光纤型白光干涉仪光程差的超分辨率识别 |
| |
引用本文: | 侯成城郑光金尚福洲高业胜.光纤型白光干涉仪光程差的超分辨率识别[J].宇航计测技术,2023(3):72-77. |
| |
作者姓名: | 侯成城郑光金尚福洲高业胜 |
| |
作者单位: | 1.中国电子科技集团公司第四十一研究所266000; |
| |
摘 要: | 提出了一种白光干涉仪干涉信号超分辨率识别的方法。白光干涉信号之间的光程差小于相干长度(通常为50μm)时会发生叠加,叠加导致信号形状发生畸变无法区分。首先从理论研究推导出重叠引起的干涉信号面积变化大小与光程差之间的关系,然后利用重叠导致的面积变化推导出信号真实的光程差从而到达超分辨率识别的目的。实验设计制造并识别了光程差为15μm左右的干涉信号,证明了该方法具有提升3倍分辨率的可行性。将有利于提高光程差绝对测量的分辨率。
|
关 键 词: | 白光干涉仪 超分辨率 相关长度 低相干 光程差 |
本文献已被 维普 等数据库收录! |
|