真空磁过滤电弧离子镀法制备类金刚石涂层方法及性能研究 |
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引用本文: | 王秀兰%刘文言%刘洪源%张泰华.真空磁过滤电弧离子镀法制备类金刚石涂层方法及性能研究[J].宇航材料工艺,2002,32(6):52-54. |
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作者姓名: | 王秀兰%刘文言%刘洪源%张泰华 |
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作者单位: | 1. 航天材料及工艺研究所,北京,100076 2. 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室,北京,100080 |
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摘 要: | 采用真空磁过滤电弧离子镀方法,在GT35基体上沉积类金刚石膜。通过对清洗工艺及弧电流、工件所加负偏压、沉积温度等参数的研究,制定出了合理的工艺路线,并对这种膜层进行了X-射线光电子谱(XPS)分析,利用干涉仪、纳米硬度计对膜层的粗糙度、纳米硬度作了进一步检测。结果表明,采用此种方法制备的类金刚石膜层,SP^3含量约为40.1%;组织致密,无大的颗粒;镀膜后的粗糙度可以达到0.015μm;纳米硬度约为55GPa。并将膜层与TiN膜层组成摩擦副,进行了耐磨性试验。结果表明膜层的耐磨性较好。
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关 键 词: | 真空磁过滤电弧离子镀 类金刚石 耐磨性 涂层 制备 薄膜 |
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