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| 直流脉冲条件下铝金属化层的失效行为 | |
| 引用本文： | 何涛.直流脉冲条件下铝金属化层的失效行为[J].宇航材料工艺,1988(2). |
| 作者姓名： | 何涛 |
| 作者单位： | 北京材料工艺研究所 |
| 摘 要： | 铝和硅的热膨胀系数不同,在交变温度场的作用下,铝金属化层中产生交变压应力而使其产生表面再结构。铝条发生再结构后,由于塑性变形而变宽,表面上形成“皱纹”、“小丘”以及“晶须”等。这些均会导致器件的极间短路或断路。铝金属化层的表面再结构是一种潜在的损坏机制。 |
| 关 键 词： | 铝镀层 失效机理 |
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