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| Q表石英摆片加工工艺 | |
| 引用本文： | 李连清.Q表石英摆片加工工艺[J].宇航材料工艺,1996(3). |
| 作者姓名： | 李连清 |
| 摘 要： | Ｑ表石英摆片加工工艺本工艺包括用超声波机床将石英玻璃落料成形，经研磨和镜面抛光制出基片，再经化学腐蚀加工出柔性梁、ＣＯ２激光加工中心孔和修梁、基片真空镀制ＡｕＣｒ电极，最后光纤分档测试装表。本工艺难度大，乃多项高新技术与工艺技术的复合。其中超声波整体... |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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