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基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真
引用本文:霍鹏飞,马炳和,苑伟政.基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真[J].航空学报,2003,24(5):466-470.
作者姓名:霍鹏飞  马炳和  苑伟政
作者单位:西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072
基金项目:国家自然科学基金(50205022),863/MEMS重大专项基金(2003AA404017)资助项目
摘    要: 提出多端口组件网络方法对MEMS 进行建模与仿真, 建立了惯导MEMS 典型功能结构部件的参数化多端口组件模型, 联结组件模型形成网络构建了蟹腿式微加速度计的系统模型。用硬件描述语言作为编码工具, Saber 作为平台对该微加速度计模型进行了仿真分析。研究表明, 采用多端口组件网络可以实现M EMS 整体行为的快速仿真, 并能分析局部尺寸参数对系统性能的影响。与有限元分析相比较, 微加速度计系统模型仿真得到的检测方向的固有频率误差小于1.0%; 仿真结果表明梁的宽度变化对系统灵敏度有较大影响, 故需要尽量减小梁宽的加工误差。借助该模型还研究了系统对正弦及脉冲输入信号的响应特性。

关 键 词:传感器技术  系统级设计  多端口组件网络  微加速度计  建模与仿真  
文章编号:1000-6893(2003)05-0466-05
修稿时间:2003年6月4日

Modeling and Simulation of Micromachined Accelerometer Using Multi-Port-Element Network Method
HUO Peng-fei,MA Bing-he,YUAN Wei-zheng.Modeling and Simulation of Micromachined Accelerometer Using Multi-Port-Element Network Method[J].Acta Aeronautica et Astronautica Sinica,2003,24(5):466-470.
Authors:HUO Peng-fei  MA Bing-he  YUAN Wei-zheng
Institution:MEMS/NEMS Lab.; Northwestern Polytechnical University; Xi'an 710072; China
Abstract:
Keywords:transducer technology  system level design  multi-port-element network  micromachined accelerometer  modeling and simulation  
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