| 补偿式光纤双法布里—珀罗微位移测量系统 |
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| 引用本文： | 朱若谷.补偿式光纤双法布里—珀罗微位移测量系统[J].宇航计测技术,1994,13(2):1-4,19. |
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| 作者姓名： | 朱若谷 |
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| 作者单位： | 中国计量学院 |
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| 基金项目： | 国家技术监督局资助项目 |
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| 摘 要： | 提出了一种能补偿环境影响的、插入光纤传光介质的新型微位移测量系统，介绍了其灵敏度的测量结果。由于采用并行双通道的结构，系统具有高准确度、抗干扰等特点。该系统适合于微位移（纳米级）测量，可用于检定其它高准确度位移传感器、几何量定位、微细加工表面轮廓测量以及转换成微位移量或光程差的其他物理量的测量。
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| 关 键 词： | 位移测量，法布里─珀罗谐振腔，光纤，测量方法 |
A double Fabry-Perot system for measuring micro-displacement with compensatingoptic fibre |
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| Zhu Ruogu.A double Fabry-Perot system for measuring micro-displacement with compensatingoptic fibre[J].Journal of Astronautic Metrology and Measurement,1994,13(2):1-4,19. |
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| Authors: | Zhu Ruogu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Displacement measurement Fabry-Perot resonator Optic fibre Measurement method |
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