带μP的数字压力表设计

本文分析了硅压阻式压力传感器输出特性与硅电阻元件温度之间的关系。据此,提出了用μP对此类传感器进行温度及非线性等误差补偿的有效方法,以保证采用此类传感器的数字压力表在-20～50℃温度范围内误差≤±0.10％FS,在15～25℃范围内误差≤±0.05％FS。 本文还介绍了带μP数字压力表的硬件和软件,从而较好地解决了在较大温度范围内高精度压力测量的课题。     

高精度气压高度表的研制

研制了一款适用于小型飞行器和无人机的高精度气压式高度表.通过曲面拟合的方法,运用最小二乘法完成了对硅阻压力传感器的标定和误差补偿工作,提高了压力传感器的实际输出精度.对实际大气状况与标准大气不符时的气压高度原理误差进行了分析,提出了误差补偿的新方法.实验结果和理论分析吻合较好,表明气压高度表有效地补偿了压力传感器原始误差以及大气状况不符时的气压高度原理误差,提高了气压高度表高度信息的实际精度.     

脉动压力传感器研制

测量脉动压力用压阻式压力传感器，通过有限元应力分析求得灵敏度高、线性又好的双岛硅膜片结构；采用双面对准光刻工艺，各向异性腐蚀微机械加工制硅膜片等新技术。最后给出了脉动压力传感器的动、静态性能指标。     

采用压电陶瓷传感器提高悬臂式镗杆的加工精度(英文)

由于悬臂式镗杆的刚度较低,镗削加工中容易产生加工误差。本文采用了误差在线检测与实时补偿的方法,以提高悬臂式镗杆的加工精度。通过应变片测试微量镗削加工中镗杆的变形,在线检测加工误差,用压电陶瓷传感器对加工误差进行实时补偿。镗刀和压电陶瓷传感器分别安装在杠杆式结构的微量镗杆的两端,这样镗杆的结构尺寸可以不受压电陶瓷传感器的影响,镗杆的长径比为８。     

耐高温动态压力传感器与实验分析研究

采用微机械电子系统（Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS）和硅隔离（Silicon on Insulator,SOI）技术制作出了量程为25MPa的倒杯式耐高温压阻力敏芯片,敏感电阻条与硅基底之间采用二氧化硅隔离,解决了在大于120℃高温下力敏芯片工作稳定性和可靠性的难题。设计了齐平式机械封装结构,避免了管腔效应影响,提高了传感器的动态响应频率。对研制出的耐高温动态压力传感器进行了静态性能和动态性能的标定实验,静态实验温度为250℃,得到了传感器基本性能参数,分析了传感器的不确定度,得出该传感器的基本误差为±0.114%FS（Full Scale,全量程）,不确定度为0.01794mV,计算得到了传感器的热零点漂移和热灵敏度漂移指标,由动态性能实验得到传感器的响应频率为555.6kHz,实验表明所研制的MEMS压力传感器在高温下具有良好的精度和固有频率。     

梁-膜结构微压传感器研制

由四个弹性梁和一个刚性中心膜构成的梁-膜结构,具有平面应力集中效应,与一般的结构相比,这种膜片在受到微压时即产生较大的应力集中,使传感器在测量微压时有较高的灵敏度,它的特别的结构能解决一般结构膜片在很薄时由膜应力和弯曲应力产生的严重的非线性.介绍的这种双面腐蚀形成的梁-膜结构的硅压阻式微压传感器的设计就是采用这种应力集中原理,芯片结构的力学特性分析及样件测试结果表明,这种结构的微压传感器具有较高的灵敏度和较低的非线性,成功地实现了对微小压力的测量.利用有限元仿真计算对用于100Pa压力测量的梁-膜结构硅压力传感器的结构参数进行优化,并对芯片版图设计、制作工艺技术和传感器的特性等问题进行了讨论.     

S型三分量测力传感器

本文主要介绍了三分量测力传感器及S型拉压式力传感器的设计思想,对应变式力传感器中的有关设计、粘贴和补偿等几个具体问题进行了探讨。     

第三章 加速度计的信号适调

3.1 压阻加速度计压阻式传感器最容易与通用型的仪器相连。它通常有高的电平输出,低的输出阻抗和很低的固有噪音。然而,为了最大限度的发挥这些优点,有几点必须特别注意。这些传感器一般结构是由配对的可变应变计构成。通常把有源元件连接成惠斯登电     

高精度测角系统细分误差分析

本文介绍以圆感应同步器作为测角传感器，用鉴幅型开环数显系统进行相对测量的测角系统，该系统能在快速转动下动态测量方位角。文章对信号处理系统的基本原理及其一些重要环节作了简要说明。对该系统存在的细分误差，重点从理论上进行了分析并推导了幅值误差和相位误差。根据推导结论，提出了进行细分误差补偿的方法．最后着重描述了系数调节和相让补偿的设计方法。该方法用在所承担的研制任务中，经过试验证明，得到了令人满意的结果，达到了总体提出的高精度测角指标要求。     

切削力误差混合补偿系统

开发了一种新型混合系统,该系统结合多个单一系统的优点,弥补了它们各自的缺点。通过实验验证了该切削力误差混合补偿系统具有好的鲁棒性和补偿效果。该切削力误差补偿系统解决了以往单一补偿系统中不能解决的电机非线性摩擦力影响和刀具热误差影响等问题。     

