TiAl基合金表面低真空制备SiO_2涂层的工艺研究

为解决Ti Al基合金在750℃以上的抗高温氧化性能不足的问题,提出了采用溶胶凝胶法在其表面进行低真空制备SiO_2涂层的工艺方法。本文研究了涂膜次数对涂层表面形貌的影响,并对涂层厚度,涂层结合力,热处理后Ti Al基体抗高温氧化性等方面进行了研究,从而确定了低真空制备SiO_2涂层的可行性工艺方案。涂膜次数三层时,在Ti Al表面可以获得良好附着力和致密性高的SiO_2薄膜;在800℃高温氧化测试中,未涂膜试样氧化8h后增重2.333mg/cm2,三层涂膜试样氧化504h氧化增重仅为0.2143mg/cm2且表面没有出现剥落现象,大大提高了基体的抗高温氧化性能。     

合金薄膜高温压力传感器研究进展

合金薄膜压力传感器克服了粘贴式应变压力传感器的缺点,性能更优良,适应恶劣环境压力测量要求。对合金薄膜压力传感器的工作原理进行了介绍,比较了几种压力传感器的优缺点,并以应用温度范围这一指标为中心论述了镍铬、铂钨及钯铬薄膜压力传感器的性能特点及研究现状。镍铬薄膜传感器适用于中、低温介质压力测量,而铂钨、钯铬薄膜传感器适用于...     

北京遥测技术研究所MEMS工程中心

北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1700 m2,是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力传感器及石英角速率传感器两条批量产品生产线。经过多年来的发展,还建立了碳化硅高温压力传感器、谐振式高精度压力传感器、石英振梁加速度传感器、硅微压力传感器、射频微同轴MEMS器件等先进产品研试线。     

微米级Co/SiO_2复合颗粒性能研究

为避免Co颗粒高温氧化及团聚等问题,用Stober方法在微米Co颗粒表面包覆SiO_2壳层、制备了Co/SiO_2复合颗粒。用扫描电子显微镜、能谱仪对复合颗粒的组分结构进行表征,并用热重量分析法和矢量网络分析法评价了其高温氧化行为和电磁性能。分析表明:所制备的SiO_2壳层均匀致密,厚度随包覆次数的增加而变大;SiO_2壳层的存在抑制了Co颗粒的氧化,经7次包覆制备的复合颗粒其初始氧化温度达800℃。SiO_2壳层达到一定厚度时可有效抑制团聚造成的涡流效应。用Co/SiO_2颗粒、厚度2.89 mm的涂层在14 GHz可实现-15dB的吸收。研究为高温电磁吸波材料的研制提出了新的思路和方法。     

CVD-SiC涂层封孔处理后C/C-ZrC-SiC复合材料的烧蚀行为

为提高聚合物浸渍裂解法制备的C/C-ZrC-SiC复合材料的抗烧蚀性能,采用化学气相沉积(CVD)技术对材料进行了SiC涂层表面封孔处理,并考察材料在氧乙炔环境中的烧蚀行为,明确CVD-SiC涂层对材料的抗烧蚀性能的作用。研究结果表明,CVD-SiC涂层封孔处理后材料表现出优异的抗烧蚀性能,烧蚀240 s后,其线烧蚀率仅为0.94×10-3mm/s,较无涂层材料的降低了39.4%。在烧蚀过程中,中心区域涂层及基体材料的演变过程如下:SiO_2膜包覆ZrO_2结构的形成→SiO_2膜失效→基体中Zr C和SiC的氧化→ZrO_2致密保护层的形成。SiC涂层对材料烧蚀性能的贡献主要体现在以下两方面:烧蚀中心区域的SiC涂层被氧化成SiO_2,其蒸发带走大量的热流,降低了材料的烧蚀温度;此外,SiC涂层的存在有效减少了材料内部的氧化及裂纹的形成。     

二维层状CrxTey超薄膜高效电磁屏蔽材料及其航天应用研究

电磁屏蔽是有效抑制电磁危害的手段之一，电磁屏蔽材料的性质与其抗电磁辐射能力密切相关。CrxTey合金材料的晶体结构呈现二维多层结构，具有优异的屏蔽电磁波的潜能，可以作为未来航天领域的优选材料。通过脉冲激光沉积手段，CrTe2和Cr4Te5两种组分薄膜被外延沉积在蓝宝石Al2O3衬底上。X射线衍射和原子力显微镜测量结果显示薄膜为外延单晶生长，同时薄膜表面的粗糙度起伏不超过2 nm。其中光电子能谱对Cr4Te5薄膜的扫描结果证明其化学计量比符合4∶5，且在空气中放置一个月后未发现明显氧化。变温的磁化强度测量显示CrTe2和Cr4Te5薄膜分别在198 K和257 K发生标准的顺磁--铁磁相变行为。温度范围从5 K到320 K，薄膜始终显示为金属性。电输运物理机理的模拟分析得出，电子--电子散射和电子--磁子散射分别对居里点以上和以下导电性起主导作用。这些优异的性能集一体，使得CrxTey材料在未来航天领域可以发挥电磁屏蔽的重要作用。     

