微机电系统的国防应用及制造技术发展述评（上）

微机电系统技术是国示上８０年代后期以来发展迅速的一项新兴高技术，现在和潜在应用说明它将对国防武器装备产生重大影响，微机机械制造技术和封装，组装，测试技术是微机电系统赖以发展的基础，目前，许多工业发展发达国家已将微机电系统及其制造技术列为本世纪末和２１世纪初国家重点支持和发展的关键技术，本文集中对国防应用有重要意义的微机电系统及其制造技术。     

微机电系统的国防应用及其制造技术发展述评（下）

微机电系统的国防应用及其制造技术发展述评（下）中国航空信息中心饶勤４微机械制造技术的发展及应用１．微机械制造技术及其应用（１）辅助加工技术包括金刚石微细切削、电火花加工和化学铣削等工艺，这类工艺能以较大的灵活性和较快的速度加工出形状多样的、尺寸在１０...     

微光机电系统制造工艺综述

重点阐述了微光机电系统(MOEMS)的基本制造工艺:硅微机械加工技术和LIGA技术,并介绍了几种典型的工艺应用。最后对其发展进行了展望。     

精密超精密加工技术在微机械制造中的应用

随着微机电系统的发展,微机械零件的材料应用领域不断扩大,结构形状也从二维、准三维提高到三维复杂结构,相应的微机械制造技术也随之发展,并在微机械零件制造中得到了应用。     

微机电系统MEMS仿真与建模

微机电系统是源于微电子加工技术,融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。微机电系统融合了力、电、流体、光、磁、热等多个物理域,随着建模与仿真技术的迅速发展,研究有关微机电系统建模与仿真的基本理论和方法。     

具有集成光学敏感的微机电振动惯性传感器

设计和制造微机电系统（ＭＥＭＳ）是全球日益关注的新技术。这一新兴的工程领域的技术目的是实现有微机电相关集成的微机械系统。在众多的新颖应用中,惯性敏感器件成为一个倍受关注的领域和研发热点。大多数的工作集中于振动惯性敏感器件,其中,传感器的动态运动依惯性测量参数的不同而变化。     

微扑翼飞行器驱动机构的设计与动态特性研究

微扑翼飞行器是一种新概念的飞行器,在应用技术上它超出了传统的飞机设计和气动力的研究范畴,同时开创了微机电系统技术(MEMS)在航空领域的应用。微扑翼驱动机构的设计、制作及其动态特性研究是飞行器设计中的关键环节。本文的研究对象是一个静电驱动的胸腔式微扑翼机构,由于这种结构存在着强烈的静电和机械两个物理场的非线性耦合,因此系统的动态特性是非常复杂的。本文从理论上分析了系统奇点的存在与稳定性;在相空间中分析了无阻尼及有阻尼系统的非线性动态特性;研究了初始条件和阻尼对临界拉入电压的影响;最后分析了在不同激励电压信号下系统的响应。所得研究结论对微扑翼驱动机构的设计、制作和应用提供了一定的理论依据。      

新型微光机电系统惯性测量技术研究进展

微惯性测量单元(MIMU)是惯性导航系统(INS)的核心组件,亦是构建微定位导航授时(μ-PNT)系统的重要组成部分。当前成熟的微惯性测量单元主要基于微机电系统(MEMS)实现,其性能逐渐难以满足新型无人驾驶车、无人飞行器以及制导弹药、航空航天器等军民用领域对高精确惯性导航的需求。近年来,各种新型微惯性测量技术相继被提出,以期望突破微惯性测量单元的性能与尺寸、质量、功耗(SWaP)之间相互制约的关键技术难题。系统总结了近年来国内外在常规MEMS惯性测量技术以及新型微光机电系统(MOEMS)惯性测量、微腔光力惯性测量、量子精密测量等几类新型惯性测量技术方面的研究进展,展望了未来新型高精度惯性测量技术的发展趋势,并提出了一种基于腔光力系统的量子增强型惯性测量技术构想。     

航空微机电系统非硅材料微纳加工技术

随着对航空飞行器智能控制的迫切需求,硅基微机电系统MEMS(Micro-electromechanical Systems)传感器和执行器难以满足飞行器恶劣的运行环境,因而以碳化硅、氮化铝等为代表的多种MEMS特种材料被不断研究和使用.概述这些特种材料的机电特性有利于缩小特种传感器研发的材料选择范围;而针对兼具机械和电学两方面应用的碳化硅、氮化铝和聚合物前驱体陶瓷开展微纳加工技术的综述,有利于全面了解这3种材料的成型成性关键工艺,进而揭示从航空特种材料到MEMS器件的加工技术发展规律,为普遍使用电信号的航空特种传感器的研发提供加工手段借鉴.     

旋转调制微机电惯性系统方案研究

微机电惯性系统具备小体积优势，但现阶段系统精度仍在消费级与战术级之间。研究了旋转调制技术在微机电惯性系统中的应用，探讨了基于PCB小型化电机的微旋转方案，并开展了单轴旋转调制验证试验，以探索旋转调制技术对微机电惯性系统性能的提升作用。结果表明，在微机电陀螺精度约为2(°)/h的条件下，该方案能够实现约0.2n mile/10min的导航精度，相较于同等惯性器件条件下的捷联式系统，精度提高了不止1个数量级，证明了该方案能够有效提高微机电惯性系统的精度。     

微纳制造技术的发展现状与发展趋势

微纳技术一般指微米、纳米级(0. 1-100nm)的材料、设计、制造、测量、控制和产品的研究、加工、制造以及应用技术.在基础科研以及制造行业中,微纳制造技术的研究从其诞生之初就一直牢据行业的尖端位置. 那么,我国的微纳制造技术研究现状怎样?面临着哪些急需解决的问题?微纳制造技术属于高、精、尖技术研究,与普通百姓的生活有没有关联?微纳制造技术研究对于我国的国防科技工业有什么重大意义?     