GNSS/SINS组合SAR运动信息传感器

提出一种不依赖于机载主惯导的SAR运动信息传感器方案，即改进的基于GNSS／SINS组合运动系统。在成像期间．输出以纯惯性为主的导航信号．以保证较高的相对定位精度。而GNSS／SINS组合．则保证了长时间的绝对定位精度。本介绍了这种运动传感器的原理和数学模型等，并对实验结果作了分析。多次实验表明，本提出的基于GNSS／SINS的运动传感器具有很高的精度，完全满足了SAR成像的精度要求．特别适用于没有主惯导或主惯导精度较低的场合。     

静电陀螺漂移误差模型的比较研究

本文对静电陀螺伺服测漂所得的试验数据进行分析处理,对常用陀螺漂移模型进行修正,结果表明,改进模型中陀螺转子变形的奇次谐波与电极碗横向错位耦合产生的干扰力矩,对高精度静电陀螺导航系统的影响是不容忽视的。与常用模型相比,用改进模型拟合试验数据,漂移速度残差将显著减小,因此改进模型进一步完善了陀螺漂移误差补偿模型,对提高导航系统精度具有实用意义。文中还根据静电陀螺的工作环境和伺服测漂的(?)验条件,对影响陀螺漂移精度的干扰源作了分析,并根据不同测试时间段漂移模型系数的变化趋势,提出了用时变参数漂移模型处理试验数据的构想。结果表明,与常系数漂移模型相比,它可以进一步减小漂移速度残差,得到更为满意的结果。     

旋转惯导系统中的圆锥误差分析及其补偿

圆锥误差是由转动不可交换性误差引起的,存在于惯导系统导航解算的一种误差形式。由于基于旋转调制方式的惯导系统运动模式与传统捷联惯导系统不同,因此圆锥误差的表现形式也会发生相应变化。首先建立了旋转调制惯导系统的圆锥运动模型,对其不可交换性误差进行了推导。在此基础上分析了基于等效旋转矢量的多子样算法在旋转惯导系统圆锥误差补偿中的应用效果以及旋转方案对圆锥误差补偿的影响,最终通过仿真对理论分析进行了验证。仿真结果表明,圆锥误差对于旋转惯导系统的影响要大于传统惯导系统,但可以通过改变旋转方式来对圆锥误差进行抑制。     

多波束勘测中航向姿态系统研究

由于风、水流等因素的影响，使得用多波束测得的水深及水下地形存在误差，为此需要进行船姿补偿。文中介绍了利用GPS进行姿态求解的方法，阐述了利用GPS姿态、位置以及速度作为观测量进行GPS／SINS全状态组合的原理。叙述了基于MEMS IMU的GPS／SINS组合系统的工程实现。实验结果表明，GPS／SINS全状态组合能够提供较高精度的船体航偏角、横摇角、纵摇角以及位置、速度信息，满足了多波束勘测中进行船姿补偿的要求。     

GPS/IMU组合导航系统中杆臂效应分析(英文)

研究了组合导航系统中杆臂效应引起的干扰比力问题。文中给出了几种飞行状态下由杆臂效应引起的导航误差。分析表明 ,当飞机作机动飞行时 ,杆臂效应引起的干扰比力是主要的误差源之一 ,并且由干扰比力产生的导航误差随时间快速积累。因此 ,在组合导航系统中必需考虑在线的补偿方法 ,以便补偿由杆臂效应引起的导航误差。     

GPS/IMU组合导航系统中杆臂效应分析

Disturbance specific force caused by the lever arm ef-fects in integration navigation system is investigated,Navigation errors eaused by the lever arm effects have been demonstrated under three flinght scenarios of the air-craft.Analytical under three flight scenarios of the ari-craft.Analytical results show that disturbance specific force resulted from lever arm effects may become one of the major error sources while an aircraft undertakes the maneuvers,and mavigation errors caused by the lever arm effects accumulate rapidly with time.Therefore,a com-pensation method must be taken into account to eliminate the disturbance specific force caused by the lever arm ef-fects in integration navigation system.     

光纤涡轮流量传感器及检测系统研究

介绍一种利用光学方法检测涡轮转速的光纤涡轮流量传感器及检测系统。它具有信噪比高、量程比大的优点．试验表明，光纤涡轮流量传感器的量程比高达４０：１，比常用的磁电式涡轮流量计大３倍，可满足航空发动机过渡态燃油流量的宽量程测量要求．还详细介绍了光纤涡轮流量传感器的结构和工作原理、温度修正原理，以及检测系统的硬件电路。最后给出传感器标定结果，并讨论了在航空发动机燃油测量中的应用。     

基于天文观测技术的惯性导航系统的空中对准

提出了一种基于CCD星敏感器的捷联惯性导航系统的空中对准方法.应用双线性方程求解被观测星在星敏感器坐标系中的坐标值及传统最小二乘微分校正法求解捷联惯性导航的姿态,该姿态值与捷联惯性导航解算姿态的差值就是惯性导航系统的失准角.作为Kalman滤波器的观测量,计算机仿真结果表明,天文姿态信息有效地校正了陀螺漂移和初始失准角引起的位置和速度误差.     

在线三维几何量测量软件研究

介绍了最近研制成功的依维柯汽车底盘潢梁在三维几何量微电脑测量系统的测量原理和测量软件。该系统采用相对测量原理建立三维测量坐标系，通过系统误差软补偿提高测量系统精度。并根据优化原理提出了三坐标测量中一种新的几何量误差计算方法，该方法通过模拟被测件装配过程，对相关几何量误差进行最优计算，使测量误检率大大降低，保证了在实际测量中最大程度地通过合格件。