基于Ag/CNTs-PDMS的高灵敏度柔性压力传感器研制及性能测试

智能传感的应用对柔性压力传感器的需求量和性能提出了更高的要求,因此,需要开发一种简单、廉价、可批量化的方法实现大范围、高灵敏压力传感器的制造。文章基于压阻效应,采用浸渍-干燥法制备了一种基于镀银碳纳米管-聚二甲基硅氧烷(Ag/CNTs-PDMS)复合结构的柔性压力传感器。研究表明,所制备的压力传感器具有较高的灵敏度(0.718 kPa~(-1))、较宽的工作范围(40 kPa)、较短的响应时间(1.14 s)以及良好的可重复性,有望用于在轨实时压力监测。     

薄膜电容式压力传感器

介绍了利用薄膜工艺制作的一种电容式压力传感器。此种传感器除具有高的常态精度外，突出优点是温度和时间稳定性好，寿命长。介绍此种传感器结构和变换电路的设计思路并分析了此产品在航天测试领域中的应用前景。     

灵敏度温度自补偿薄膜压力传感器的研制

溅射薄膜压力传感器具有长期稳定性好、耐高温等优点,但是由于受弹性体材料自身特性的影响,传感器的灵敏度温度误差大,大约在1.5×10-4~2×10-4/F.S℃,是导致传感器测量误差大的原因之一。在弹性体上设计加工灵敏度温度补偿电阻,使应变电阻和灵敏度温度误差补偿电阻可以在同一时间感受温度,比在后续电路上进行温度补偿,温度响应快。对灵敏度温度自补偿压力敏感元件进行设计与研制。实测结果表明,采用灵敏度温度自补偿工艺技术的敏感元件,灵敏度温度误差较小,可以控制在0.25×10-4/F.S℃以下,传感器的温度性能得到了提高。     

用四氯化碳清洗传感器的危害

文章说明用四氯化碳溶剂清洗压力传感器感压内脏，造成４Ｃｒ１３带材做的弹性波纹膜片是脆性破裂．用聚氯乙烯塑料薄膜包装产品，经三年时间贮存后出现产品壳体为黄黑色的故障结果。进而查找技术依据，认识到氯和含氯化合物的危害性的一面。故提出禁用四氯化碳溶剂清洗压力传感器的感压内脏。不用聚氯乙烯薄膜做产品包装袋。以利于提高产品的贮存可靠性．     

多孔氧化铝湿敏元件电特性机理的初步研究

本文阐述了多孔Al_2O_3薄膜湿敏元件的感湿机理及其电特性,提出Al_2O_3薄膜的感湿特性是以物理吸附为基础的,并基于这个模型,研究了表面导电机理和Al_2O_3的介电特性。通过理论计算得到了与实验结果相一致的C-RH、R-RH的关关系曲线,得到了元件感湿后电特性的变化是由于介电特性的变化引起的结论。在实验中,摸索到解决元件长期稳定性问题的工艺方法。     

SiC对C/C-ZrC-SiC复合材料的微观形貌、烧蚀及热物理性能的影响

为了研究SiC及其前驱体聚碳硅烷对聚合物浸渍裂解法(PIP)制备的C/C-ZrC-SiC复合材料的影响,本文以聚碳硅烷和有机锆分别为SiC和ZrC的前驱体,利用PIP法制备了C/C-ZrC和C/C-ZrC-SiC两组复合材料,采用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)对材料的微观结构进行分析,在氧乙炔环境下考核了复合材料的抗烧蚀性能,并选用热分析仪对两组材料的热物理性能进行对比分析。结果表明,聚碳硅烷因其较高的SiC产率可以提高C/C-ZrC-SiC复合材料中陶瓷基体的致密程度,其产物SiC改善了陶瓷基体与碳基体的界面结合状态。氧乙炔烧蚀120 s后,与C/C-ZrC相比,SiC的加入使C/C-ZrC-SiC表现出更优异的抗烧蚀性能,主要归功于烧蚀中心表面熔融ZrO_2保护层和烧蚀边缘致密SiO_2层的形成。此外,SiC有利于提高材料的导热性能,同时降低其热膨胀系数。     

