在工具显微镜上进行干涉条纹瞄准法的研究

干涉条纹瞄准是非接触尺寸测量的一门技术。作为一种新的瞄准方法,它不仅保持了普通接触式和非接触式瞄准的优点,而且显示出更好的性能和更高的精度。本文介绍了这种方法的基本原理,理论分析和实验总结。另外还就在工具显微镜上运用这种方法的一些具体问题作了说明。由于这种瞄准方法的精度高、成本低并且易于掌握它,在提高测量精度方面开始成为引人注目的新方法。