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| 成果简介 | |
| 引用本文： | 李连清.成果简介[J].宇航材料工艺,1999,29(2):29,52,60. |
| 作者姓名： | 李连清 |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | １光导锑化铟器件制造工艺光导锑化铟器件是红外探测器的重要组成部分。光敏器件的制造工艺质量决定探测器的响应率、探测率、响应波段的优劣。制造光导锑化铟探测器的关键工艺是减薄、抛光和粘片工艺。其技术难点是器件光敏面积大和克服振动噪声两个方面。形成器件的锑化... |
成果简介 |
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