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| 半球谐振子镀膜残余应力对品质因数影响特性分析 | |
| 作者姓名： | 楚建宁 朱蓓蓓 秦 琳 刘 青 兰 洁 陈 肖 许剑锋 |
| 作者单位： | 华中科技大学 机械科学与工程学院;上海航天控制技术研究所 |
| 基金项目： | 装发部十三五共用技术预研项目（2017-2020） |
| 摘 要： | 针对半球谐振子表面金属薄膜残余应力分布情况，对半球谐振子Q值的影响特性进行仿真。根据仿真结果，采用多自由度磁控溅射及基底均匀加热的方法进行薄膜沉积工艺试验。控制多自由度旋转机构自传、公转、摆动参数分别为7(r/min)、12(r/min)、15(°)/s，基体均匀加热至120℃，溅射时间26min后得到100nm左右的膜层厚度。在真空状态下对半球谐振子镀膜后品质因数进行检测，结果表明可有效控制镀膜后Q值衰减不大于30%。 |
| 关 键 词： | 半球谐振陀螺 多自由度转动机构 谐振子镀膜 Q值仿真 残余应力。 |
Character Analysis of the Influence of Coating Residual Stress on Quality Factor for the Hemispherical Resonator |
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| Authors: | CHU Jiannning ZHU Beibei QIN Lin LIU Qing LAN Jie CHEN Xiao XU Jianfeng |
| Institution: | School of Mechanical Science & Engineering, Huazhong University of Science and Technology;Shanghai Aerospace Control Technology Institute |
| Abstract: | |
| Keywords: | hemispherical resonator gyroscopes multi-DOF rotating mechanism coating of HRG simulation of Q factor residual stress |
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