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新型的CMOS集成硅膜压力传感器由一个含四个压阻元件的电桥电路,一个放大器和一个新设计的能抑制电源电压变化和温度漂移的激励电源电路组成。敏感元件用自准直双元硅门CMOS工艺技术制得。方形的硅膜片由异向腐蚀剂N_2H_4·H_2O经腐蚀加工而成。在0~70℃范围内,灵敏度和偏置电压的温度漂移量小于±0.5%。这些数据比常用的杂化技术制得的元件所达到的数值小。利用新设计的激励技术,当电源电压变化±10%时,灵敏的变化不超过±1.5%。 相似文献
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本文叙述气体速率传感器的原理和应用。传感器是利用科里奥利牵连加速度的流体陀螺仪。将氦封在壳体内使氦循环而检测速率。传感器没有高速旋转部分,只由泵检测器、喷咀和气体流动线路组成。电子线路则由振荡电路、稳压电源、电桥及低通滤波器和放大器组成。标准满量程输出为±5V,但可设计成±10V。适用于角速度、方法、姿态等测量。 相似文献
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本文论述新型电涡流测速传感器的工作原理以及在测量密闭长管中导体运动的初速、导体运动多点速度的独特应用。它结构简单、制作容易、测试可靠。这种传感器的研制和应用为近程动态物体速度的测量提供了一种新的测试手段。 相似文献
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分析了用不同传感器作航迹跟踪时的运动矢量融合算法,为了简单起见,假设两个不同的传感器装有不完全相同的两维最佳线性卡尔曼滤波器。文章指出,如何这两条航迹融合的互相关矩阵是正定的,就能改进航迹融合算法的性能。通过与机动目标相关的噪声引入的这种互相关对两种传感器的跟踪滤波器来说是共同的且容易忽视的,本文还以闭合形式导出了稳定状态下的互相关矩阵的表达式,同时获得了互相关矩阵的正定性条件,另外还讨论了正定性 相似文献
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介绍归零压差式角度传感器位置误差在低速风洞中的校测方法、项目、数据处理和主要结果。校测结果表明,角度传感器输出信号与飞行器角度变化呈现良好的线性关系,且数据稳定、可靠、重复性令人满意。 相似文献
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智能机器人通过视觉、触觉来识别周围的环境,工作对象和检测工作完成的情况。由于触觉装置控制简单,可直接检测物体的形状、光滑度、硬度等,因此触觉是智能机器人的一个重要组成部分。本文对阵列式光电触觉传感元件及其线路进行了一些探讨,以便为研制机器人的阵列触觉传感器奠定基础。 相似文献
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该文介绍硅压阻式压力传感器。利用多晶硅电阻元件补偿温度影响,该传感器工作范围广,有互换性,兼具多种优点。掺入硼杂质,调节温度系数和灵敏度等重要参量。硅片处理包括615℃时用LPCVD法形成多晶硅;两次掺硼;950℃氮中老化30分钟;湿法制作图案。给出特性参数。工作温度-30~+125℃,满刻度输出7.5mV/V。 相似文献
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现已研制成功一种具有脉冲调制输出的单片集成热式气体流量传感器,其输出脉冲宽度比和流速有关。制造这种传感器时,除使用EDP各向异性刻蚀剂制作传感器外形之外,其余均采用标准的CMOS工艺。传感器的加热部分和非加热部分之间用聚酰亚胺隔热。传感器具有内部气体温度补偿装置。在2~30m/s流速范围内,传感器的灵敏度为0.03m/s。按传感器的设计。本传感器也适合于双线式结构形式 相似文献
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许多多传感器目标跟踪系统都是在假定数据关联过于复杂、集中式融合办法的计算要求过多而难于实现的情况下提出的。此外还需假设噪声分量相对较小、无漏检,扫描周期相对较短等等。业已证明,在采用这些假设条件生成模拟数据进行测试时,许多多传感器跟踪系统都能有效地工作。然而深入研究了几组实际数据的特点之后,就会发现这些假设并不总有效的。本文首先介绍了一种实际的多传感器跟踪环境的特点,并解释了在这种环境下现有系统不能有效完成任务的原因。然后给出克服这些系统缺陷的种数据融合方法,方法分为3步;(Ⅰ)采用一种自适应学习方法估算同步误差;(Ⅱ)漏检时调整目标的测量位置;(Ⅲ)采用一种基于模糊逻辑的算法预测下一个目标位置。为做出性能评估,我们采用不同的实际数据集和模拟数据集对融合方法进行了测试,结果令人满意。 相似文献