超精密加工基础及其发展趋势

本文阐述了超精密加工中的各种关键技术,包括工件材质,刀具,机床基准元部件,工艺测试及环境条件(恒温、恒湿、防振)等。根据国内外最新资料,介绍了超精密加工技术的发展方向,并对国内超精密加工技术的发展提出了作者自己的看法。