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平面等厚干涉仪中标准平晶平面度检定的误差分析

引用本文：	周铁.平面等厚干涉仪中标准平晶平面度检定的误差分析[J].航空计测技术,1989(1):17-20.

作者姓名：	周铁

作者单位：	不详

摘要：
关键词：	光学仪器干涉仪等厚干涉仪
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