微机械用材料及其特性

综述了硅材料、形状记忆合金、压电陶瓷、超磁致伸缩材料的微机械用材及其特性，并提出了微材料学概念，同时还介绍了微机械应用．     

铍的微屈服强度测试研究

本文研究了惯性器件用铍材的微屈服强度的测试方法。通过对试样加载、卸载和用电阻应变计测量残余应变的手段,测定了RJY-40和RY-40铍的微屈服强度σ_(Mys)(10×10~(-6))和σ_(Mys)(5×10~(-6))。分析讨论了微应变测量仪器、试验温度,以及加载串偏心度等因素对微屈服强度测试的影响。     

谐振式微机械惯性传感器

对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述，分析了各自的应用特点。从中反映出谐振式微惯性传感器具有优良的特性，必有广阔的应用和发展前景。     

面向21世纪的纳米机械学

本文对纳米机械学的发展历程、定义、特点、研究内容和方向进行了简介.     

微飞行器技术的最新发展

近年来由于军事发展需要,微飞行器发展迅速。微飞行器实际上是一套可在空中飞行的复杂多功能微机电系统,正日趋微型化。本文扼要介绍了微飞行器技术的最新发展。     

微型化半球陀螺制备工艺发展现状及趋势分析

因低噪声、高性能、无磨损的优势,半球陀螺已成为航空、航天领域内的最佳导航陀螺。半球陀螺的微型化是微机电陀螺领域的研究热点,全球各研究单位设计了多种形态的谐振器结构,开发了各具特色的加工工艺,其选用的材质也各不相同,并研制出了形态各异的微半球陀螺结构。对半球陀螺微型化的历程和方式进行了综述,着重对微型化半球陀螺壳体谐振器的结构形态、工艺制备方法和选材进行了对比和分析,并对各微型化途径的特点进行了讨论和展望。     

激光支持的空间微推进技术研究进展

对激光等离子体微推力器的相关研究进展进行了较为全面的介绍,总结了激光器与其它相关技术结合发展起来的极具潜力的空间微推进技术的研究进展,并指出激光支持的空间微推进技术研究所涉及的关键问题,包括星载激光器技术、先进的测试技术、高性能工质的选择与研制、激光光路设计以及空间微推力器一体化设计等方面。     

论微电子机械系统MEMS

简介了微电子机械系统MEMS的基本概念、构成及显著特点 ,并对微电子机械系统的典型器件如传感器 ,执行器等作了介绍与分析 ,提出了微系统之间要研究的问题 ;探讨了微电子机械系统的发展应用前景     

精密超精密加工技术在微机械制造中的应用

随着微机电系统的发展,微机械零件的材料应用领域不断扩大,结构形状也从二维、准三维提高到三维复杂结构,相应的微机械制造技术也随之发展,并在微机械零件制造中得到了应用。     

微小型电火花加工系统性能研究

本文介绍了微小型电火花加工系统以及放电检测和系统性能测试环节，根据电火花放电加工过程的工艺要求，研制了相应的微进给伺服控制系统；试验结果表明，该系统满足实际微细加工的需要。     

透射式激光等离子体微烧蚀推力性能研究

激光等离子体微推进技术经过近10年的发展,越来越受到业内人士的广泛关注。针对透射式激光等离子体微烧蚀物理过程,构建了理论分析模型,并进行了仿真。结合仿真结果,分析了激光脉宽和靶材的选取对烧蚀产生的推力和冲量的影响,提出了激光微烧蚀推进参数设计过程中,需要注意的几个问题。采用冲击摆系统测量激光微烧蚀靶材推力特性,对理论模型进行修正,与实验结果对比,模型与实验测量结果符合良好。     

浅谈微加速度计的整流误差

为明确微机械加速度计在振荡输入过程中直流输出的情况,着重分析了静电力反馈电容式微加速度计振荡频率低于微加速度计带宽和在微加速度计带宽附近两种情况下的失衡机理。为说明微加速度计与传统加速度计的整流误差差异,对两种整流误差的情况进行了半定量计算。本文的结论说明了微加速度计与石英挠性加速度计等传统惯性仪表在整流误差方面的区别;在此基础上,引申出由于整流误差决定不同种类的微加速度计有着不同标定要求和适用范围的结论。     

微机电系统MEMS仿真与建模

微机电系统是源于微电子加工技术,融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。微机电系统融合了力、电、流体、光、磁、热等多个物理域,随着建模与仿真技术的迅速发展,研究有关微机电系统建模与仿真的基本理论和方法。     

面向无人机的单芯片惯性测量组合

针对无人机对惯性测量组合的小尺寸、轻重量的需求,设计实现了芯体为1cm3的微小型单芯片的硅微惯性测量组合。论文提出了一种基于体硅深刻蚀—玻璃键合工艺的单芯片惯性测量组合结构,该结构集成了六个异构的单轴惯性器件,可实现运动载体的六自由度运动信息测量。单芯片惯性测量组合中的陀螺器件两个模态的的振动频率实现了较好的匹配,加速度计器件分辨率达到了0.93mg。测试结果表明该单芯片惯性测量组合有望实现高精度的惯性量测量,在无人机上有很好的应用前景。     

硅谐振式加速度计(SOA)的技术及发展

硅谐振式加速度计（SOA）精度高,稳定性好,数字输出,且体积小,成本低,易于集成,是新一代的微小型加速度计,具有极佳的应用前景。介绍了SOA的结构原理和发展概况,从谐振器,微杠杆,加工工艺,改变刚度方式,激励和检测方式等几方面对SOA的关键技术进行了综述。分析了SOA的机械耦合,加工工艺误差,梁弯曲刚度非线性等三大技术难点,并提出解决方案。最后对SOA的发展趋势进行了展望。     

微混合器内混合过程的研究

微流体控制系统由于其尺寸微小、控制精度高、响应速度快、易于小型化和自动化、效率高等特点,它的发展和完善为航空航天、医学实验以及化学化工过程的测试提供强有力的技术平台。在微尺度范围内,表面积与体积的比例大于1,表面张力与粘性力占有主要地位,混合过程主要靠分子扩散,过程进行的较慢,因此,微混合腔一般都加工出一些扰流装置,对流体产生机械扰动作用,从而在短时间内达到较好的混合效果。本文对一个双向进口的微型圆柱混合器的混合过程进行了数值模拟,并与实验结果进行了对照。结果表明,微混合器没有设置专门的扰流装置,采用两侧切向进流体,在混合器内能够产生强烈的扰动,加剧混合过程。研究表明,混合效果并不是随着雷诺数增大而增强,只有在一定的雷诺数范围内,才能够得到均匀的混合效果。