| Ka波段MEMS分布线式移相器特性的仿真研究 |
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| 引用本文： | 甄可龙,吕善伟,张龙,张岩.Ka波段MEMS分布线式移相器特性的仿真研究[J].宇航计测技术,2011,31(1):12-16. |
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| 作者姓名： | 甄可龙 吕善伟 张龙 张岩 |
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| 作者单位： | 1. 北京航空航天大学,北京,100191
2. 中国空空导弹研究院,洛阳,471009 |
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| 基金项目： | 航空科学基金资助，国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 在理想共面波导CPW（coplanar-waveguide）上周期性加载微电子机械系统MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）开关,实现了4位Ka波段分布线式DMTL（distributed MEMS transmission line）移相器的建模和仿真。通过改变驱动电压来调整MEMS桥的高度,从而改变CPW的相速达到实时延迟。并采用HFSS全波分析和ADS电路分析工具,经仿真计算表明在38GHz以下移相器具有良好的移相精度（3°）、较低的插损（S21在-10dB以下）及回波损耗（S11〈-4dB）,在弹载相控阵收发组件上具有较大应用价值。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 移相器 Ka波段 |
Simulation of a Ka-Band Phase Shifter Using Distributed MEMS Transmission Line Structure |
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| ZHEN Ke-long,LV Shan-wei,ZHANG Long,ZHANG Yan.Simulation of a Ka-Band Phase Shifter Using Distributed MEMS Transmission Line Structure[J].Journal of Astronautic Metrology and Measurement,2011,31(1):12-16. |
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| Authors: | ZHEN Ke-long LV Shan-wei ZHANG Long ZHANG Yan |
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| Institution: | ZHEN Ke-long1LV Shan-wei1ZHANG Long2ZHANG Yan1 (1.Beihang University,Beijing 100191,2.China air-borne missile academy,Luoyang 471009) |
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| Abstract: | The 4-bit Ka-band DMTL（distributed MEMS transmission line） Phase-Shifter design consists of a CPW（coplanar-waveguide）transmission line modeled on 100μm GaAs substrate,with MEMS bridge capacitors placed periodically over the transmission line.By changing the height of the MEMS bridge,the CPW line can vary the phase velocity to yield a true time delay phase shift.The full wave simulated results demonstrate that below 38GHz,S11 and S21 can achieve below-10dB and high-4dB respectively,with smaller than 3° phase shifter error. |
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| Keywords: | MEMS Phase-Shifter Ka-band |
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