分步投影光刻机的照明光学系统

阐述了照明光学系统在分步投影光刻机中的重要作用，介绍了当采用部分相干光照明时相干度对分辨率的影响，以及Ｋｏｈｌｅｒ照明中聚光镜像差对成像的影响，同时也介绍了离轴照明（ＳＨＲＩＮＣ照明和环形照明）对改善分辨率和焦深的作用，最后扼要介绍综合照明系统和变焦距照明光学系统。     

最大50μm碳氟固体润滑涂层工艺实践

针对某航空发动机燃油调节系统使用最大厚度达50μm的碳氟固体润滑涂层,本文对使用背景、涂层性能、加工方式、涂装工艺参数、表面预处理、喷涂作业、涂层补充加工、涂层质量评价等工艺实践进行了介绍。     

基于固定区间最优平滑的传递对准精度评估

惯导系统传递对准是战术导弹发射前必须完成的任务,其对准精度直接影响导弹系统的制导精度。为评估传递对准精度性能,在介绍传递对准精度评估原理的基础上,研究了Kalman固定区间最优平滑算法;并从理论上分析了顺序滤波与逆序平滑的关系,得出平滑依赖于滤波的结论。通过实测数据半物理仿真试验证明了理论分析的正确性,表明固定区间最优平滑算法能有效地评估传递对准精度,并与间接法对比得出间接法与最优平滑算法具有一致性。     

使用10.6μm波长的成像系统的大气透射率主动测量技术

本文叙述利用一种成像系统进行大气透射率主动测量的方法。与其它测量方法相比较，这种方法有免受背景噪声干扰的优点。它不大气条件，例如太阳辐射的影响。并且它改进了评估大气流对测量影响的能力。另外一些优点是它能对所有粒子的粒径分布效应进行积分，包括浓度很难测定的极大和极小的粒子。实际上，它是一种路径－积分测量方法。该方法将由分子吸收引起的衰减和由大小粒子散射和吸收引起的衰减及其对大气条件的依从关系分离了出     

中国民用航空业可以实现长期高速增长

凡是谈到中国国内航空事业的人士,都不由得对其发展感到兴奋和肃然起敬。当我们在这个发展迅速的国家游历,访问它为数众多的航空公司,讨论它们的未来大计和了解它们关心的问题后,我们的情绪更为高涨。国内航空界力求尽快搞好所有建设项目,包括成立新的航空公司、建设新机场、购买新飞机、训练飞行员、发展维修飞机的能力,以及建立一套安     

2m×2m超声速风洞流场控制策略研究与实现

2m×2m超声速风洞是一座大型引射下吹式风洞,总压控制具有非线性、时变、大滞后特性,引射器和主调压阀同时运行时存在一定的耦合特性。为了满足风洞试验对总压控制精度和收敛速度的要求,对不同马赫数试验条件下,风洞流场启动和串级智能稳定控制策略进行了深入研究,并在调试过程中对控制方法进行了验证,控制结果达到风洞指标要求。     

NPL改进的光谱响应标准(400nm～20μm)(一)

英国国家物理实验室已建立了两套光谱响应标准。用高量子效率的硅光电二级管建立400～92Onm范围内的光谱响应标准,NPL此标准的传递不确定度为0．1％。用装有半球形反射腔的热释电探测器建立了1～20μm范围内的光谱响应标准,此标准的不确定度小于1．6％。     

战斗机8~14μm波段红外特征及低发射率材料隐身效果

对某典型战斗机在8~14μm波段范围内的红外积分辐射强度空间分布进行了数值计算,考虑了大气透过率的影响,计算了使用红外搜索跟踪系统对战斗机进行探测时的探测距离,并分析了该战斗机采用低发射率材料后的红外隐身效果.战斗机的流场采用商用Fluent软件进行计算,红外辐射特征及探测距离采用自开发的NUAA-IRSE软件进行计算.计算结果表明:在8~14μm波段,周向角一定时,俯仰角越大红外积分辐射强度越大;俯仰角一定时,周向角越大红外积分辐射强度越大.采用低发射率材料后,战斗机在整个空间方向范围内,其红外积分辐射强度降低,战斗机红外隐身效果提高.      

2μm波段单频拉曼光纤放大器中受激布里渊散射研究

2μm波段高功率单频拉曼光纤放大器(SF-RFA)的性能通常会受到受激布里渊散射(SBS)效应的影响.本文考虑SBS效应下拉曼光纤放大器的速率方程,建立了SBS限制下的SF-RFA理论模型,计算了SF-RFA的能量分布和功率输出.讨论了泵浦功率、光纤长度等因素对光纤放大器中SBS效应和输出功率的影响,总结了如何在提高放大器输出功率的同时有效抑制SBS效应的方法.本文数值模拟结果为实验研究高功率SF-RFA中抑制SBS效应提供一定的指导.     

