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毫米波MEMS移相器及在相控阵中的应用
引用本文:傅佳辉,吴群,贺训军,孟建新.毫米波MEMS移相器及在相控阵中的应用[J].航空科学技术,2009(2).
作者姓名:傅佳辉  吴群  贺训军  孟建新
作者单位:1. 哈尔滨工业大学
2. 中国一航空空导弹研究所
摘    要:通过对MEMS移相器的分析,设计了一种采用绝缘介质层与锯齿形共面波导结构的新型毫米波MEMS移相器,有效提高了移相器的单桥相移量并降低了器件的反射损耗.设计了一种适合于分布式MEMS传输线移相器的芯片微封装结构和结构制备工艺,该器件的插入损耗、反射损耗和相移均达到最佳值,且相移量具有非常好的线性关系.

关 键 词:毫米波  移相器  相控阵

Millimeter-Wave MEMS Phase Shifter and the Applications in Phased Array
Abstract:
Keywords:MEMS
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