| 激光辅助车削工艺参数对单晶硅表面质量的影响 |
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| 引用本文： | 郭彦军,杨晓京,姚同,康杰,李茂忠.激光辅助车削工艺参数对单晶硅表面质量的影响[J].宇航材料工艺,2023,53(6):64-68. |
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| 作者姓名： | 郭彦军 杨晓京 姚同 康杰 李茂忠 |
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| 作者单位： | 昆明理工大学机电工程学院，昆明 650500,昆明理工大学机电工程学院，昆明 650500,昆明理工大学机电工程学院，昆明 650500,云南北方光学科技有限公司，昆明 650217,云南北方光学科技有限公司，昆明 650217 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（51765027）；昆明理工大学分析测试基金资助项目（2020P20191103002） |
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| 摘 要： | 为了提高单晶硅激光辅助车削加工表面质量，通过开展激光辅助和常规车削加工试验，结合表面粗糙度、表面形貌及拉曼光谱检测，研究激光辅助车削技术对加工质量的影响。基于正交试验方法，研究单晶硅激光辅助车削工艺参数对表面粗糙度；通过方差分析和极差分析评估各因素对表面粗糙度的影响。研究结果表明：与常规车削相比，激光辅助车削可有效提高加工表面质量，降低材料表面的残余应力。主轴转速、进给速度、切削深度和脉冲占空比对表面粗糙度的贡献率分别为17. 51%、44. 48%、6.69%和14.70%。确定最佳加工参数组合如下：主轴速度为4 000 r/min，进给速度为2 mm/min，切削深度为5 μm，脉冲占空比为30%，最终获得表面粗糙度Rq为2.4 nm的高质量表面。
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| 关 键 词： | 单晶硅 激光辅助车削 正交试验 表面质量 最佳加工参数 |
| 收稿时间： | 2021/12/15 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2023/8/18 0:00:00 |
Effect of Machining Parameters on Surface Quality of Single Crystal Silicon in Laser-assisted Turning |
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| GUO Yanjun,YANG Xiaojing,YAO Tong,KANG Jie and LI Maozhong.Effect of Machining Parameters on Surface Quality of Single Crystal Silicon in Laser-assisted Turning[J].Aerospace Materials & Technology,2023,53(6):64-68. |
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| Authors: | GUO Yanjun YANG Xiaojing YAO Tong KANG Jie and LI Maozhong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Single crystal silicon Laser-assisted turning Orthogonal experiment Surface quality Optimal machining parameters |
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