航空制造技术发展趋势

本文针对国外先进航空产品发展需求,对航空产品研制及生产中所应用的数字化设计/制造技术、复合材料构件制造技术、大型结构件数字加工/成形技术、高温复杂结构件制造技术、先进连接与装配技术、超精密加工及微系统制造技术、特种加工技术、表面工程技术以及无损检测技术的发展趋势进行了分析和总结。     

序言

<正>微系统技术融合了微电子、 MEMS和微光子技术,通过系统架构和软件算法,将传感、通信、处理、执行、能源等功能单元,采用微纳制造及工艺方法实现微纳尺度的软、硬件多功能一体化集成。微系统技术采用的新材料、新方法、新工艺带来了高集成度、微小型化、低功耗、高可靠性、高效率等优点,作为新世纪科技制高点的颠覆性技术之一,具有重大战略意义和巨大发展前景。21世纪以来,微系统技术逐步从理论研究走向实用化,将自动化、智能化和可靠性水平提升到一个新的高度,在工农业、信息、环境、生物工程、医疗、空间技术和国防产生了重大影响。我国相关高校及科研院所对微系统技术的科学研究及应用制造高度重视,开展了许多相关的关键技术研究。     

航空军工企业实行先进制造技术的必然性探讨

航空军工企业要提高研制和生产水平，必须实现制造业信息化，必须发展以信息技术为核心的先进制造技术。积极应用先进制造技术是航空装备战斗力的生成因素，是装备委托方关注的焦点，是国力和国防的后盾。航空军工企业应用先进制造技术，应结合我国国情落实“六坚持”的发展原则。     

超精密加工技术在新形势下面临的任务

国防武器装备系统的需求推动了超精密加工技术的发展,本文首先从描述当今先进武器系统装备的特点出发,介绍了超精密加工技术在其中的应用。并在此基础上提出了我国超精密加工技术的发展思路以及近期面临的重要研究课题。     

航空机电系统技术发展综述

文中总结了国际航空机电系统技术研究现状,以美国为代表的国际先进飞机研发体系,将机电系统技术提升至与飞机平台技术并重的地位,将综合推进、能源与热管理技术列为核心技术领域,持续开展了MEA、INVENT、INPPAT、AVEM、NGT-PAC等一系列面向机电领域的重大技术专项和演示验证计划;梳理了系统架构综合化、能源利用多电化、能量管理高效化的机电系统技术发展趋势;展开了机电系统技术研发思考,提出了强化机电系统技术发展规律和需求认识、升级机电系统技术基础研究,和仿真验证能力是引领机电系统技术发展的2个关键方向。     

微机械与微/纳米科技的研究及其发展趋势

重点论述了微机械的概念、特点、研究概况和微机械的加工制造技术-微细加工技术。阐述了微机械与微／纳米科技、微电子技术之间的相互关系．分析了微机械研究的发展趋势并着重对航空航天领域内的有关研究给予展望．     

芯片级光钟技术综述

芯片级光钟是一种基于热原子中光频跃迁的新型光钟,近年来随着光子集成技术、激光技术和微机电技术的发展,该类光钟可以实现较小的体积和较高的精度,有望广泛应用于对体积、质量、功耗和精度敏感的各种国防装备中.介绍了国内外芯片级光钟技术的进展情况,阐述了芯片级光钟的相关技术,包括基于双光子跃迁的光频标技术、微制造气室技术和微腔光频梳技术等,分析了影响频率稳定度和准确度的主要因素,最后对芯片级光钟面临的机遇和挑战进行了简要的展望.     

携手同行 共创未来——2014 LMS中国用户大会在深圳成功召开

LMS,A Siemens Business,作为西门子PLM的一个成员,多年来通过其领先的机电一体化仿真解决方案、试验解决方案及工程咨询服务的独特组合,帮助客户将更好的产品更快地投入市场.凭借技术上的不断创新,LMS解决方案持续引领全球CAT、CAE技术的发展.随着国内制造产业技术的日新月异,LMS解决方案已广泛应用于系统动力学、声音品质、舒适性、耐久性、安全性、能量管理、燃油经济性和排放、流体系统、机电系统仿真等关键性能的开发和研究.基于全面和独特的测试和机电系统仿真解决方案,以及专业的工程服务,LMS现已成为航空航天、汽车、船舶、国防、能源、电子、工程机械、机床以及其他领先机电制造业深受欢迎的工程创新合作伙伴.     

2021年国外惯性技术发展与回顾

对2021年IEEE惯性传感器与系统会议、MEMS国际会议、圣彼得堡组合导航会议等惯性技术相关会议文献,以及惯性技术领域相关机构披露的动态信息进行详细梳理。总结了光学陀螺、微机电(MEMS)陀螺、半球谐振陀螺(HRG)、原子陀螺和加速度计等惯性仪表及惯性系统的发展现状,并对惯性技术领域的发展动向进行了剖析与展望。