氟化物电子气体 |
| |
引用本文: | 李连清.氟化物电子气体[J].宇航材料工艺,2003,33(2):38-38. |
| |
作者姓名: | 李连清 |
| |
作者单位: | 核工业理化工程研究院 022-490605-3668 |
| |
摘 要: | 氟化物电子气体是电子信息材料领域特种电子气体的组成部分,它包括掺杂剂、蚀刻剂和成膜材料,品种多,批量小,技术含量高。生产工艺通常包括粗品制备和深度纯化。 本成果研制的系列产品的生产工艺技术和分析技术有:电解制氟,碳型材料、氧化物或金属粉末直接氟化,氟氯碳催化技术,低温蒸馏和精馏;低温吸附分离,真空技术,配气技术,气相色谱分析,离子色谱和化学分析。
|
关 键 词: | 氟化物电子气体 电子信息材料 生产工艺 蚀刻气 |
本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录! |
|