| 基频160MHz离子刻蚀晶体谐振器 |
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| 引用本文： | 李丕宁,计远.基频160MHz离子刻蚀晶体谐振器[J].宇航计测技术,1994,13(5):38-41,46. |
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| 作者姓名： | 李丕宁 计远 |
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| 作者单位： | 航天工业总公司二院２０３所 |
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| 摘 要： | 叙述了用新的加工工艺－离子刻蚀减薄技术制成的６０～１５０ＭＨｚ超高频基频卫星用晶体谐振器，论述了新的工艺过程及产品技术性能。
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| 关 键 词： | ~＋离子刻蚀晶体谐振器，基频，工艺 |
160MHz base frequency ion etching crystal resonators |
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| Li peining,Ji Yuan.160MHz base frequency ion etching crystal resonators[J].Journal of Astronautic Metrology and Measurement,1994,13(5):38-41,46. |
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| Authors: | Li peining Ji Yuan |
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| Institution: | Li peining;Ji Yuan |
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| Keywords: | Ion etching Crystal resonators Base frequency Technology |
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