| 双光束补偿扫描系统 |
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| 引用本文： | 刘兴占,梁晋文.双光束补偿扫描系统[J].航空计测技术,1998,18(4):5-7,14. |
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| 作者姓名： | 刘兴占 梁晋文 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器系!北京市，100084，清华大学精密仪器系!北京市，100084，清华大学精密仪器系!北京市，100084，清华大学精密仪器系!北京市，100084，清华大学精密仪器系!北京市，100084 |
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| 摘 要： | 提出一种新的高精度大型平面扫描仪。利用双光束补偿系统，扫描头由一特殊光路组成。当入射光通过此光路后，产生对称输出的两束光。当入射光发生角漂或扫描头发生摆动时，输出的两束光对称上下漂移，其中心线保持不变，故扫描形成的基准面保持不变，从而大大提高了测量精度。经实验证明，测量精度优于2．5×10－6。
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| 关 键 词： | 双光束补偿 准直 大平面 扫描仪 平面度 |
System of scanning by Dual-laser beam Compensation |
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| Liu Xingzhan,Liang Jinwen,Chen Boyi , Hua Guoliang , He Shurong.System of scanning by Dual-laser beam Compensation[J].Aviation Metrology & Measurement Technology,1998,18(4):5-7,14. |
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| Authors: | Liu Xingzhan Liang Jinwen Chen Boyi Hua Guoliang He Shurong |
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| Institution: | Liu Xingzhan;Liang Jinwen;Chen Boyi ; Hua Guoliang ; He Shurong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Duel-laser beam comrensation Collimator Large plate Scanning Flatness |
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