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21世纪的关键技术—微电子机械系统
引用本文:
刘青.21世纪的关键技术—微电子机械系统[J].航空维修与工程,1998(2):6-7.
作者姓名:
刘青
作者单位:
武汉工业大学
摘 要:
阐述了微电子机械系统的定义、内容、特点、发展现状、应用前景及其对国民经济、科学技术、国防和人民生活所具有的重要意义,介绍了目前国际上微电子机械系统所取得的成就及未来的发展趋势。
关 键 词:
微电子机械系统
微电子技术
表面微加工
LIGA工艺
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