| 透明导电氧化物薄膜的抗伽马辐照性能研究 |
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| 作者姓名： | 欧阳琪 王文文 郝维昌 |
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| 作者单位： | 北京航空航天大学物理科学与核能工程学院，北京100191 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(50902006); 航空科学基金(2012ZF51006) |
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| 摘 要： | ![]()
利用射频磁控溅射法制备出具有良好光电性能的In2O3: W（IWO）薄膜，与购置的In2O3: Sn（ITO）薄膜一起，在伽马射线地面加速模拟试验设备中进行辐照试验。对辐照前后两种薄膜样品的微观结构、表面形貌、光电性能和元素价态进行对比分析，并用正电子湮没方法研究辐照前后的缺陷情况。结果表明，伽马射线辐照可引起ITO及IWO薄膜样品中氧空位缺陷的少量增加，且缺陷主要产生于薄膜表层及薄膜与基底界面结合处。高能伽马光子作用于透明导电氧化物薄膜，主要通过破坏其内部结合能较低的化学键，并实现薄膜系统中元素之间的选择性重组。ITO与IWO具有良好的抗伽马辐照性能，IWO相比ITO更适合于抗伽马辐照相关应用。
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| 关 键 词： | In2O3:W薄膜 In2O3:Sn薄膜 ,伽马射线 ,光电性能 ,正电子湮没, |
| 收稿时间： | 2016-12-29 |
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