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目前,我国所使用的检定100mm以下一等量块的仪器,大多是东德蔡司厂生产的柯氏干涉仪,按照JJG146—76《尺寸至100mm一等量块检定规程》的要求,使用柯氏干涉仪检定一等量块时,要读取四种光波干涉条纹相对差值的数据及温度、气压等数据,根据这些数据来查五个不同的表,进行七个公式运算,还要根据部分中间运算结果并借助一个专用计算尺得到修正量C_1,最后才能得到检定结果。鉴于这套数据处理方式繁杂,计算时间长,读数、计算错误不易查找,我们用BASIC语言编制了一套程序,借助APPLEⅡ微机来进行数据处理,从而解决了人工数据处理的种种弊端。由于柯氏干涉仪是以能够实现小数重合法原理而设计 相似文献
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激光测量大直径方法的研究 总被引:4,自引:0,他引:4
大型工件内外径测量点的瞄准和定位是大直径测量中的一个关键技术,也是国内外未能很好解决的测量问题。提出了一种利用激光光线瞄准大型工件内外径测量点的新方法和使用双频激光干涉仪测量大直径的原理。该方法利用激光准直仪出射的高稳定光线,经单个测量头中的五角棱镜反射后,先后瞄准吸附在被测工件直径两端点上的两个磁性定位块上的光电接收器,使用双频激光干涉仪直接测量出这两个光电接收器中心之间的距离,通过简单的几何计算得到被测直径大小。还对系统的测量误差进行了简要的分析,并给出了1000mm量块和Φ500mm直径对比的实验结果。理论分析和实验结果表明:测量系统的相对测量误差小于5×10 ̄(-6)。 相似文献
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光在金属表面反射时的位相跃变值与入射光波波长和金属本身的光学特性有关。在用绝对光波干涉法测量量块长度时,必须解决光在量块表面反射时的位相跃变问题。对光在金属表面反射时的位相跃变问题进行了定量分析,推导出了位相跃变值的数学关系式,计算出了几种金属的实际位相跃变值,对量块等零件的光学精密测量有实用价值。 相似文献
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激光外差干涉信号处理技术的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了两种激光外差干涉信号的处理方法锁相频率解调法及组合频率解调法。此方法适用于需要实时反馈控制以及定位曝光等场合。用此方法,可以使干涉仪的测量分辨力分别达到3nm和0.5nm,干涉仪测量棱镜的允许运动速度达到3mm/s。 相似文献
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分析了小角度正弦激光干涉仪的有关特性,叙述了这种方法的测量原理,计算了几种因素对测量准确度的影响,指出提高测量准确度的解决办法。 相似文献
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研究了激光外差干涉仪中存在的频率混叠现象、误差形成机理和变化规律。重点研究了共光路外差干涉仪中引起频率混叠的两个因素:激光光源的椭圆偏振元和Wollaston棱镜的安装方位角误差,以及上述两因素引起的频率混叠误差的大小及变化规律。对进一步提高共光路外差干涉测量准确度具有现实意义。 相似文献
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由航空航天部航天第一计量测试研究所张蕴玉高级工程师起草的两项国家军用标准《纳米激光偏振干涉仪规范》、《纳米激光偏振干涉仪检定规程》于1992年5月14~16日在北京通过了预审。预审会由708所主办,并委托清华大学李达成教授主持。参加预审会的有全国国防计量测试标准化技术委员会的3名委员和哈尔滨工业大学等12个单位的13名教授、专家和专业技术人员。纳米激光偏振干涉仪是一种分辩力达纳米级的测量仪表,曾荣获1988年国家级科技 相似文献
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介绍一种以线性调频半导体激光为光源的衍射光栅干涉仪。激光与光栅上衍射的±1级衍射波会合,由于有光程差而发生光拍频,测量拍频信号的相位移则可测得光栅的位移。设计了一种克服激光波长漂移和空气折射率变化影响的对称差动光路,使这种方法达到实用化的程度,分辨力达到纳米级。此外,还介绍了应用于接触干涉仪的实验情况。 相似文献
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测量不确定度与测量结果是相关的,它反映了测量值的分散性。利用标准环规和高准确度测长机来建立环规检定的标准装置。通过对环规检定装置测量不确定度来源的分析,评定了环规检定装置测量不确定度大小,分析得到的结果满足环规检定规程中二等环规的测量不确定度要求。 相似文献
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提出的半球头测量法从理论上消除了三维曲面截形测量时由于被测曲面的扭曲对测头所造成的干涉,使曲面测量直接转化为曲线测量,从而简化了测量和数据处理过程,为曲面测量提供了一种既简便实用又具有较高精度的新方法。 相似文献
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双波长全息干涉术的实验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
双波长全息干涉术利用激光器发出的两个或两个以上不同的波长对物体拍摄全息干涉图,相当于用一个等效波长λeq对物体进行干涉测量,从而扩大了测量范围。在改进的泰曼干涉系统中,采用双曝光法双波长全息干涉术对一个抛物面反射镜的面形进行了补偿法检验,最终得到的干涉图样易于分析和判读。实验表明,对于光学元件的面形检验,尤其是非球面元件的面形检验,双波长全息干涉术是一种可行的测量新方法。 相似文献
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主要介绍采用比对法检定真空计的装置。该装置的原理是将一支或几支需要检定的真空计与副标准真空计一起接到标准容器上,用副标准真空计和被检真空计同时测量标准容器内的同一压强,将所测的结果直接比对。该装置结构简单,操作方便,检定范围宽,效率高,主要技术指标符合国际标准化组织(ISO)和国家有关真空标准的具体现定,可适用于真空计量二级站和基层计量单位大量常规检定。对标准装置的要求以及使用中应注意的问题和结果表示进行了讨论。 相似文献
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对光纤功率计非线性因子测量系统进行了优化设计。在理论分析和实验验证的基础上,优化了光路系统,抑制了光的干涉效应对光功率稳定性的影响,进行了实验验证;由光衰减器代替快门进行光的通断控制,扩展了测量范围,可以实现通用光纤功率计非线性因子的全量程测量。 相似文献
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量块计量保证方案(MAP)是美国NIST近年来推行的一种科学的量值传递方法。它打破了传统的量值传递方法,采用l检验和F检验对量值传递过程进行控制,并通过数据反馈对参加试验室进行综合考核,以确保量值传递的质量。介绍了在我国推广应用量块计量保证方案的实施情况,并进行了技术分析。 相似文献
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磁悬浮控制敏感陀螺(MSCSG)是一种将姿态控制和姿态测量功能合二为一的新型陀螺,采用洛伦兹力磁轴承(LFMB)控制转子径向偏转。针对MSCSG 2个测量轴之间存在耦合的问题,提出了一种基于逆系统解耦的测量方法。首先,分析了MSCSG的结构组成,在此基础上建立了LFMB-转子系统动力学模型,推导了MSCSG陀螺进行两自由度姿态测量的工作原理;然后,分析了2个测量轴之间的耦合关系,进而提出采用逆系统对2个测量轴进行解耦。最后,对所提方法的有效性进行了仿真验证。仿真结果表明:在所提解耦方法作用下,2个测量轴之间的耦合效果得到了很好的抑制,测量精度得到了一定的提高。 相似文献
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应变式测力传感器动态测量误差的运算法补偿研究 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了应变式测力传感器的动态测量误差来源,直接根据测力传感器的输入-输出微分方程式,建立起补偿传感器动态测量误差的差分方程以及由计算机实现的补偿算法。计算机对传感器输出的模拟信号进行采样后,对所得到的相应数字量进行补偿运算,得到消除了动态误差的动态力测量结果。 相似文献