| 压电式微型合成射流器结构参数优化设计 |
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| 引用本文： | 沈丹东,马炳和,邓进军,苑伟政.压电式微型合成射流器结构参数优化设计[J].航空学报,2011,32(9):1755-1760. |
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| 作者姓名： | 沈丹东 马炳和 邓进军 苑伟政 |
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| 作者单位： | 西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室,陕西西安,710072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(50775188); 上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室开放基金~~ |
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| 摘 要： | 压电式微型合成射流器的结构参数对射流速度有极大影响,然而各结构参数的影响规律及程度无法用单因素考查法来确定.针对这个问题,采用正交分析法结合多域耦合数值模拟,研究了主要结构参数对射流速度的综合影响,对器件结构参数进行了优化.仿真结果表明:在所考查的参数范围内,喷口宽度、腔体宽度、压电片厚度对射流速度的影响较大,但三者的...
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| 关 键 词： | 微机电系统 微型合成射流器 正交分析法 多域耦合数值模拟法 结构参数优化 |
| 收稿时间： | 2010-12-10; |
Structural Parameters Optimization of Piezoelectric Micro Synthetic Jet Actuators |
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| SHEN Dandong,MA Binghe,DENG Jinjun,YUAN Weizheng.Structural Parameters Optimization of Piezoelectric Micro Synthetic Jet Actuators[J].Acta Aeronautica et Astronautica Sinica,2011,32(9):1755-1760. |
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| Authors: | SHEN Dandong MA Binghe DENG Jinjun YUAN Weizheng |
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| Institution: | SHEN Dandong,MA Binghe*,DENG Jinjun,YUAN WeizhengMicro and Nano Electromechanical Systems Laboratory,Northwestern Polytechnical University,Xi'an 710072,China |
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| Abstract: | The orthogonal method and multiple-domain coupling numerical simulation are used to explore the influence of structural parameters on piezoelectric micro synthetic jet velocity.As a precondition the orifice thickness,chamber height and diaphragm thickness are predefined for the sake of micromachining economy.The results show that the orifice width,chamber width and PbZrxTi1-xO3(PZT) thickness affect the jet velocity seriously.In the range of the test,the jet velocity decreases with increasing orifice width ... |
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| Keywords: | MEMS micro synthetic jet actuator orthogonal method multi-domain coupling numerical simulation structural parameter optimization |
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