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93k集成电路测试系统校准原理及实现方法研究
引用本文:贺志容,石坚,韩红星.93k集成电路测试系统校准原理及实现方法研究[J].宇航计测技术,2009,29(3):66-69.
作者姓名:贺志容  石坚  韩红星
作者单位:武汉数字工程研究所,湖北,武汉430074
摘    要:介绍了93k集成电路测试系统棱准原理与实现方法,讨论了校准过程中的量值传递关系;以HPP-MU为例,给出了量值传递的实现过程,并分析了93k校准原理与方法在确保量值准确、一致性上的优点。

关 键 词:校准  基准  内部参考源  中间参量  系统参量

Research on Principle and Method of Calibration on 93k IC Test System
HE Zhi-rong,SHI Jian,HAN Hong-xing.Research on Principle and Method of Calibration on 93k IC Test System[J].Journal of Astronautic Metrology and Measurement,2009,29(3):66-69.
Authors:HE Zhi-rong  SHI Jian  HAN Hong-xing
Institution:( Wuhan Digital Engineering Institute, Hubei Wuhan 430074)
Abstract:Describes the principle and method of calibration on 93k IC test system,and discusses the relations of dissemination of the value of a quantity. It also takes HPPMU for example to illuminate the process of dissemination of the value of a quantity, finally analyses the advantages of the presented method for calibration on 93k IC test system.
Keywords:Calibration Premier standard Internal reference Interim parameter System pa-rameter
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