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一种EFPI光纤压力传感器的结构分析及零点稳定性
引用本文:黄彩霞,张立喆.一种EFPI光纤压力传感器的结构分析及零点稳定性[J].航空计测技术,2014(2).
作者姓名:黄彩霞  张立喆
作者单位:中航工业北京长城计量测试技术研究所;
基金项目:中航工业技术创新基金项目(2009F30472)
摘    要:介绍了一种基于法布里-珀罗干涉原理的EFPI光纤压力传感器。详细分析了这种光纤压力传感器的原理、结构和解调方法;讨论分析了材料、结构以及制作工艺对零点稳定性的影响;探讨了传感器内部热应力的分布以及消除方法。该结构传感器在经历-40℃和400℃的严酷温度考验后,零点漂移小于3 nm。

关 键 词:EFPI  光纤压力传感器  F-P腔  稳定性  零点漂移
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