NPL改进的光谱响应标准（400nm～20μm）（二）

（上接1998年第18卷第5期第42页）21～20um红外光谱响应率标准红外光谱响应率标准是通过两台对应两种类型的主标准探测器建立起来的。连续的相对光谱响应标准由一个响应率无波长选择性的空腔型热释电探测器建立起来的。绝对光谱响应率标难是通过使用激光辐射和一个热电堆辐射计作传递标准,同NPL基本标准低温辐射计绝对光谱响应率点进行比较得到的。空腔热释电探测器剖面图如图3所示。它由一个大面积（lmm直径）涂黑的热释电探测器装在一个25mm直径的半球型反射腔中间构成。Gillham使用相似的探测器进行了实验,Day等分析了其特性。加上反…     

NPL改进的光谱响应标准（400nm—20μm）（上）

英国国家物理实验室已建立了两套光谱响应标准。用高量子效率的硅光电二极管建立４００－９２０ｎｍ范围内的光谱响应标准,ＮＰＬ此标准的传递不确定度为０．１％。用装有半球形反射腔的热释电探测器建立了１－２０μｍ范围内的光谱响应经标准的不确定度小于１．６％。     

一种提高捷联惯导系统动基座初始对准精度的方法

捷联惯导系统初始对准精度直接影响系统导航精度,以适用于动基座的惯性凝固系粗对准方法为基础,针对船载设备动基座机动条件,通过实际数据分析,提出了一种粗对准方案,在相同的载体运行条件下,对减小粗对准误差,进而提高导航精度有一定帮助。相对于原粗对准方法,通过试验仿真验证,粗对准精度均有所提高,在此基础上初始对准后,1h导航定位误差从2nmil提高到约0.45nmil。     

利用1.4μm附近的激光吸收光谱测量气体压强和H_2O组分浓度

为了完善基于波长调制光谱的应用研究,利用1.4μm附近的H2O吸收谱线(7454.45cm-1),研究了一种基于波长调制光谱测量气体压强和组分浓度的方法。基于谱线7454.45cm-1的4fpeak/2fpeak和2f/1f信号,详细分析了波长调制光谱方法测量的详细过程。结合仿真和实验,通过迭代算法在样品池内实现了气体压强和组分浓度的同时测量。实验结果表明:在500~1000K的温度范围内,压强和组分浓度的测量值与预测值基本符合,与预测值的最大误差分别在5%和4%以内。     

可以居住的游乐园

<正>迪斯尼创建伊始1955年,富于想象力和创造精神的美国动画片大师沃尔特·迪斯尼在加利福尼亚州创办了第一座现代化的游乐园,取名迪斯尼乐园(Disneyland,正式全名为Disneyland Park)。这不仅是第一个迪斯尼乐园,同事时也是世界上第一个现代意义上的主题     

30～60μm粗铝粉（球形、非球形）在丁羟推进剂中使用研究

研究了３０～６０μｍ粗铝粉（球形，非球形）对丁羟推进剂主要性能的影响，并着重研究了粗铝粉的燃烧特性和能量特性，结果表明粗铝粉在推进剂中使用是可行的。     

基于μ理论的飞机俯仰姿态控制

针对飞机飞行条件变化引起的模型不确定性问题,基于μ控制理论设计鲁棒的俯仰姿态控制系统.首先,根据干扰抑制原理将俯仰姿态控制系统设计转化为μ综合的一般框架,合理地选择加权函数确定广义被控对象,通过引入虚拟的不确定块将鲁棒性能问题转化为广义系统的鲁棒稳定性问题.然后,利用D-K迭代算法求解得到14阶的μ控制器,基于平衡截断...     

可以自由移动的液压床

在德国Hanover的国际机床展览会上(IHA—73),展有一台750吨的液压床。这台可进行落锻,冷锻,粉末压实和深压延用的压床是活动的,不要安装地基,使用者可根据需要把它移到厂房内的任一位置上来用。 压床框架是由软钢板焊成的刚性结构。主钢架钢板承受着全部有     

态度是可以决定一切的

近年来,随着基础设施投入上的加大,我国民航在硬件设施设备上与国际同行间的距离逐渐缩小。要使这些一流的硬件设施设备最大限度地发挥效益,点睛之笔就是服务。事实上,为提高服务质量我们已采取了许多措施,推出了“微笑服务”、“文明用语”、“精品航线”等,应该说也收到了良好的效果,但与国际一流机场或航空公司,甚至与我们自己的要求相比还存在着一定的距离。如何缩小这一差距,从业者的态度是其中的重要因素。什么样的态度是一名优秀服务从业者所应具备而我们又不足的呢?笔者通过自己的所见所闻认为,一是从业者要对自己从事的职业热爱和…