带电子触头的千分表测量装置

膜片、膜盒等弹性敏感元件是许多仪表的重要元件。膜片膜盒的生产中常常用百分表、千分表及微动千分尺等来测量膜片型面的几何参数及元件的特性——加压或抽空时元件硬中心部分的线位移。用百分表测量刚性很小的膜片型面参数会造成不能容许的误差,用微动千分尺测量元件特性虽然测力较小,但其使用也有不便之处,特别是机械式触头中的扭丝难以制造、不易安装与调整,且极易损坏。我车间制成了电子触头代替上述机械式触头,使用效果良好。后又设计制造了简单的升     

硅谐振梁式压力微传感器边界结构参数优化

对一种硅谐振式压力微传感器敏感结构的边界结构参数进行了优化设计。所讨论的敏感结构以方形硅膜片作为一次敏感元件,直接感受被测压力。在膜片的上表面制作浅槽和硅梁,以硅梁作为二次敏感元件,间接感受被测压力。为减少敏感结构内外能量耦合,提高振子的Ｑ值,采用有限元仿真分析的方法,优化敏感边界结构参数。     

超精密加工中研抛分布力测量方法的探讨

在研磨盘的不同位置打深盲孔,近于贯穿,仅留下薄薄一圆形平膜片,作为抛光法向压力的敏感元件。此圆平膜片半径,厚度由位移敏感元件灵敏度及抛光所容许的外扰（对实际工作状态影响足够小）决定。在此孔中安置光纤位移传感器测量圆平膜片的变形位移,就可解算出抛光时研磨盘的局部压力。信号调制后通过多路遥测装置或电刷滑环等集流器将信号引出。     

静电封装技术在硅真空膜盒上的应用

静电封装是继玻璃烧结等新工艺后又一种能实现硅敏感膜片刚性联结的理想工艺方法,并日益在制造硅压阻式各型传感器的硅膜盒组件上显示出其优越性。本文着重介绍静电封装技术在硅真空膜盒上的应用,我们建立了一个小于5×10~(-5)毫米汞柱绝对压力的基准压力参考值。这使研制的压阻式绝对压力传感器具有精度高、稳定性好的突出性能。1.静电封装的提出利用单晶硅材料的压阻效应,用半导体平面制造工艺做一个敏感元件-硅膜片。把硅膜片加工成诸如硅杯形一体化整体结构,使其成为周边固定的薄板膜片,有选择地采用胶粘、     

微谐振式压力传感器的差动输出设计与建模

提出一种应用于微谐振式压力传感器的敏感结构,其一次敏感元件为矩形硅膜片,膜片的上表面架设有三个两端固支的硅谐振梁,间接感受压力作用,根据膜片上不同位置设置的硅谐振梁的固有频率对于压力变化有不同的变化规律的特点,实现对被测压力的差动输出检测。针对这种结构,建立被测压力与谐振梁固有频率的数学模型。设计实际尺寸参数进行计算分析,得出谐振梁的分布位置和几何参数对其振动特性的影响规律,给出了由差动输出解算压力的公式,验证了所提出的结构的设计思想和优化参数的可行性。     

热激励谐振式硅微结构压力传感器温度场研究

针对一种以方形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件 ;采用电阻热激励、压敏电阻拾振的压力微传感器 ,分析了其工作机理 ;依幅值、相位条件讨论了该谐振式微传感器的闭环自激系统 ;建立了微传感器的温度场模型和热应力模型 ,并进行了仿真计算与分析     

Ni42Cr6TiAl恒弹性合金及其应用

弹性合金在仪器仪表及机器制造业中获得了广泛的应用,如各种受力、减振弹簧和各种测力敏感元件等。由于弹性元件的用途,工作条件以及几何形状的不同所用材料的种类也极为繁多,其中以碳素弹簧钢,硅锰合金钢,不锈钢和弥散硬化型弹性合金为最多。近年来,为了满足精密仪器仪表精度和稳定性的要求,     

高精度波纹膜片的冲切成形

图1、图2为某发动机涡轮泵的两种波纹膜片。膜片材料为1Cr18Ni9Ti,料厚原为0.2毫米,后改为0.15毫米。两种膜片型面复杂,形状相反。使用时将两种膜片各数片在内外边缘处彼此焊接而成弹性密封元件。因膜片材料较薄,焊接性能不好,为保证焊接质量,对膜片的内外圆尺寸精度提出较高要求,内孔尺寸为φ26_(0.05)~(0.02)毫米,外圆尺寸为φ42±0.03毫米。如果是单纯的平板冲切,达到这样的尺寸精度还是不困难的。而这两种膜片既要成形较     

CGW—1单晶硅微压传感器简介

一、结构与工作原理 CGW-1单晶硅微压传感器是利用硅的压阻效应,以硅平面工艺为基础制成的一种新型压力传感器,也称压阻传感器。其结构如图。硅膜片组件是传感器的核心,在N型(111)硅膜片(图右部)的<110>晶向上,在等效应区扩散12个P型电阻,选择一组最佳电阻组成电桥,以直径为50微米的金丝热压焊在扩散电阻的铝电极上,并将另一端以锡焊联到绝缘子的柯伐丝上,组成四臂全差动惠斯登电桥。膜片与硅环用金硅共熔法形成刚性连接。硅膜片组件装于壳体与隔环中间,用螺纹压盖通过O型密封圈将其轴向压紧,构成密封压力腔,并     

