共查询到20条相似文献,搜索用时 31 毫秒
1.
基于微机电系统的微推进发展新趋势 总被引:1,自引:0,他引:1
纳皮型卫星和卫星编队飞行的发展,对星上推进系统提出了更高的要求,基于微机电系统(MEMS)技术的微型推进系统以此为契机迅速发展起来。基于MEMS技术的微推进除了具有成本低、体积小、质量轻等优点之外,还具有很高的集成度。它利用MEMS加工技术,能将推进系统的推进剂、贮箱、喷嘴、阀门、推进剂进给系统,以及某些微传感器和执行器,甚至控制电路都集成在一个或几个硅片上,再通过键合等微连接装配技术将这些MEMS器件组装在一起,形成功能完善、稳定性高的集成微推进系统。目前国内外对集成式微推进的相关研究大部分都处于设计和试验阶段。随着MEMS技术的不断发展和进步,集成式微推进技术将日趋成熟,并最终广泛应用于微小卫星领域。 相似文献
2.
合金薄膜高温压力传感器研究进展 总被引:2,自引:0,他引:2
合金薄膜压力传感器克服了粘贴式应变压力传感器的缺点,性能更优良,适应恶劣环境压力测量要求。对合金薄膜压力传感器的工作原理进行了介绍,比较了几种压力传感器的优缺点,并以应用温度范围这一指标为中心论述了镍铬、铂钨及钯铬薄膜压力传感器的性能特点及研究现状。镍铬薄膜传感器适用于中、低温介质压力测量,而铂钨、钯铬薄膜传感器适用于... 相似文献
3.
4.
李晓阳王伟魁汪守利彭泳卿金小锋 《遥测遥控》2019,(6):1-13
基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术的惯性传感器具有重量轻、成本低、体积小等优点,在民用、航天及军事领域有着极其广阔的应用和发展前景。伴随着MEMS技术的快速发展,MEMS惯性传感器各项性能指标也得到了显著提升。对MEMS陀螺仪、MEMS加速度计以及MEMS惯性测量单元(IMU)的基本工作原理、分类及研究现状进行梳理,并对其发展趋势进行了分析与展望。 相似文献
5.
6.
7.
一、微机电系统(MEMS)技术概述MEMS技术的术语近几年来不仅在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现,也在航天技术领域中不断出现。 相似文献
8.
9.
10.
简述MEMS概念和特点,分析MEMS技术应用于航天领域的优势及其技术发展情况,重点对MEMS技术在微纳卫星领域的应用以及对微纳卫星技术发展的牵引作用进行了研究. 相似文献
11.
介绍了一种基于计算机的压力继电器自动检测仪的设计原理。用步进电机带动减压器进行压力调节,用电磁阀控制充放气,用压力传感器敏感压力,用单片计算机进行信号检测、控制和判断,使压力继电器的检测全自动完成。 相似文献
12.
有关压力传感器可靠性设计的若干问题 总被引:1,自引:0,他引:1
论述压力传感器的研制和应用中的经验教训。着重讨论从任务书要求,工程化设计,到生产过程有关压力信号特征、压力接口以及功能与结构相关性,功能与材料相关性等问题。 相似文献
13.
14.
对MEMS“三明治”式倾角传感器进行结构优化设计,敏感元件采用双梁-质量块结构,其中可动质量块通过双梁和周围框架相连,可动质量块和上下盖板构成上下差分电容。外界给定某一加速度时,上下间隙此消彼长,从而导致电容量发生变化。通过建立敏感元件的静力学模型,获得敏感元件的关键尺寸与其性能参数的关系,基于体硅工艺建立敏感元件的三维工艺模型,并采用ANSYS有限元仿真对敏感元件的灵敏度、线性度、谐振频率等参数进行分析计算,结果表明:敏感结构的一阶谐振频率为576.68 Hz,灵敏度为0.76 pF/g,±30°、±90°对应的线性度分别为0.8‰、3‰,均符合设计要求,最后给出了倾角传感器敏感元件的加工流程。 相似文献
15.
16.
17.
针对高温压力传感器有引线封装在恶劣环境下的弊端,本文对无引线封装进行研究。首先,对无引线封装结构进行设计,并明确了适用无引线封装的高温压力敏感芯片结构;其次,研究了耐高温低应力气密封装工艺、低应力黏片工艺、无引线电气互联工艺,并实现工艺兼容。最后,将该无引线封装结构应用于高温压力敏感芯片,评估无引线封装效果。经测试,无引线封装结构漏率为10E-8 Pa·L/s,工作温度达300 ℃。本文的研究将拓展高温压力传感器应用领域,提高传感器恶劣环境的适应性及可靠性。 相似文献
18.
作者对最新设计的具有方形硅膜片的 CMOS 集成硅压力传感器的特性进行了理论的和实验的分析。结果表明:传感器的非线性是由硅膜片的大幅度偏折(deflecti-on)和压阻元件的非线性压阻特性所引起的。文章还指出了将非线性减至最小程度时传感器的最佳结构形式。对所制得的压力传感器的非线性作了测量,其值与数学分析值十分吻合。 相似文献
19.
压力传感器静态特性自动校准装置的研制 总被引:3,自引:0,他引:3
介绍YZX-500压力传感器静态特性自动校准装置的工作原理、结构组成、控制方法等。该装置是用标准传感器标定压力值的大小,用压缩液体的办法制造高压,通过使用计算机对一个机械传动机构进行模糊控制解决了自动加压问题。是集自动加压、自动采集数据、自动处理数据于一体的新型压力传感器自动校准装置。 相似文献
20.
灵敏度温度自补偿薄膜压力传感器的研制 总被引:1,自引:0,他引:1
溅射薄膜压力传感器具有长期稳定性好、耐高温等优点,但是由于受弹性体材料自身特性的影响,传感器的灵敏度温度误差大,大约在1.5×10-4~2×10-4/F.S℃,是导致传感器测量误差大的原因之一。在弹性体上设计加工灵敏度温度补偿电阻,使应变电阻和灵敏度温度误差补偿电阻可以在同一时间感受温度,比在后续电路上进行温度补偿,温度响应快。对灵敏度温度自补偿压力敏感元件进行设计与研制。实测结果表明,采用灵敏度温度自补偿工艺技术的敏感元件,灵敏度温度误差较小,可以控制在0.25×10-4/F.S℃以下,传感器的温度性能得到了提高。 相似文献