微机电系统的国防应用及其制造技术发展述评（下）

微机电系统的国防应用及其制造技术发展述评（下）中国航空信息中心饶勤４微机械制造技术的发展及应用１．微机械制造技术及其应用（１）辅助加工技术包括金刚石微细切削、电火花加工和化学铣削等工艺，这类工艺能以较大的灵活性和较快的速度加工出形状多样的、尺寸在１０...     

微机械与微/纳米科技的研究及其发展趋势

重点论述了微机械的概念、特点、研究概况和微机械的加工制造技术-微细加工技术。阐述了微机械与微／纳米科技、微电子技术之间的相互关系．分析了微机械研究的发展趋势并着重对航空航天领域内的有关研究给予展望．     

分层去除微细电火花铣削加工的NC程序生成

利用简单电极,基于分层制造原理的微细电火花铣削加工技术是实现微三维结构加工的有效手段之一。本文研究了用该方法进行三维曲面加工时的NC程序生成方法,并给出了加工实例。     

国外微细加工技术的现状及其在航空机载设备制造中的应用

当前,微细加工技术是各先进工业国家竞相发展的制造技术。本文在综述国外微细加工技术现状的基础上,重点介绍该技术在航空机载设备元器件制造中的应用。     

微细超声加工研究现状

微细超声加工技术适用于半导体、光学玻璃、工程陶瓷等各种高强度、耐高温、耐磨损硬脆材料元器件的精密微细制造。本文针对其材料去除机制、加工方法以及使能技术的国内外研究和应用现状,进行了系统介绍,并对该技术的发展趋势进行了展望。     

基于微细电火花加工的微冲裁技术研究

在自主研制的微细电火花-微冲裁复合加工机床上,通过WEDG技术、微细电火花三维铣削技术和微细电火花反拷贝加工技术在线加工出微模具,并在机床上实现了在线对中冲裁。最终在T2紫铜、H62黄铜、304不锈钢和3J21弹性合金上冲裁得到最大尺寸在微米量级的微型落料件,经显微照片观测与测量,落料件尺寸与质量均比较理想,并且在冲裁千件后微模具未见明显损伤,证明了微冲裁工艺的可行性。     

精细金属网栅的制造方法及其研究进展

综述了精密机械加工、高能束加工、微细电火花加工、化学加工、电化学加工等多种精细金属网/栅制造方法的优缺点及其发展现状.因具有适用材料广泛、加工效率高、表面质量好、无机械切削应力、孔形不受限制等优点,掩模微细电解加工在精细金属网/栅制造方面潜力巨大.     

实现微细加工的基础技术

实现微细加工的基础技术中国航空信息中心饶勤目前，汽车、电子、航空航天、光学和医疗器械中的许多零件均具有小于１毫米的整体尺寸和微米级的内部结构尺寸，微细加工技术则是制造这类微型零件的唯一手段。有三项基础技术是微细加工能否成功的关键。一、运动控制技术要实...     

微细电火花加工用微能脉冲电源的研制

分析了微能脉冲电源的实现途径,设计开发出了满足微细电火花加工用的微能脉冲电源。该电源能实现超低能量(10-7J以下)下的微细电火花加工,为实现纳米级电火花加工提供了可能的技术保证。     

一种新的微细精密航空制造技术—纯水微细电解加工的工艺研究(英文)

为了寻求航空精密微细制造新技术并实现绿色制造和精密微细制造,对一种新型微细电解加工方法——纯水微细电解加工进行了研究。基于水解离机理,在新研制的试验装置上,采用不同的试验条件,进行了一系列工艺试验,探索并揭示了实现纯水微细电解加工的必要工艺条件和工艺规律,加工了圆孔和字母"PW-ECM";还研究了超声振动—纯水电解复合加工新方法,进而在不锈钢薄片上加工出三角、方形盲孔、三角通孔;试验研究结果证明了纯水微细电解加工的可行性。     

