对线高精度铬线条光栅盘,用     

智能化电容测微仪在动压陀螺马达测量中的应用

介绍了将电容测微仪用于陀螺马达参数测量的方法,通过使用单片机和霍尔元件传感器等对测试过程进行自动控制和数据处理,实现了测试过程的自动化,并能达到很高的精度。     

比较仪的附设工作台

在专用量具生产中,常用比较仪(也叫测微仪)测定工件。比较仪是精密长度量具,示值为0.001mm,在测量角度样板、卡板、键槽塞规过程中,因角度样板是多边形,卡板、键槽塞规有通止端之分。所以工件不能直接送到工作台中间或工作台任意位置去测定。因此,不得不把比较仪表架旋转到工作台一侧,进行     

智能电感测微仪的研制

智能电感测微仪是一种新型的长度测量仪器。它既可作为一个独立的测量控制系统,又可方便地与各种计算机通讯,作为大型仪器的显示器和控制器。本文将介绍其模拟信号处理电路、智能系统的硬件与软件设计。