软X射线投影光刻的关键技术

1．多层膜反射镜是投影光刻得以实现的前提．必须解决多层膜的高反射率、带宽匹配、应力，曲面基板上膜厚随入射角变化而变化等关键问题．目前，Mo／Be和Mo／Si多层膜在11～14mm波段得到了接近70％的反射率。2．光学元件超精密加工与检测是投影光刻得以实现的另一大基础。软X射线投影光刻所用的光学元件不仅要有较高的面形精度，而且要有较低的表面粗糙度。美国Tinsley公司现在能加工面形误差精度达0．6nm的元件，这是目前世界上最高的光学加工水平。为检测所加工元件的面形误差，该公司采用了精密干涉测量法、STM和AFM技术等当今最先…     

石英晶体提供精密温度测量

美国弗城Heraeus公司传感器部门开发的一种将石英晶体技术和计算机控制相结合的模块式系统(QuaT系统),能精密地测量温度,它通过石英晶体传感元件,使测量过程中机械稳定性和重复性达到非常高,总系统精度在-40～+100℃范围内为0.1℃,100～300℃为±0.1％。可广泛应用于工业过程中温度测量。     

氧氮混合气体在梯度磁场中流动的数值模拟

用直接蒙特卡洛方法模拟了空气气流在梯度磁场中的氧浓度分布，利用DSMC模型将分子的碰撞和运动解耦，同时将磁场力简化为瞬间作用力，并对模拟结果进行了分析和对比。模拟表明，磁场强度与梯度乘积由100T^2／m增加到800T^2／m时，氧浓度由0．762％增加到3．1％；而当温度由0℃升高到100℃时，氧浓度由0．78％减小到0．25％。另外，随着压力的变化氧浓度存在一个最大值，在模拟条件下，这个最大值出现在0．05MPa(绝对压力)附近。     

柔性热膜剪应力传感器水下测量温度修正

柔性热膜微传感器应用于流体壁面剪应力测量时,流体温度对传感器输出有很大影响,因此有必要对工作在非标定温度下的传感器输出信号进行修正补偿。重点研究了水下测量时传感器输出与水温的关系以及温度修正方法。通过分析传感器过热比和流体物理性质与温度的相关性,建立了流体温度与传感器过热比和标定系数的函数关系。在此基础上,提出了一种用于水下剪应力测量的温度修正方法,可以有效减小水温对传感器输出的影响。经实验验证,该方法可以使工作在25℃、28℃水温环境下的传感器输出值与其20℃标定值的相对误差从23．7％和37．1％回落到0．82％和0．83％。     

声表面波压力传感器信号采集与处理

声表面波 (SAW)传感器能将被测量转换成容易检测的频率信号 ,即一种准数字信号的输出。针对 SAW压力传感器 (以 CSF- 1 0型 SAW压力传感器为对象 )的输出特点 ,利用等精度频率测量法测量输出频率 ,并用 Dallas的单线数字温度传感器 DS1 8B2 0测出现场温度 ,采用 BP神经网络对所得数据进行温度补偿后得到精确的被测压力值     

1种热敏电阻温度传感器数字接口电路的研究

在一些用单片机组成的测试仪表或控制器中，常常需要一两路温度输入信号，如环境温度、水温的测量，而若仅为一两个温度信号的测量而增加1个硬件A／D转换器，则势必增加仪表的成本。这里所要介绍的热敏电阻温度传感器的数字接口电路，每路温度测量包括传感器在内仅10元左右的成本，在－20℃～＋70℃的测温范围内测温精度可达±0.2℃。并且性能稳定，抗干扰能力较强。已成功地应用在工业测控仪表中。     

大压力高精度谐振筒传感器设计

介绍用于测量高低温环境下高压气体绝对压力的传感器的设计,传感器采用谐振筒式敏感元件和数字量输出方式.量程满足0.02～4.0MPa,精度优于±0.05%FS,可在-55～150℃的较宽温度范围内可靠工作.该传感器可用于飞机发动机的电调系统,测量发动机不同位置的压力.文中主要论述了谐振筒的设计方法,确定了宽温大压力高精度...     

