| Parylene真空涂覆新工艺研究 |
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| 引用本文： | 石红.Parylene真空涂覆新工艺研究[J].航空精密制造技术,2002,38(1):19-21. |
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| 作者姓名： | 石红 |
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| 作者单位： | 中国航空工业第631研究所,西安，710068 |
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| 摘 要： | 简述了Parylene真空沉积的机理,并对采用Parylene真空涂覆的涂层样件进行了全面的性能摸底试验。
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| 关 键 词： | 真空涂覆 工艺 研究 |
| 文章编号： | 1003-5451(2002)01-19-03 |
| 修稿时间： | 2001年3月6日 |
Study on Parylene Vacuum Cladding |
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| Shi Hong.Study on Parylene Vacuum Cladding[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2002,38(1):19-21. |
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| Authors: | Shi Hong |
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| Abstract: | The principle of Parylene vacuum deposition is described. Samples us ing Parylene vacuum cladding are tested for determining the overall performance. |
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| Keywords: | vacuum deposition technological process study |
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