光纤外差干涉位移传感器

非接触式光纤外差干涉位移传感器是将半导体激光器线性调频技术和光纤传感技术相结合制成的1种新型外差干涉仪。它的位移测量范围可达26mm，分辨率为0．02μm；对不同材料、不同粗糙度的对象面，有着几乎相同的测量灵敏度和测量精度；探头和对象面无需严格垂直。     

激光干涉技术在振动冲击中的应用

振动冲击计量标准中采用激光干涉仪作为量值溯源工具，本文就振动冲击实验室应用的两类干涉仪从光学原理方面进行一些简单的分析对比。给出了二者之间的一些相同和类似点。     

激光外差干涉仪光电信号处理方法及特点

叙述和分析了外差激光干涉光电信号处理主其特点，指出了它们各自的应用范围，同时介绍了一处新型的光电信号处理方法，它不仅使外差干涉仪用于动态测量，而且可以同时实现高分辩率测量 。     

光干涉技术在纳米精度测量中的应用及发展

分析了几种应用于纳米精度测量的光干涉技术工作原理、应用限制及研究现状,包括X射线干涉仪、干涉仪及激光外差干涉技术。     

纳米计量与分子坐标测量机系统设计（1）

从纳米计量学与纳米计量测试的基本概念和基本要求出发，参考有关国外文献，编译了这篇文章，介绍纳米计量学和分子坐标测量机的研究成果。对从事这方面研究的科研人员具有一定的参考价值。文章中首先讨论纳米计量学的概念及其测量不确定度标准，实现，纳米计量的手段－建立分子坐标测量机；叙述了分子测量机设计概念和原则；并于分子测量机机械设计，主要讨论了隔离机械振动，热源，声振动等，二维导轨结构，探针安装结构选择等；计     

三坐标测量机运动精度的描述

参考机床爬行的描述方法,对三坐标测量机的运动精度进行了分析。用激光干涉仪对某一轴的运动精度进行了测量,指出了此时影响运动精度的因素。提出了改进移动桥式三坐标测量机设计的措施。为移动桥式三坐标测量机实现高速测量状态下的高精度提供了依据。     

激光跟踪计测系统简介

三坐标测量机在世界上发展了近20年，目前已有多种型号，但其基本形式为桥式移动型，在构造上趋于成熟，近年来变化较小，研究的主攻方向是为了提高精度而制造出能够快速移动、轻且稳定的构件。但是轻和高精度是相互矛盾的2方面，追求刚性高而轻的构件困难很大，不仅成本昂贵，还给精度的进一步提高带来限制，因此，现有三坐标测量机在原理上，阻碍了精度的进一步提高。为此，约在5年之前，日本东京精密（株）与计量研究所共同协作，在利用光导纤维的激光干涉仪研究成果基础上，进行了激光跟踪计测系统的构思，日前终于完成了使用激光干涉仪…     

移动桥式三坐标测量机Z轴运动的动态误差

分别从理论上和实验上对移动桥式三坐标测量机Z轴运动的动态误差进行了分析,对Z轴进行了力的分析。用激光干涉仪对Z轴运动时的主要动态误差进行了测量,指出了此时影响动态误差的因素。提出了改进移动桥式三坐标测量机设计的措施,为移动桥式三坐标测量机实现高速测量状态下的高精度提供了依据。     

光学坐标测量机在叶片型线测量中的应用

为了高效精确地完成叶片不同截面上型线的测量,应用激光三角法测头、测头座以及三坐标测量机框架等搭建了非接触式的光学坐标测量机,可以实现叶片型线的快速扫描测量。在测量过程中,将激光测头通过PH10M测头座安装在三坐标测量机的Z轴上,并通过测头外参数标定技术与坐标系转化技术等将激光测头的一维距离值转化为被测点的三维坐标值,进而实现被测叶片型线三维点云的创建。最后,应用所搭建的光学坐标测量机对金属球的直径和叶片的截面型线进行扫描测量实验,能够满足使用需求。     

两米光栅——线纹自动测量仪（一）

描述了一台能够对长度达１ｍ的线纹尺和长度达２ｍ的光栅尺（线位移传感器）进行测量的激光干涉仪，干涉仪设计成了双干涉光路系统，以消除光栅尺安装引入的阿贝误差，这台测量仪采用干涉条纹计量原理，对光栅尺和线纹尺的线值精度进行检测，并能对光机信号的质量进行评价。测量过程中，对空气折射率实现了实时修正。     

一等环规测量仪的研制

一等环规测量仪是将激光干涉仪测长技术、静态光电显微镜瞄准技术和精密微位移定位技术作为主体测量技术，以上三项技术的有机结合使该仪器的测量不确定度达到了国际法制计量组织(OIML)规定的一等环规的测量要求。     

高速精密激光干涉测量的研究现状及其关键技术

总结了高速精密激光干涉测量的研究现状；分析了影响测量精度和提高测量速度的主要因素及解决问题的关键技术，包括激光稳频技术和光学反馈、精度与测速的制约关系、空气折射率的影响及补偿、电子细分技术、光学非线性误差等     

基于三频外差法的异构铸件三维测量系统

惯性平台中的台体和本体均为复杂异构铸件,目前多采用人工划线法建立多个基准来进行测量,效率和精度低,易漏检误检。基于多频外差法的三维光学测量系统已广泛应用于航空、航天等制造领域,根据被测铸件异构的特点,结合双目视觉和相位光栅法较高的检测效率和精度,搭建了一套三维测量系统。首先通过平板标定法得到系统的固定参数和可变参数,然后利用数字光栅投影仪向被测零件表面投射三套不同频率的相移条纹图,相机同步采集变形条纹图,再利用四步相移和三频外差法得到周期为1的相位分布,以此为基准展开得到连续分布的绝对相位,结合极线约束和相位匹配重建出被测零件的三维点云数据,最后在三维软件中完成点云处理、曲面重构和三维测量。实验结果表明,系统的绝对测量精度小于0.1mm,能够实现异构铸件的三维尺寸测量,具有较高的检测效率。     

