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| IC和光刻设备的现状和预测 | |
| 摘 要： | ＩＣ和光刻设备的现状和预测１９８５年诞生了世界上第一块集成电路，从７０年代ＬＳＩ出现以后，大约每３年，集成电路的集成度约以４倍的平均速度增长．预测到１９９５年６ＭＤＲＡＭ将会开始商品化生产。而２５６ＭＤＲＡＭ和１ＧＢＤＲＡＭ将分别于１９９７年和２００... |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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