多用途便携式红外热像仪

根据物体辐射的红外能量 ,通过光学系统、红外探测器及图像显示器 ,把接收到的红外能量信号转变成电信号 ,由图像显示器显示物体的温度场分布 ,对物体进行温度测量。其性能指标 :(1)温度分辨率 <0 .1℃ (对 30℃物体 ) ;(2 )空间分辨率 :2 0℃视场 ,3.4mrad ;7℃视场 ,1.1mrad ;(3)温度量程为 ;- 2 0℃～ +90 0℃ (加滤光片为 16 0 0℃ ) ;(4 )场频为 2 5 /s ;(5 )扫描线频率为 2 5 0 0 /s。本成果为技术密集型产品 ,体积小、质量轻、场速高、携带方便 ,具有双等温和热图像实时磁带记录功能。在 3μm～ 5 μm的快速扫描热成像系统技术方面 ,…     

高温气体LTE模型参数计算方法及其在非平衡电弧射流状态诊断中的应用研究

运用统计力学的方法建立了高温氮氧氩混合气体LYE模型参数计算方法及标准程序(压力：10Pa～10^7Pa、温度：3000K～30000K)，这在国内是没有的。在此基础上，建立了高温气体LYE模型参数测量方法，对电弧等离子体射流的非平衡性质进行了检验，结果表明：电流80A、压力0．027MPa下，亚音速氩射流中心是LYE的，中心之外非平衡效应显著，偏离LYE、但是PLTE的，LYE温度与电子温度相差最大达3000K；电流70A、压力0．00149MPa下，超音速氩射流非平衡效应非常显著，LTE模型温度与电子温度相差最大达5000多K。     

BME680压力传感器非线性补偿和温度补偿方法及实现

为了提高微机电系统(MEMS)压力传感器的测量精度,研究了压力传感器非线性补偿和温度补偿算法,提出了一种基于单片机的传感器非线性矫正方法,设计了一款集成数据采集系统、修正系统和传输系统的柔性压力片。采用一款商用MEMS压力传感器BME680进行了试验,利用Matlab软件对采集的数据进行分段多项式拟合,基于压力片MCU实现传感器误差的非线性补偿和实时修正。试验结果表明,温度补偿算法效果明显,压力传感器的静态输出精度提高明显,10℃及10℃以上,提高到0.207%FS;10℃以下,提高到1.39%FS,达到了预期要求。     

射流预冷试验防水温度传感器设计

为解决射流预冷试验中遇到的常规带罩温度探针接点遇水问题,基于气液两相流环境设计了1种防水温度传感器。通过设计滤水和隔热结构,避免了水对测量结果的干扰。现场校准试验结果表明:在100～450℃,该传感器的测温值比常规带罩温度探针的低1.0%～1.1%。射流预冷试验结果表明:防水传感器在一定水气比下是有效的;与常规带罩温度探针反向测试的截面平均总温估算值对比表明,在来流343.3℃、水气比5.5%的工况下,在雾化充分的测量截面,剔除个别遇水测点,防水传感器测温值明显比热电偶的高,差值最高达11.8%。,说明防水传感器可以有效减小传热误差。     

空运市场趋平稳 认清形势练内功

Self-improvementCrucialforAirlines回顾1998年，中国空运市场是满足了低位需求的“买方市场”。显然暂时得益的是广大的利用者，而肮空运输业却面临巨大的压力。一、今国空运市场1998年回顾回顾1998年中国空运市场：运输需求显现阶段性不足；运力供给呈现相对性过剩。主要原因是需求不足，供给过剩则是相对的。表现为：（1）客运量增长出现徘徊。民航客运量1980～1996曾有过年均16．1％的增长，最高是1995年增长率达28．3％。但是，1997年仅增长2．4％，1998年也仅增加1．5％。可见，客运量增长出现了徘徊的局面。（2）航空货运形势良好…     

ZH_(205)~(204)B压力校测仪与ZHR_(533)B信号源通过鉴定

由北京航空航天大学中航机电所研制的ZH204B、ZH205B电脑压力校验测量仪和ZHR553B多功能信号源于1994年9月通过国家鉴定。ZH204B、ZH205B以微电脑为基础，具有手动泵产生精确压力信号，进行高精度压力测量，电流、电压测量，采集存储测量数据，重显数据，配有打印机和RS232接口等多种功能。可为被校表提供DC24V电源。量程齐全，精度：0．05％FS，0．1％FS。ZHR553B是为现场校验工业自动化仪表，如变送器、控制器、调节器、记录仪、接受机等而研制的1种新型数字式仪表。是1种便携式、交直流两用、高精度、数字显示的多用途信号源…     