弹翼骨架蜂窝夹层结构成型工艺研究

1 引言 目前,骨架蜂窝夹层结构胶接固化成型的工艺方法,是在热压灌中用半封闭式型面模成型。成型的原理是:以半封闭式型面模为基准,以压缩空气为均匀压力,在一定温度下,经过一段时间后胶接固化成型。这种工艺方法的特点: (1)生产时离不开半封闭式的型面模具,如果大批量生产就需增加半封闭式型面     

非晶态Co_(90-x)T_xZr_(10)合金的热稳定性研究

非晶态合金材料有许多优异的特性,适合于制作多种敏感元件和传感器。近十年来,利用非晶态合金材料制作的各种敏感元件和传感器得到迅速发展,磁场敏感元件和磁强计是其中一个重要方面。由后过渡金属(Fe、Co、Ni)和前过渡金属(Zr、Nb、…)组成的非晶态合金是一类重要的软磁材料,但是目前国内外有关利用这类材料制作磁场敏     

小孔检测方法的研究

研究了一种检测小孔的机械式测头,将细测杆视为弹性体,将膜片做为三维敏感元件,通过弹性位移传递原理自动补偿了测杆的受力变形误差。安装在测量机上可以检测Φ０３ｍｍ以上小孔任意截面的尺寸和形状误差,精度优于１μｍ。     

化学沉积波放管工艺

一、概述波纹管是一种圆柱形的沿圆周有波纹的薄壁金属元件。当波纹管在不太大的轴向力或压差的作用下,将产生显著的伸长或缩短。由于这一特性,它被广泛地应用于仪表与自动装置中,如气压式温度调节器、压力调节器、油量调节器、流量表、各种构造形式的气压表等,都用波纹管作为压力测量或调节的敏感元件。它还可以作导管的挠性连接、密封元件;作两     

太原航空仪表有限公司

中航工业太原航空仪表有限公司始建于1951年,是中国第一家航空仪表制造厂,享有"中国航空仪表摇篮"美誉。先后荣获"航空工业重大贡献单位"、"山西省模范企业"、"中国企业文化建设先进单位"、"全国职业道德先进单位"、"全国模范职工之家"、"全国五一劳动奖状"等称号。公司军品主要从事大气数据测量系统、机载液晶显示器、机载告警系统、弹性敏感元件、高精度压力传感器、飞行指示     

非热压罐预浸料成型技术研究进展

非热压罐成型(out of autoclave process,OoA)技术是实现结构复合材料低成本制造的有效途径,是当前复合材料研究领域的热点之一。本文介绍了OoA成型复合材料国内外的研究前沿以及在航空航天领域的应用现状,从材料体系和成型工艺两大方面总结了OoA成型过程中的缺陷控制方法。在OoA预浸料成型技术中,可通过尽量减少树脂体系中挥发物含量、精细调控树脂体系反应和流变特性、控制预浸料中纤维和树脂的浸润程度、优化成型工艺等手段有效降低复合材料的孔隙率等缺陷。     

非晶态合金压力敏感元件和传感器

 本文对非晶态合金压力敏感元件和传感器的最新发展进行了综合评述。按照所利用的物理效应,把已开发的非晶态合金压力敏感元件划分为三类;超声传播效应,电阻-应变效应和应力-磁效应。在有关镍基应变计型压力敏感元件的讨论中,包括了作者参加的课题组的有关工作。     

热激励谐振式硅微结构压力传感器

对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件,硅梁作为二次敏感元件的热激励硅谐振式压力微传感器进行了较系统的研究 :建立了微传感器敏感结构的工程用数学模型;以所建立的模型实际设计了敏感结构参数 :方形膜边长 4 mm,膜厚 0.1 mm,梁谐振子长 1.3mm,宽 0.0 8mm,厚 0.0 0 7mm;采用微机械加工工艺加工出了原理样件;采用电热激励、压阻拾振方式对其进行了开环测试     

表面处理的水质控制和清洗技术

一、前言水是湿式表面处理(主要是电镀作业)中不可缺少的物质,根据使用目的不同,可分为原料用水、清洗用水及设备冷却水三种。其中除设备冷却水另有要求外,原料用水和清洗用水直接与零件表面接触,对工艺质量影响极大,目前表面处理水质问题已引起普遍关注。在我们的表面处理工作中,主要是处理航空仪表及各种机构的金属弹性敏感元件,其特点是形状复杂、尺寸精度高、同一元件需符合多种特性参数,所以表面质量要求很严,如何改善元件的外观和防锈质量,这是我们多年来所面临的问题。为此,我们从工艺技术和生产     

光固化快速成型技术的应用及其进展

光固化成型工艺(Stereolithography,SL),常被称为立体光刻成型,有时被称为SLA(Stereolithography Apparatus).光固化快速成型工艺是最早发展起来的快速成型技术.它是机械工程、计算机辅助设计及制造技术(CAD,cAM)、计算机数字控制(CNC)、精密伺服驱动、检测技术、激光技术及新型材料科学技术的集成.     

基于有效面积作用的膜盒式压力比敏感元件设计

为研究膜盒作为压力比敏感元件对航空发动机控制系统整体性能的影响,对1种航空发动机的气动式防喘放气活门结构和工作原理进行了分析,提出了膜盒式压力比敏感元件的概念。以力平衡方程为基础建立了敏感元件膜盒的简化物理模型,给出了不同压力比膜盒的结构参数设计方法。结果表明：膜盒有效面积比参数与压比参数呈反比关系,改变膜盒的有效面积比即可调整工作压比。根据该方法设计的不同压比膜盒已在多型发动机防喘放气活门中应用。