| 几何量纳米计量方法及仪器 |
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| 引用本文： | 赵平,杨勇,胡小唐.几何量纳米计量方法及仪器[J].航空精密制造技术,2001,37(6):28-32. |
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| 作者姓名： | 赵平 杨勇 胡小唐 |
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| 作者单位： | 天津大学测试计量技术及仪器国家重点实验室 天津300072
(赵平，杨勇)，天津大学测试计量技术及仪器国家重点实验室 天津300072(胡小唐) |
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| 摘 要： | 几何量计量已经走进纳米空间,本文在讨论纳米计量的必要性、可能性和特殊性的基础上介绍并总结了几何量纳米计量的基本方法和仪器。
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| 关 键 词： | 几何量 纳米技术 纳米计量 |
| 文章编号： | 1003-5451(2001)06-28-05 |
| 修稿时间： | 2001年5月8日 |
An Overview of Nanometrology for Geometry Parameters |
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| Zhao Ping,Yang Yong,Hu Xiaotang.An Overview of Nanometrology for Geometry Parameters[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2001,37(6):28-32. |
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| Authors: | Zhao Ping Yang Yong Hu Xiaotang |
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| Abstract: | This paper discusses the necessity, possibility and peculiarity of nanometrology, and then gives a comprehensive introduction of basic methods and instrument using geometrical parameter for nanometrology. |
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| Keywords: | geometrical parameters nanotechnology nanometrology |
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