燃烧室热力模化分析

以燃烧室四热量平衡方程为热力模化分析和壁温计算模型，得到了较实用的模拟准则。用几种模拟压力下的计算壁温对设计点壁温的偏差考察了准则的可靠性。热力模拟准则与压力1．0次方或1．15次方燃烧效率准则相近，与1．75次方效率准则差别较大。热力准则在0．3倍设计压力以上的压力范围具有较高的模拟准确率。压力低于1MPa时，模拟壁温应作增加5％以上修正。     

温度对有机玻璃裂纹扩展速率影响研究

以试验为舢出，系统的研究了不同温度(23℃、40℃、80℃、-30℃)及不同应力比(R=0．1、0．4)对有机玻璃裂纹扩展速率的影响，并提供了有机玻璃裂纹扩展da／dN～△K曲线。     

成果简介

1　双路探测器本产品同时应用红外、微波两种高科技技术 ,由于它要同时感应到人体的移动和体温 ,经过双重鉴别才发出信号 ,所以准确性高、不误报 ,是目前最为理想的防盗传感器。其控制面积 >5 0m2 ;探测距离8m～ 10m ;灵敏度移动 2目光～ 4目光 ;功耗≤ 0 .5W ;抗干扰频率范围 :2 7MHz～ 92 5MHz。该产品可用于机场、银行、仓库、商场、各机要部门监视环境 ,曾获科技进步奖 ,其水平与美国CK公司产品相仿。经济效益、社会效益显著。(南京电子器件研究所 ,南京 16 0 1信箱技术开发总公司 ,邮编 2 10 0 16 )2　细长筒内径测量细长筒工件在加…     

一种应用于超小型无人机的新型定高传感器

使用美国ICSENSOR公司的压阻硅式绝压传感器，对静压进行测量，并设计出适合超小型无人机使用的新型定高传感器，这种定高传感器具有灵敏度高，重量轻，单电源供电，板式结构。可靠性高，重复性好的特点，填补了应用于超小型无人机的定高传感器产品的空白。     

长玻纤增强注塑聚醚醚酮复合材料加工工艺与力学性能的研究

以含30％的长玻璃纤维增强聚醚醚酮为原材料,采用注塑成型的方法研究了聚醚醚酮复合材料的加工工艺参数包括冷却速率、成型压力、成型温度及模具温度与力学性能的关系,并对模具温度为180℃时PEEK复合材料的微观形貌进行分析,研究结果表明：采用中速冷却速率,成型压力为120MPa,成型温度为后段375℃、中段425℃、前段425℃,模具温度保持为180℃时,复合材料的抗拉强度达81MPa、剪切强度为62．7MPa,制品表面光滑,其综合力学性能最佳。     

CMM──系统及其统计软件

德国CarZeiss公司新近开发出的CNC小型坐标测量机──Eclipse550及统计软件STRATA-UX表了最新的CMM技术．Eclipe550CMM是为车间测量而设计的．其测量范围为508mm×508×508mm,精度为0．005588mm，最大测量速度为432mm／s．它以集中CNC控制器和计算机为特色．控制器和计算机通过一镇接管连到监视器和键盘上．由于采用了热不灵敏陶瓷技术，使测量机的测量精度在17．8～25．6℃的范围内可不受温度影响。这种坐标测量机上可安装Zeiss公司的ST测头、该测头不受定向限制，其双脉冲触发信号兼有压电脉冲和机械转换脉冲，可以消除测头的…     

先进风洞气源系统的研制与运行

系统包括空气压缩、空气处理、储气、冷却水供应和中央监控等五个分系统，空压机的吸入流量为248m^3/min，排气压力为2．4MPa，成品气常压露点达－38℃，可以满足一座0．6m量级的高速风洞对气源的需要。该系统在与800m^3储气容积配套时，能保证在气体流量达140kg/s、持续时间达40s的风洞试验中，其总温变化不超过1．5K。