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超精密研磨抛光机床的研究与设计
引用本文:房建国,刘袆,杨志甫.超精密研磨抛光机床的研究与设计[J].航空精密制造技术,2005,41(6):4-7.
作者姓名:房建国  刘袆  杨志甫
作者单位:超精密加工技术国防科技重点实验室,北京,100076;超精密加工技术国防科技重点实验室,北京,100076;超精密加工技术国防科技重点实验室,北京,100076
摘    要:利用纯金属锡制作抛光盘,结合超精密主轴和导轨,可以对抛光盘进行超精密车削修整。同时该机床的抛光盘主轴和工件主轴均为可调速的主动驱动,既可以实现古典的平板接触式研磨,亦可实现流体浮动抛光。

关 键 词:超精密  研磨  抛光  超光滑表面
文章编号:1003-5451(2005)06-0004-04
修稿时间:2005年9月10日

Research and Design of Ultraprecision Lapping & polishing Machine
FANG Jian-guo,LIU Yi,YANG Zhi-fu.Research and Design of Ultraprecision Lapping & polishing Machine[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2005,41(6):4-7.
Authors:FANG Jian-guo  LIU Yi  YANG Zhi-fu
Abstract:Tin was used as polishing plate in the ultra-precision polishing machine.Due to use of hydrostatic bearing spindle and precision slide way it is easy to turn the polishing plate.Both the downside polishing plate spindle and the upside workpiece spindle are motor-driven and speed adjustable.Both traditional lapping and float polishing are accomplished by the machine.
Keywords:precision  lapping  polishing  ultrasmooth surface
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