基于高精度光纤干涉仪的世界时测量技术研究

世界时是以地球自转运动为参考的时间计量系统,在空间飞行器的轨道坐标转换中起到重要的作用。综述了空间飞行器的精密定轨对世界时测量精度的需求,对现有空间大地测量方法、大型激光陀螺仪、大型光纤干涉仪等测量世界时的现状进行了分析,阐述了基于高精度光纤干涉仪的世界时测量方法需重点解决的关键技术。对所实现的大型高精度光纤干涉仪及其世界时测量系统进行了试验验证,连续15天的测试数据表明,采取了定向测量误差消除方法后,光纤干涉仪的零偏稳定性达9.7×10^-7(°)/h(1h, 1σ),测量系统解算的世界时标准偏差为1.5ms,经IERS比对及验证,测量系统的世界时测量误差小于7ms。最后,对基于高精度光纤干涉仪的世界时测量精度以及其他地球参数测量进行了展望。     

超音速卡门涡街的实验研究

在一块粗糙平板的超音速尾流中(M数2.2),产生了卡门涡街。用光学方法研究了超音速卡门涡街。速度和速度扰动用多普勒激光测速仪测量。流场显示采用纹影和干涉法。尾流中的密度扰动用与高速照相机相连的马赫-蔡德干涉仪测量。涡的分离频率由激光干涉仪测量。 与在相同流动条件下光滑平板后的湍流尾流比较,涡街尾流较宽,平板底部压力较小。涡街的形状因子h/l为0.37,大于不可压流中圆柱体后涡街中的值。涡街的Str数为0.22。文中还讨论了边界条件对涡街的影响以及涡街与斜激波的相互作用。     

98美国质量设备展回顾②

OG2000测量系统由于采用了NIST可示踪校准棒，因此避免了系统校准错误的发生，使测量结果真实可靠。·测量仪器及CMMZeiss公司展出了品种型号众多的计量产品，其中包括首次在美展出的新型Vista坐标测量机。据公司介绍，自其6年前推出后，公司已向用户交付Eclips坐标测量机1000台、此外，公司还展出了其改进型PRISMO10坐标测量机。这种测量机在PRISMOVAST扫描系列坐标测量机中是最大的。其各轴向上的精度ul＝1．9＋L／300μm．由X、Y，Z三轴构成的测量空间为47＂×（70＂～118＂）×39＂，是用于测量大型零部件的扫描测量系统中…     

一种新型的精密动态角度测量系统

提出了一种用于精密角度测量的新型干涉仪。使用普通的０．６３２８μｍ氦－氖激先器，采用声光调制、光外差干涉、电信号沉频、比相技术进行动态角度的精确测量。干涉仪结构简单、调整方便、使动态测角技术更具有实用性。     

充分合理地利用现有光栅系统的一种新途径——光栅信号波形削顶的实验研究

为了提高计量光栅的分辨率.目前国内外通常采用电气细分,如:电阻链分相、电阻链幅值分割等方法,使用两路相位差为π/2电角度或三路相位差分别为(2π)/3电角度的正弦信号。为了保证细分的均匀性,减小电气细分的误差,采用了诸如“光学滤波器”等措施,来提高光栅信号波形的正弦性,并对光栅系统的光机电调整和使用等提出了较高     

机床线性轴多自由度运动误差在线测量方法

激光多自由度误差测量方法常被用于测量机床运动误差。半导体激光器由于体积小、成本低等优点,常被作为激光多自由度误差测量系统的光源。但是,大气扰动和测量系统的变形将导致半导体激光器的出射光束产生漂移,影响测量系统的稳定性。同时,由于半导体激光器的发光特点,其光斑常为椭圆形,从而制约了以半导体激光器为光源的激光多自由度误差测量系统的测量精度。因此,提出了基于双反射镜的光束漂移自动抑制方法,对半导体激光的光束漂移进行实时测量和补偿;同时提出了光束整形方法,在不加入其他光学元件的同时,修正半导体激光器的光斑形貌。在此基础上,设计并搭建了半导体激光多自由度运动误差测量系统。通过试验可得,测量系统水平直线度误差信号、竖直直线度误差信号、偏摆角误差信号和俯仰角误差信号的稳定性由光束漂移抑制前的6.9μm、6.7μm、5.4arcsec和4.6arcsec提高到光束漂移抑制后的5.5μm、2.5μm、1.3arcsec和1.7arcsec;直线度误差测量精度优于1.9μm,角度误差测量精度优于1.6arcsec。     

DPIV技术在超声速自由涡气动窗口研究中的应用

超声速自由旋涡气动窗口是利用超声速自由旋涡射流来密封高能激光器低压的激光腔，了解气动窗口的流场结构对提高其气动性能和光学性能是非常重要的。本文采用纳米材料作为示踪粒子，开发了超声速流场的DPIV测试技术，并应用于超声速自由旋涡气动窗口的流动显示和测量。测量的最大流场马赫数为4．21，得到了气动窗口的启动过程和剪切层非线性快速增长的流动图画，获得了超声速自由旋涡射流及其诱导流动的速度场。