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液压主轴的温度变化与超精密加工 总被引:1,自引:0,他引:1
张普星 《航空精密制造技术》1999,35(4):3
分析了液压主轴的发热及其所带来的加工精度的变化,提出了超精密加工中消除其影响的措施。 相似文献
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不同转速下超精密车床主轴轴向振动的实验研究 总被引:2,自引:0,他引:2
针对HCM-Ⅰ型超精密车床,进行了主轴轴向振动随电机转速变化规律的实验研究,不同转速下主轴轴向振动信号的傅立叶(FFT)谱表明,主轴系统与电机同频振动,在转速为700~800r/min时振动最大,该转速范围之外的主轴轴向振动幅值随转速的提高而增大。 相似文献
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在超精密加工中,机床主轴的动不平衡和振动成为限制加工精度进一步提高的关键技术。文章紧密结合近几年的技术发展,介绍了在线动平衡的基本原理,并从机械设计的角度对各种自动平衡装置进行分类,综述了在线动平衡装置的基本原理,优缺点、发展现状及应用前景。 相似文献
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本文介绍了超精密车床液体静压主轴环境动态测试系统的用途。设计了系统的总体方案,详细介绍了硬件电路,并基于Measurement Studio软件包和DAM3000M接口开发了测控软件。 相似文献
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超精密空气主轴的刚度是超精密主轴的一个非常重要的指标,轴承的结构形式、气膜结构参数均对刚度指标有影响.本文通过工程计算得到气膜刚度等参数后,在特定空间尺寸和重量的限制条件下,基于有限元进行Nanosys-600F五轴超精密机床的气浮主轴(C轴)机械结构设计,通过多次分析,得到了气浮主轴(C轴)最佳综合刚度结构参数. 相似文献
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超精密车床主轴回转误差运动的动态测试 总被引:12,自引:0,他引:12
介绍了两点误差分离法动态测试超精密车床主轴回转误差运动的方法,建立了数学模型并进行了仿真,研制了测试系统。实验表明该测试系统操作方便,性能稳定,测试精度良好。 相似文献
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直线电机在超精密加工技术中的应用和发展 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了目前国内外直线电机技术在超精密加工技术中的应用和发展情况,指出直线电机所具有的高动态性能、高精度和免维护的特性是传统旋转电机无可比拟的;在超精密加工中,应用直线电机驱动技术正成为国内外的研究热点和发展趋势. 相似文献
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通过试验对超精密车削压电陶瓷微量进给机构进行了研究。文中分析了压电陶瓷的微位移特性,给出了整个机构的设计方法和性能.试验结果表明,该微量进给机构的分辨率达到0.025μm,频响范围0~200Hz,能够满足超精密车削的需要. 相似文献
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超精密光学抛光研究的进展及其发展趋势 总被引:6,自引:0,他引:6
综述了对精密光学抛光影响精度和质量的因素,对重要因素目前的研究进展进行了分析;介绍了新型超精密光学抛光技术及其达到的水平;还提出了精密先学抛光的发展趋势. 相似文献
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吴明根 《航空精密制造技术》1993,(2)
名古屋工业技术研究所SP46型非接触式研磨机,研磨盘与工作轴以20~200r/min的转速作同向、高精度旋转,工作悬浮在研磨盘上,在研磨液的化学作用及微细粉末粒子的撞击下产生研磨作用。轴系皆采用液体动静压轴承,可加工Φ170mm的工件。该机可加工出表面粗糙度为2nm的硅片,加工Φ100mm、厚度为30mm的BK7光学玻璃,平面度为0031μm,表面粗糙度(均方根偏差)可达0.0038μm。特别适合微电子功能材料及光学平面的超精密加工,具有广阔的应用前景。 相似文献
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