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随着微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)的器件圆片级封装技术、垂直互连转接板技术、新键合工艺技术等技术研究的出现,惯性微系统正在朝着三维封装集成架构发展,以满足微电子技术更高集成度、更小体积、更低功耗、更低成本的发展需求。介绍了MEMS惯性器件和MEMS惯性微系统三维集成技术,硅通孔(Through Silicon Via,TSV)三维互连技术和倒装芯片技术为惯性MEMS微系统三维集成一体化提供了设计空间,有效地降低了惯性MEMS三维集成模块的体积、质量,提高了集成度,符合未来惯性MEMS三维集成多功能融合趋势的需求。 相似文献
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精密可控微位移器实验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了微位移器的静、动态特性,实验结果表明:IP1型微位移器线性度可达0.12%,重复精度为0.01μm。还比较了IP1型和ELS1型微位移器的性能区别供应用选择时参考. 相似文献
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微射流作动器三维外流场数值模拟 总被引:2,自引:3,他引:2
采用有限体积法求解Faver平均N—s方程,对三维、粘性、非定常、不可压微作动器外流场进行数值模拟。计算结果揭示了微射流产生、发展与耗散的过程,和实验中观察到的现象比较吻合。旋涡对沿展向的不稳定性是涡环破裂、旋涡对的相干性消失的主要原因。二次涡的发现为以后研究微射流旋涡对的细微结构打下良好的基础。 相似文献
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针对时速400?km高铁隧道口的微气压波研究,建立了基于三维可压缩非定常N?S方程和RNG?k-ε?双方程湍流模型的数值模拟方法,并通过动模型试验对计算方法进行了验证.文中分析了隧道长度、缓冲结构(带斜切的扩大段)长度和缓冲结构开孔数对微气压波的影响.研究结果表明:在一定隧道长度内,微气压波幅值随着隧道长度的增加逐渐增大;隧道口设置带斜切(30°)的等截面扩大段缓冲结构能有效缓解微气压波幅值,且随着缓冲结构的长度增加,微气压波幅值的缓解率先增大后减小,其中缓冲结构长88.56?m时缓解效果最佳,缓解率可达59.2%;该缓冲结构开孔后能进一步缓解微气压波幅值,缓冲结构开2个孔时的缓解效果最佳,缓解率可达70.9%.本文提出的缓冲结构能使得5?km及以下长度隧道的微气压波幅值达到国家规定标准,研究成果对时速400?km/h高速铁路隧道口缓冲结构的设计具有参考价值. 相似文献
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刘俭 《航空精密制造技术》2008,44(3)
共焦点扫描测量技术是微光学、微机械、微电子领域中测量三维微细结构、微台阶、微沟槽宽度、深度等结构参数的重要技术手段之一。目前,在传统共焦扫描成像技术基础上已经发展演变出双光子荧 相似文献
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王荫曾 《航空精密制造技术》1986,(1)
我们所讲的精度稳定性是指精度的变化越小越好,即使精度发生了变化也能满足技术条件的要求。因为机械零件在由毛坯加工成成品后,经过较长时间使用和储存过程,共精度始终保持不变是不可能的。稳定是相对的,不稳定是绝对的。 相似文献
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为发展和应用工业CT测量技术,提高航空零部件无损检测质量,我们在现有工业CT机二维计算机层析的基础上,使用三维重建专业软件VGStudio MAX 2.0,对被检工件的系列二维CT图进行重建,得到三维数据模型。计算机重建的工件可以实现更高级的几何显示功能、结构复杂部位的尺寸测量以及缺陷的检测分析,让人们对产品的整体结构和质量有更为全面、深刻的了解。 相似文献
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提出了一种应用于飞机非金属曲面零件简便实用的展开方法。基于CATIA V5系统环境下,应用可展直纹面分块拟合零件定义复杂曲面,将零件三维轮廓按拟合直纹面进行分块展开,所得的分块展开轮廓在二维工程图纸环境中依据给定的规则拼接成零件完整展开图形,实现此类非金属曲面零件的展开。分析了展开方法产生的误差,给出了实用的展开精度控制方法,实现了在未进行二次开发情况下,获得满足此类零件工程制造精度要求的二维展开图形数据。 相似文献
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随着计算机技术的飞速发展,3D打印(增材制造/快速成形)技术基于分层制造原理,采用材料逐层累加的方法,直接将数字化模型制造为实体零件,在多个领域具有广泛的应用前景。3D打印技术与传统加工各有千秋,3D打印与数控加工、铸锻造及模具制造等传统加工手段相结合,正在成为新产品快速成形与制造的方法之一。在民机制造领域,3D打印生产的零件,尤其是金属成形件,需要进一步的后处理(如热处理)才能投入生产使用。对于特定金属材料的3D打印成形零件,形状可以优化控制,并且结构静力性能可与铸锻件媲美。但是,由于无损检测能力的限制,3D打印零件内部孔隙度和微裂纹不可预测。对3D成形件的认识程度相比于传统加工还有较大差距,在民机应用中还有较长的路需要走。 相似文献
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合理、轻量化的航空驱动机构设计可以在很大程度上提高航空驱动机构行程角度控制的准确性、耐久性、扭矩/质量比及电磁兼容性,降低输出轴晃动间隙。针对目前国内现有飞机着陆灯用航空驱动机构,提出一种轻量化航空驱动机构的设计方案,该方案采用无刷直流电动机驱动,通过行星齿轮、平行轴直齿轮、蜗杆副等组合形式减速,利用高精度非接触角位移传感器反馈位置信号;建立三维数学模型对行星齿轮等传动件进行动力学仿真分析,对壳体、齿轮盖等结构件进行有限元仿真计算。结果表明:轻量化航空驱动机构设计方案可满足轻量化、大扭矩/质量比等相关技术指标要求;驱动机构关键传动件与结构件的设计参数及强度也满足要求,设计方案合理可行。 相似文献
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树脂基复合材料轻质结构具有轻质、高性能等优点,广泛应用于航天航空、高速列车和船舶等领域。通过对传统树脂基复合材料轻质结构制造工艺的综述分析,发现传统制造工艺具有过程复杂、周期长和生产成本高等缺陷,限制了树脂基复合材料轻质结构的发展。3D打印是一种先进的零件成形工艺,可实现复杂结构零件的快速制造,为高性能复合材料轻质结构的一体化制造提供了可能。介绍了树脂基复合材料轻质结构3D打印的研究进展,提出了基于连续纤维增强热塑性复合材料3D打印的高性能复合材料轻质结构的一体化制造工艺,并对其性能开展了初步研究。 相似文献