面向高端装备制造需求,聚焦高性能精密制造研究 —— 走进精密与特种加工教育部重点实验室

大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室2003年11月由教育部批复立项,2007年7月通过教育部验收后被批准对国内外开放。实验室定位于先进制造领域中精密与特种加工技术应用基础研究,面向机械制造学科前沿和国家战略性新兴产业高端装备制造发展需求,聚焦高性能零件精密制造,重点围绕精密/超精密加工理论与技术、特种加工及复合加工技术、精密测量与加工过程数字化控制技术、微系统与微制造技术等开展科学研究和技术创新,培养高素质、高水平的创新型人才,为我国高端装备制造技术发展提供理论与技术支撑。     

微米与纳米级加工技术

论述了微细刻蚀、LIGA、微细特种加工、纳米切削和基于扫描探针技术等微米、纳米级加工技术的原理、特点和发展     

精密、超精密加工专题

极限精密加工技术 [日]/森勇藏等//精密工学会志 1991,1.36～42 将超微细粉末粒子施向工件表面,借助液体流动给微细粒子以能量,使其在工件表面上运动、分离的弹性发射加工——EEM(Elastic EmissionMachining),可以实现原子级加工,并获得无干扰的加工表面。     

航空电器微小零件的制造特点

本文以断路器、密封继电器为例,分析了现代飞机航空电器向微小型、精密和高性能方向发展而出现的微小零件制造技术特点,主要叙述了冲压成形、微细加工、精细焊接、电镀和热处理等微小零件的加工特点,也提及了相应的对策。     

微尺度线电极电解加工

微尺度线电极电解是近期出现的一种新加工方法,采用钨丝作为线电极,在加工过程中电极无损耗,通过控制工具电极轨迹可实现微细结构加工。建立了微尺度线电极电解加工模型;通过微尺度线电极叠加微幅振动,促进了加工间隙中电解液更新;针对加工电压、脉冲宽度、脉冲周期和加工速度等影响微尺度线电极电解加工精度的因素进行了参数对比试验,并对加工参数进行了分析和优化。采用电化学腐蚀原理进行微米尺度线电极的在线制作,在线制得直径10 μm和2 μm的线电极,实现了切缝宽度为20 μm以下的复杂微细结构以及切缝宽度为8 μm以下的微螺旋结构。     

电火花微细孔加工工艺实验研究

根据电火花微细加工的特点，通过各种工艺实验研究了微能放电参数、电极对材料以及加工液对电火花微细孔加工速度和侧边间隙的影响规律，寻求兼顾加工速度和精度的工艺参数组合。     

微细电解铣削加工模型及实验研究

 对微细电解铣削加工技术进行了深入研究。将分层加工技术应用到微细电解加工过程中,显著改善了加工稳定性;建立了微细电解铣削加工的数学模型;基于电化学刻蚀原理,在线制得直径小至10 μm的圆柱电极;分组实验并验证了加工模型中各参数如：电极直径、加工电压、电解液浓度、铣削层厚度等对微细电解铣削加工精度的影响。通过优化加工参数,成功加工出了深三角结构和四棱台微型腔,形状精度高,加工稳定性好。     

超声电解复合微细加工硬质合金试验研究

超声电解复合微细加工工艺具有效率高、精度高、环保安全等优点,在硬质合金材料微结构加工方面具有一定的技术优势和发展潜力.本文阐述了超声电解复合微细加工机理和试验装置,对硬质合金材料进行了多组对比工艺试验,分析了加工电压、进给压力、电解液等加工参数对加工效果的影响,优化了加工参数和加工条件,提高了硬质合金微结构的微细加工精度.     

金属离子液束流增材制造研究现状及其发展

金属离子液束流增材制造技术结合了电化学沉积和增材制造的特点,具有常温金属成形和液束形式加工特征,受到广泛关注。简要回顾了金属离子液束流增材制造技术的发展溯源,针对其定域性差、加工效率低的问题,提出了基于喷射电沉积的金属离子液束流增材制造技术,并讨论了当前国内研究热点及面向特殊异形件、大型结构件、微细零部件和多功能复合结构的金属离子液束流增材制造发展趋势。     

大面积微细结构的电火花加工

采用深度光刻与电铸技术相结合的方法 ,较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题。在此基础上 ,利用优化的微细电火花加工工艺 ,实现了大面积微细结构的精细制造