SiO_2添加剂对防热透波一体化复相陶瓷结构及性能的影响

为研究能满足高马赫数飞行条件下的防热、承载、透波等要求的防热透波一体化材料,文章采用SiO_2作为添加剂,添加到多孔Si_3N_4复相陶瓷中,通过调控SiO_2的含量(质量占比),研究添加后材料的气孔率、孔径分布、物相组成、显微结构、力学性能及透波性能。结果表明,多孔Si_3N_4复相陶瓷的气孔率随着SiO_2含量的提高而降低,抗弯强度随着SiO_2的含量提高而上升,透波性能随着SiO_2含量的提高先上升后略微下降,说明SiO_2的添加,既促进了Si_3N_4的烧结,又在一定程度上提高了其介电性能。添加7.5 wt%的SiO_2到多孔BN/Si_3N_4复相陶瓷中可以获得较理想的防热透波综合性能。     

文摘选登

●电子器件与传感器技术/日本电气学会。1988.10.(日.电气学会研究会资料) 本文集收录了电子器件与传感器技术方面的文章8篇。主要内容有:有SiNx膜作为保护膜的HgCdTe光电二极管、新结构Si同质结型红外传感器、32×32压力传感阵列、微晶Si薄膜的热电效应特性及在功率传感器上的应用、单片SQUID磁通计、通过Si流传感技术的流量计的特性等。     

TiO2光催化薄膜在空间污染防护 应用中的探索

文章采用溶胶凝胶法在JGS1石英玻璃上制备了TiO₂薄膜,并对其晶体结构与光催化性能之间的关系进行了研究,探讨了紫外光辐照下TiO₂薄膜对大分子链硅油光催化效果。结果表明:经500 ℃热处理后的TiO₂薄膜为锐钛矿结构,具有较高的光催化活性;在253 nm紫外光辐照下,TiO₂薄膜对大分子链硅油表现出较好的光催化降解效果。该研究将为空间环境下飞行器光学表面污染净化材料的开发提供有益参考。     

掺氮TiO2光学薄膜的吸光特性研究

TiO2在光催化方面具有较好的应用前景,可望用于有害污染物的降解处理;但由于其禁带宽度对应的激发波长在紫外区,限制了其大规模应用。文章利用操作简便、易于控制的真空阴极电弧离子镀膜技术,制备了非掺氮和掺氮的TiO2薄膜。并分别在300℃和500℃退火后,获得了非晶态向锐钛矿结晶的转变。结果还表明,掺氮TiO2薄膜的相变温度比非掺氮的TiO2薄膜要高,其光吸收区也从紫外区扩展到了可见光区。     

工业用电磁湿度计

行年来,人们正在大力开发一种能用于工业自动湿度控制系统的湿度传感器。通常所用的湿度传感器是用金属氧化物、有机聚合物、薄膜等材料制成的。这类传感器在温度范围、高温环境、长时间工作能力、尘埃作用、耐汽油、有机物蒸汽等方面还存在不少问题。所以,需要研制能在工业环境中在广阔的动态范围内工作的湿度传感器。     

通电启动时固体推进剂电流密度仿真分析

电控固体推进剂(ECSP)克服了固体推进剂的固有障碍,能够做到重复启动,但燃烧不均和所需电源功率较大,导致较大尺寸ECSP的功能很难实现,限制了其进一步应用。由于通电启动时ECSP的电阻率变化不明显,可视其为准稳态。分别以电阻特性、电极布置、绝缘层厚度与长度为单一变量,对此时的电流密度分布进行三维模拟,仿真方法的可行性通过实验得到了验证。分析表明,当采用板状电极或同轴电极的通电方式时,减小电极间距将有利于ECSP端面电流密度分布的更加均匀,ECSP的电阻率、绝缘薄膜顶部距ECSP端面的距离等因素也会对ECSP端面的电流密度产生很大影响。据此提出了优化的电极排布形式和绝缘层布置,可为今后的ECSP应用作参考。     

空间用薄膜电加热器设计及热均匀性测试

针对空间飞行器用薄膜电加热器的实际需求,设计了不同的布线形式,并分别对其进行了数值求解和参数化绘图。使用红外热像仪对所生产电加热器样品的温度场进行了测试,结果表明电加热器温度场在单条水平线内的方均根差在2.79%以内,热均匀性较好,方程求解和绘图设计合理。此方法可应用于薄膜电加热器快速布线设计,电加热器热均匀性能够满足较高的加热控制需求。     

考虑光压力和热载荷的太阳帆薄膜力学行为分析

基于冯卡门板理论描述薄膜结构大变形,耦合光压力与热载荷,构建10μm量级薄膜非线性动力学主控方程。采用伽辽金离散方法和龙格-库塔推进方法数值求解方程时域解,并引入最大李雅普诺夫指数判别薄膜混沌运动。分析表明,法向光压力远大于切向光压力并抑制薄膜动力学颤振,仅计入光压力时,太阳帆膜呈静变形特征。当计入的光辐射热载荷达到临界值后,考虑切向光压力与法向光压力的薄膜都呈现动力学混沌运动。综上,光压力抑制太阳帆薄膜颤振,热载荷导致薄膜进入混沌运动。